Fepetran’ny fitaovana LTCC
Ny fepetra takiana amin’ny fananana ara-pitaovana amin’ny fitaovana LTCC dia misy ny toetoetran’ny herinaratra, ny toetran’ny thermomekanika ary ny fizotran’ny fizotrany.

Ny tsy fitovizan’ny diélectrique no fananana mitsikera indrindra an’ireo fitaovana LTCC. Koa satria ny singa fototra an’ny fitaovana matetika amin’ny radio – ny halavan’ny resonator dia mifanitsy amin’ny fotony toradroa amin’ny tsy fitovizan’ny diélectrika ny fitaovana, raha ambany ny faharetan’ny fitaovana (toy ny MHz an-jatony), raha misy fitaovana miaraka amin’ny diera elektrika ambany dia ampiasaina, ny fitaovana Ny habe dia ho lehibe loatra ka tsy ampiasaina. Noho izany, tsara kokoa ny manara-penitra ny diélectric tsy miova mba hifanaraka amin’ny hatetika miasa isan-karazany.

Ny fahaverezan’ny diélectrique koa dia masontsivana iray lehibe dinihina amin’ny famolavolana ireo fitaovana matetika amin’ny radio, ary mifandray mivantana amin’ny fahaverezan’ny fitaovana io. Amin’ny teôria, ny kely kokoa no tsara kokoa. Ny coefficient ny mari-pana amin’ny tsy fitovizan’ny diélectrique dia masontsivana lehibe iray izay mamaritra ny maripanan’ny mari-pana amin’ny fampisehoana herinaratra an’ny fitaovana matetika amin’ny onjam-peo.

Mba hahazoana antoka fa azo itokisana ny fitaovana LTCC dia maro koa ireo toetra thermo-mekanika tsy maintsy dinihina rehefa mifantina fitaovana. Ny tena manakiana indrindra dia ny coefficient amin’ny fanitarana hafanana, izay tokony hifanaraka amin’ny tabilaon’ny boriborintany hasiana solosaina araka izay azo atao. Ho fanampin’izany, raha dinihina ny fanodinana sy ny fampiharana ho avy, ny fitaovana LTCC dia tokony hihaona amin’ny fepetra takiana mekanika maro ihany koa, toy ny tanjaka miondrika σ, hness Hv, fisaka ambonin’ny, modulus elastika E ary hamafin’ny paty KIC sns.

“Ny fanatanterahana ny fizotrany amin’ny ankapobeny dia mety ahitana ireto manaraka ireto: Voalohany, azo ovaina amin’ny hafanana ambanin’ny 900 ° C izy io ho lasa mikraoba tsy matevina. Faharoa, ny maripana fanamafisana dia tsy tokony ho ambany loatra, mba tsy hisorohana ny famoahana ireo zavatra biolojika ao amin’ny paty volafotsy sy ny fehikibo maintso. Fahatelo, aorian’ny fampidirana fitaovana biolojika sahaza azy dia azo atsipy anaty kasety maitso mitovy sy malama ary matanjaka izy io.

Fanasokajiana ireo fitaovana LTCC
Amin’izao fotoana izao, ny fitaovana seramika LTCC dia amboarina indrindra amin’ny rafitra roa, dia ny rafitra “vera-seramika” ary ny rafitra “vera + seramika”. Ny fidinana amin’ny oksida miempo kely na vera miempo ambany dia mety hampihena ny hafanan’ny seramika amin’ny fitaovana seramika, saingy voafetra ny fihenan’ny mari-pana sinter, ary ny fanatanterahana ny fitaovana dia ho simba amin’ny ambaratonga samihafa. Nahasarika ny sain’ny mpikaroka ny fikarohana ireo fitaovana vita amin’ny seramika misy maripana ambany ambany. Ny karazany lehibe amin’ny fitaovana toy izany novolavolaina dia barium tin borate (BaSn (BO3) 2) andiany, andiany germanate sy Tellurate, andiany BiNbO4, andiany Bi203-Zn0-Nb205, andiany ZnO-TiO2 ary fitaovana hafa vita amin’ny seramika. Tao anatin’izay taona vitsivitsy lasa izay, ny vondrona mpikaroka an’i Zhou Ji ao amin’ny Oniversiten’i Tsinghua dia nanolo-tena hikaroka amin’ity faritra ity.
Fananana ara-nofo LTCC
Ny fahombiazan’ny vokatra LTCC dia miankina tanteraka amin’ny fahombiazan’ny fitaovana ampiasaina. Ny fitaovana seramika LTCC dia ahitana akora substrate LTCC, fitaovana fonosana ary fitaovana fitaovana microwave. Ny tsy fetezan’ny diélectrique no fananana mitsikera indrindra amin’ny fitaovana LTCC. Ny tsy fitovizan’ny diélectrika dia takiana amin’ny serialized ao amin’ny elanelan’ny 2 ka hatramin’ny 20000 mba hifanaraka amin’ny fahita matetika miasa. Ohatra, ny substrate manana permittivity somary 3.8 dia mety amin’ny famolavolana boribory nomerika haingam-pandeha; ny substrate misy fahazoan-dàlana 6 ka hatramin’ny 80 dia afaka mamita tsara ny famolavolana boribory matetika; substrate misy permittivity somary hatramin’ny 20,000 3 no afaka manao fitaovana avo lenta tafiditra ao anaty rafitra multilayer. Ny fahita matetika dia fironana miharihary eo amin’ny fampandrosoana ny vokatra nomerika 10C. Ny fampivelarana ireo fitaovana LTCC tsy miova diélectrique (ε≤901) hahatratra ny fepetra takian’ny haingam-pandeha sy haingam-pandeha dia fanamby amin’ny fomba ahafahan’ny fitaovana LTCC mampifanaraka amin’ny fampiharana avo lenta. Ny tsy fetezan’ny diélectrique an’ny rafitra 6 an’ny FerroA5.2 sy DuPont dia 5.9 hatramin’ny 4110, ny 70-4.3C an’ny ESL dia 4.7 ka hatramin’ny 3.9, ny diélectric tsy miova an’ny substrate LTCC an’ny NEC dia eo amin’ny 2.5, ary ny diélectric tsy miova XNUMX toa eo an-dalam-pandrosoana.

Ny haben’ny resonator dia mifanitsy amin’ny fotony toradroa amin’ny tsy fitovizan’ny diélectric, ka rehefa ampiasaina ho fitaovana diélectrique dia takiana ny tsy fitovizan’ny diélectrique ho lehibe hampihenana ny haben’ny fitaovana. Amin’izao fotoana izao, ny fetran’ny fatiantoka ultra-low na ny sanda Q avo-avo, ny fahazoan-dàlana (> 100) na ny fitaovana diélectric 150 aza dia toerana mafana amin’ny fikarohana. Ho an’ny boriborintany mitaky capacitance lehibe kokoa, ny fitaovana misy tsy fitovizan’ny diélectrique avo lenta dia azo ampiasaina, na ny sosona fitaovana diélectrique miaraka amin’ny tsy fitovizan’ny diélectric lehibe kokoa dia azo atsofoka eo anelanelan’ny sosona fitaovana substrate ceramic diélectric LTCC, ary ny diélectric tsy miova dia mety eo anelanelan’ny 20 sy 100. Safidio eo anelanelan’ny . Ny fahaverezan’ny diélectrique koa dia masontsivana lehibe iray hodinihina amin’ny famolavolana ireo fitaovana matetika amin’ny radio. Misy ifandraisany mivantana amin’ny fahaverezan’ny fitaovana. Raha ny teôria dia antenaina fa ny kely kokoa dia tsara kokoa. Amin’izao fotoana izao, ny fitaovana LTCC ampiasaina amin’ny fitaovana matetika amin’ny radio dia DuPont (951,943), Ferro (A6M, A6S), Heraeus (CT700, CT800 ary CT2000) ary ny Laboratoara elektro-science. Tsy vitan’ny hoe manome kasety ceramic maintso miaraka amina diélectrique tsy tapaka izy ireo, fa manome fitaovana mifampitohy ihany koa.

Olana mafana iray hafa amin’ny fikarohana ireo fitaovan’ny LTCC ny tsy fitovizan’ny fitaovana voaroaka. Rehefa miara-mitifitra dielectric samy hafa sosona (capacitors, resistances, inductances, conductors, sns.), Ny fanehoan-kevitra sy ny diffusion interface tsara eo amin’ny interface isan-karazany dia tokony hofehezina mba hahatonga ny fifangaroan’ny co-firing ny tsirairay diélectric layer tsara, ary ny tahan’ny density ary ny sinter mihena eo anelanelan’ny sosona misy ny interface Ny tahan’ny sy ny tahan’ny fanitarana hafanana dia mifanaraka araka izay azo atao mba hampihenana ny fisian’ny kilema toy ny fikororohana, ny ady ary ny famakiana.

Amin’ny ankapobeny, ny tahan’ny fihenan’ny akora vita amin’ny seramika mampiasa ny teknolojia LTCC dia manodidina ny 15-20%. Raha toa ka tsy mifanentana na mifanentana ny sinteran’izy roa, dia hisaraka ny sosona interface tsara aorian’ny sinter; raha toa ka mihetsika amin’ny hafanana ambony ireo fitaovana roa ireo, dia hisy fiantraikany amin’ny toetra amam-panahin’ireo fitaovana tsirairay avy ny valin’ny valiny. Ny fifandanjan’ny fiaraha-mitifitra fitaovana roa miaraka amin’ny tsy fitovizan’ny diélectrique sy ny fananganana ary ny fomba hampihenana ny fiverenan’ny tsirairay no ifantohan’ny fikarohana. Rehefa ampiasaina amin’ny rafitra avo lenta ny LTCC, ny lakilen’ny fanaraha-maso henjana ny fihenan’ny fihenan-danja dia ny fifehezana ny fihenan’ny sisin-tany amin’ny rafitra LTCC voaroaka. Ny fihenan’ny rafitra mpiara-mitifitra LTCC manaraka ny torolàlana XY amin’ny ankapobeny dia 12% ka hatramin’ny 16%. Miaraka amin’ny fanampian’ny teknolojia sinterina tsy misy fanerena na pression, ny fitaovana miaraka amin’ny fihenan’ny aotra amin’ny làlan’ny XY dia azo [17,18]. Rehefa sinter dia apetraka eo an-tampon’ny sy any ambanin’ny LTCC co-fired layer ny tampony sy ny faran’ny LTCC coco-fired layer ho toy ny sosona fanaraha-maso ny fihenan’ny. Miaraka amin’ny fanampian’ny vokatra mifamatotra iray eo amin’ny sehatra fanaraha-maso sy ny multilayer ary ny tahan’ny fihenan’ny fifehezana, voafehy ny fihetsika mihena amin’ny firafitra LTCC manaraka ny torolàlana X sy Y. Mba hanonerana ny fahaverezan’ny substrate amin’ny làlan’ny XY, ny substrate dia homena onitra amin’ny làlana Z. Vokatr’izany, ny fiovan’ny haben’ny firafitry ny LTCC amin’ny làlana X sy Y dia eo amin’ny 0.1% fotsiny, ka hiantohana ny toerana sy ny maha-marina ny tariby sy ny lavaka aorian’ny sinter, ary miantoka ny kalitaon’ny fitaovana.