LTCC mea manaʻomia
O manaʻoga mo mea totino o mea totino a le LTCC e aofia ai meatotino tau eletise, meatotino faʻa-thermomekanika ma faʻagaioiga meatotino.

O le dielectric faifai pea o le sili ona taua meatotino o LTCC mea. Talu ai o le autu iunite o le leitio taimi eletise masini-o le umi o le resonator e faʻasolosolo faʻatusatusa i le sikuea aʻa o le dielectric tumau o mea, pe a o le taimi faigaluega o le masini e maualalo (pei o le fiaselau o MHz), pe a fai o se mea ma le maualalo dielectric tumau o loʻo faʻaaogaina, le masini O le tele o le a tele naua e faʻaaoga. O le mea lea, e sili ona lelei le faʻamamafaina o le dielectric tumau e ofi i eseese eseese o auala e faʻatino ai.

Dielectric leiloa o se tasi taua parakalafa iloiloina i le fuafuaina o leitio taimi masini, ma e fesoʻotaʻi tuʻusaʻo ma le leiloa o le masini. I teori, o le laʻititi o le sili atu. O le mafanafana coefficient o le dielectric tumau o se taua vaega e fuafua ai le vevela mautu o le eletise faatinoga o le leitio taimi masini.

Ina ia mautinoa le faʻatuatuaina o LTCC masini, tele thermo-masini meatotino tatau foi ona iloiloina pe a filifilia ni mea. O le sili ona taua tasi o le coefficient o faʻalautelega vevela, lea e tatau ona faʻatusatusa le matagaluega laupapa ia soldered i le tele e mafai ai. I se faʻaopopoga, mafaufauina gaioiga ma lumanaʻi tusi apalai, LTCC mea e tatau ona faʻamalieina foi tele masini faʻatinoina manaʻoga manaʻoga, e pei o punou malosi σ, maaa Hv, luga mafolafola, eletise modulus E ma malepe faigata KIC ma isi.

“Faʻagasologa o gaioiga mafai masani ona aofia ai itu nei: Muamua, e mafai ona faʻaseseina i le vevela i lalo ifo o le 900 ° C i totonu o se mafiafia, e le o se porousiti. Lona lua, o le vevela o le vevela e le tatau ona maualalo tele, ina ia le puipuia ai le lafoa o meaola i totonu o le siliva faapipii ma le fusi lanumeamata. Lona tolu, a maeʻa ona faʻaopopoina mea talafeagai e mafai ona gaosia, e mafai ona lafo i totonu o se toniga, lamolemole, ma malosi le lipine lanumeamata.

Faʻavasegaina o mea a le LTCC
I le taimi nei, o le LTCC keramika mea e tele lava ina aofia ai ni faiga se lua, e faʻaigoaina o le “tioata-keramika” polokalama ma le “tioata + keramika” polokalama. O le faʻaaluina i le maualalo o le suavai o le okesene poʻo le tioata e liusuavai, e mafai ona faʻaititia ai le vevela o le keramika, ae o le faʻaititia o le vevela o le vevela e faʻatapulaʻaina, ma o le a faʻaleagaina le faʻatinoina o mea. O le sailiga o mea-keramika ma le maualalo o le vevela o le vevela ua tosina mai i ai manatu o tagata suʻesuʻe. O ituaiga autu o ia mea o loʻo atiaʻe o le barium tin borate (BaSn (BO3) 2) faʻasologa, germanate ma le faʻasologa series, BiNbO4 series, Bi203-Zn0-Nb205 series, ZnO-TiO2 series ma isi ceramic mea. I tausaga ua tuanaʻi, o le vaega suʻesuʻe a Zhou Ji i le Iunivesite o Tsinghua, na tuutoina i latou e suʻesuʻe i lenei itu.
LTCC mea totino
O le faʻatinoina o oloa a le LTCC e faʻamoemoe lava i le faʻatinoina o mea na faʻaaoga. O mea e gaosia e le LTCC e tele lava ina aofia ai mea fai a le LTCC, mea e faʻapipiʻiina ai ma mea e faʻaaoga e pei o le microwave. Dielectric tumau o le sili ona taua meatotino o LTCC mea. O le dielectric faifai pea e manaʻomia e serialized i le tulaga o le 2 i le 20000 ia talafeagai mo eseese eseese auala faʻaaogaina. Mo se faʻataʻitaʻiga, o le substrate ma le faʻatagaina o le 3.8 e talafeagai mo le fuafuaina o maualuga-televave faʻasolosolo taʻamilosaga; o se substrate ma le faʻatagaina o le 6 i le 80 mafai ona maeʻa lelei le mamanu o maualuga-taimi matagaluega; o se substrate ma se faʻatagaina vagana o le 20,000 mafai ona faia Maualuga-mafai masini ua tuʻufaʻatasia i se multilayer fausaga. Maualuga taimi o se foliga manino manino i le atinaʻeina o numera 3C oloa. O le atinaʻeina o le maualalo o le dielectric tumau (ε≤10) LTCC mea e faʻafetaui ai manaʻoga o maualuga maualuga ma maualuga saosaoa o se luʻitau pe faʻafefea LTCC mea mafai ona fetuʻunaʻi i maualuga taimi talosaga. O le dielectric faifai pea o le 901 faiga o FerroA6 ma DuPont o 5.2 i le 5.9, o le 4110-70C o le ESL o le 4.3 i le 4.7, o le dielectric tumau o le NEC’s LTCC substrate e tusa ma le 3.9, ma le dielectric tumau maualalo o le 2.5 o loo i lalo o atinae.

O le tele o le resonator e faʻasolosolo faʻatusatusa i le sikuea aʻa o le dielectric tumau, o lea a faʻaaogaina o se dielectric mea, o le dielectric tumau e manaʻomia e tele e faʻaititia ai le tele o le masini. I le taimi nei, o le tapulaʻa o ultra-maualalo leiloa poʻo ultra-maualuga Q taua, faʻatagaina faʻatagaina (> 100) poʻo le> 150 dielectric mea o ni suʻesuʻega vevela. Mo taʻamilosaga manaʻomia tele capacitance, mea ma maualuga dielectric tumau mafai ona faʻaaogaina, po o se dielectric mea vaega ma le tele dielectric tumau mafai ona sandwiched i le va o le LTCC dielectric ceramic substrate mea vaega, ma le dielectric tumau mafai i le va o 20 ma 100. Filifili i le va . Dielectric leiloa o se tasi taua parakalafa e mafaufau i le faʻatulagaina o leitio taimi masini. E fesoʻotaʻi faʻatasi ma le leiloa o le masini. I le teori, e faʻamoemoe o le laʻititi e sili atu. I le taimi nei, o mea a le LTCC o loʻo faʻaaogaina i masini leitio e masani lava o DuPont (951,943), Ferro (A6M, A6S), Heraeus (CT700, CT800 ma CT2000) ma le Electro-science Laboratories. E le gata e mafai ona latou tuʻuina atu le lipine lipine lanumeamata LTCC faʻatasi ai ma le dielectric tumau, ae ia faʻaopoopoina foʻi fesoʻotaʻiga i mea faʻaaoga.

O le isi mataupu vevela i le suʻesuʻega o mea a le LTCC o le fealofani o mea e faʻaaoga faʻatasi. Pe a faʻatasi-fanaina eseʻesega vaega eletise (capacitors, resistances, inductances, conductors, ma isi), o le tali atu ma le faʻasologa o faʻasalalauga i le va o vaʻaiga eseese e tatau ona faʻatonutonuina e faʻatulagaina ai le faʻatulagaina o vaega eseese o dielectric, ma le maualuga o le fua ma le faʻasolosolo. shrinkage i le va o le interface layer O le fua faatatau ma le vevela faʻateleina fua faatatau e tutusa e mafai e faʻaititia ai le tutupu o faʻaletonu e pei o le spalling, warping ma taʻei.

I se tulaga lautele, o le faʻaititia o fua o karamika e faʻaaogaina ai tekinolosi LTCC e tusa ma le 15-20%. Afai o le sinter o le lua e le mafai ona faʻafetaui pe fetaui, o le interface layer o le a vaeluaina pe a maeʻa sinter; afai o le lua mea tali mai i le maualuga vevela, o le iʻuga tali faʻafitauli o le a aʻafia ai le uluaʻi uiga o le aitia mea. O le tuʻufaʻatasia o le faʻaaogaina o mea e lua ma eseʻesega eseese o le eletise ma fatuga ma faʻafefea ona faʻaititia le fefaʻasoaaʻi o le taulaʻiga lea o suʻesuʻega. A faʻaaoga le LTCC ile faiga e maualuga ai le faʻatinoga, ole ki ile puleaina malosi ole amio faʻafuaseʻi o le faʻatonutonu ole faʻafuaseʻi o le sisitema a le LTCC. O le paʻu o le LTCC co-fired system i le itu o XY e masani ona 12% i le 16%. Faatasi ai ma le fesoasoani a le fetaomiina i lalo o le sinter poʻo tekinolosi-fesoasoani sinter tekinolosi, mea ma le leai o le tuumuli i le XY itu e maua [17,18]. A faʻasolosolo, o le pito i luga ma lalo o le LTCC co-fired layer o loʻo tuʻu i luga ma lalo o le LTCC co-fired layer o se shrinkage control layer. Faatasi ai ma le fesoasoani a se mautinoa fusia aafiaga i le va o le pulea vaega ma le multilayer ma le ogaoga shrinkage fua faatatau o le pulea vaega, o le shrinkage amioga o le LTCC fausaga i luga o le X ma le Y faatonuga ua faasaina. Ina ia mafai ona tauia mo le leiloa shrinkage o le substrate i le XY itu, o le a faʻatauina le substrate mo shrinkage i le itu Z. O lona iʻuga, o le telē o le suiga o le LTCC fausaga i le X ma le Y faʻatonuga e naʻo le 0.1%, ma mautinoa ai le tulaga ma le saʻo o le faʻaogaina o faʻamau ma pu pe a maeʻa ona faʻaseseina, ma mautinoa le lelei o le masini.