தயாரிப்பு: ஐசி தொகுப்பு அடி மூலக்கூறு
பொருள்: Si10u
அடுக்கு: 2 அடுக்குகள்
செப்பு தடிமன்: 12um
முடிக்கப்பட்ட தடிமன்: 0.2 மிமீ
மேற்பரப்பு: தங்கம்
குறைந்தபட்ச துளை: 0.15 மிமீ
தங்க தடிமன் 5U
குறைந்தபட்ச சுவடு / இடம்: 40um / 45um
விண்ணப்பம்: ஐசி தொகுப்பு அடி மூலக்கூறு