ఉత్పత్తి: IC ప్యాకేజీ సబ్‌స్ట్రేట్
మెటీరియల్: Si10u
పొర: 2 పొరలు
రాగి మందం: 12um
పూర్తయిన మందం: 0.2 మిమీ
ఉపరితలం: బంగారం
కనీస రంధ్రం: 0.15 మిమీ
బంగారు మందం 5U
కనీస ట్రేస్ / స్పేస్: 40um / 45um
అప్లికేషన్: IC ప్యాకేజీ సబ్‌స్ట్రేట్