Ihe LTCC chọrọ
Ihe achọrọ maka akụrụngwa akụrụngwa nke ngwaọrụ LTCC gụnyere akụrụngwa eletriki, akụrụngwa thermomechanical na njirimara usoro.

Igwe ọkụ dielectric bụ ihe kacha mkpa nke ihe LTCC. Ebe ọ bụ na ngalaba nke ngwaọrụ ugboro ugboro redio-ogologo nke resonator dị oke mkpa na okirikiri okirikiri nke ihe na-agbanwe agbanwe nke ihe ahụ, mgbe oge ọrụ nke ngwaọrụ dị ala (dịka narị narị MHz), ma ọ bụrụ na ihe a na -eji obere ọkụ elektrik dị ala, ngwaọrụ nha ga -adị oke oke iji. Ya mere, ọ kacha mma ka ịgbanye serial nke dielectric ka ọ dabara na ugboro ole eji arụ ọrụ.

Ọnwụ Dielectric bụkwa oke dị mkpa a tụlere na imepụta ngwaọrụ ugboro redio, ọ na -emetụtakwa na mfu nke ngwaọrụ ahụ. Na tiori, nke nta ka mma. Ọnụego okpomọkụ nke na -agbanwe agbanwe dielectric bụ oke dị mkpa nke na -ekpebi nkwụsi ike okpomọkụ nke arụmọrụ eletriki nke ngwaọrụ ugboro redio.

Iji hụ na ntụkwasị obi nke ngwaọrụ LTCC, a ga-atụlekwa ọtụtụ ihe nrụzi ọkụ mgbe ị na-ahọrọ ihe. Nke kacha dị oke mkpa bụ ọnụọgụ nke ịgbasa okpomoku, nke kwesịrị ijikọ bọọdụ sekit ka eree ya ka o kwere mee. Na mgbakwunye, ịtụle nhazi na ngwa ọdịniihu, ihe LTCC kwesịkwara izute ọtụtụ ihe achọrọ maka ịrụ ọrụ, dị ka ịgbagọ ike σ, Hv siri ike, ịdị larịị, modulus na -agbanwe E na mgbaji ọkpụkpụ KIC na ihe ndị ọzọ.

“Nhazi usoro nwere ike ịgụnye akụkụ ndị a: Nke mbụ, enwere ike gbanye ya na okpomoku dị n’okpuru 900 Celsius C n’ime nnukwu microstructure na-enweghị ntụpọ. Nke abụọ, ọnọdụ njupụta ekwesịghị ịdị oke ala, ka ọ ghara igbochi mwepụta nke ihe ọkụkụ na mado ọlaọcha na eriri akwụkwọ ndụ akwụkwọ ndụ. Nke atọ, mgbe agbakwunyere ihe ọkụkụ kwesịrị ekwesị, enwere ike ịtụba ya na teepu akwụkwọ ndụ akwụkwọ ndụ edo edo, dị larịị.

Nhazi nke ihe LTCC
Ka ọ dị ugbu a, ihe mkpuchi seramiiki LTCC bụ nke mejupụtara sistemụ abụọ, ya bụ sistemụ “seramiiki” na “iko + seramiiki”. Iji oxide na-agbaze obere ma ọ bụ iko na-agbaze agbaze nwere ike belata ọnọdụ okpomọkụ nke ihe seramiiki, mana mbelata okpomọkụ na-agbacha agbacha nwere oke, na arụmọrụ nke ihe ahụ ga-emebi n’ọtụtụ dị iche iche. Ọchụchọ maka ihe seramiiki nwere oke ikuku na -agbada agbada adọtala mmasị ndị nyocha. Isi ụdị ihe ndị a na-emepụta bụ usoro barium tin borate (BaSn (BO3) 2), usoro germanate na tellurate, usoro BiNbO4, usoro Bi203-Zn0-Nb205, usoro ZnO-TiO2 na ihe seramiiki ndị ọzọ. N’ime afọ ndị na -adịbeghị anya, otu nyocha Zhou Ji na Mahadum Tsinghua agbaala mbọ ime nyocha na mpaghara a.
Njirimara LTCC
Arụmọrụ ngwaahịa LTCC na -adabere kpamkpam na arụmọrụ nke ihe ejiri mee ya. Ihe seramiiki LTCC gụnyere ihe mejupụtara mkpụrụ osisi LTCC, ihe nkwakọ ngwaahịa na ngwa ngwaọrụ microwave. Dielectric mgbe niile bụ ihe kacha mkpa nke ihe LTCC. A na -achọ ka ọnya ọnya elektrik dị n’etiti 2 ruo 20000 ka ọ dabara maka ugboro ugboro dị iche iche. Dịka ọmụmaatụ, mkpụrụ osisi nwere ikike ikike 3.8 dabara adaba maka imepụta okirikiri dijitalụ dị elu; mkpụrụ osisi nwere ikike nke 6 ruo 80 nwere ike mezue nhazi nke sekit ugboro ugboro; mkpụrụ osisi nwere ikike ikike ruru 20,000 nwere ike ime ka etinyere ngwaọrụ nwere ikike dị elu n’ime ihe owuwu ọtụtụ. Ugboro ugboro dị elu bụ ihe doro anya na mmepe nke ngwaahịa 3C dijitalụ. Mmepe nke obere ihe ọkụ eletrik (ε≤10) LTCC iji mezuo ihe achọrọ ugboro ugboro na oke ọsọ bụ ihe ịma aka maka ka ihe LTCC nwere ike isi kwekọọ na ngwa ugboro ugboro. Ogwe dielectric nke usoro 901 nke FerroA6 na Dupont bụ 5.2 ruo 5.9, 4110-70C nke ESL bụ 4.3 ruo 4.7, ọnụọgụ dielectric nke NEC’s LTCC substrate bụ ihe dịka 3.9, na ọnụọgụ dielectric dị ala dịka 2.5 nọ n’okpuru mmepe.

Ogo nke resonator bụ nke na -adabaghị na mgbọrọgwụ okirikiri nke ọnụnọ ọnya ọnya, yabụ mgbe ejiri ya dị ka ihe dielectric, a chọrọ ka ọnụnọ dielectric buru ibu iji belata nha ngwaọrụ. Ka ọ dị ugbu a, oke oke mfu ma ọ bụ uru Q dị elu, ikike ikwu (> 100) ma ọ bụ ọbụna> ihe ọkụ ọkụ 150 bụ ebe nyocha. Maka sekit chọrọ ikike ka ukwuu, enwere ike iji ihe nwere ọkụ eletrik dị elu, ma ọ bụ akwa akwa dielectric nwere nnukwu ọnụọgụ dielectric nwere ike itinye n’etiti LTCC dielectric seramiiki substrate material, na ọnya ọnya ọkụ nwere ike ịdị n’etiti 20 na 100. Họrọ n’etiti . Ọnwụ Dielectric bụkwa oke dị mkpa ịtụle na nhazi ngwaọrụ ikuku redio. Ọ na -emetụta ya na mfu nke ngwaọrụ ahụ. Na tiori, a na -atụ anya na obere ka ọ ka mma. Ugbu a, ihe LTCC ejiri na ngwaọrụ ikuku redio bụ tumadi DuPont (951,943), Ferro (A6M, A6S), Heraeus (CT700, CT800 na CT2000) na ụlọ nyocha Electro-science. Ha nwere ike ọ bụghị naanị nye teepu seramiiki LTCC akwụkwọ ndụ akwụkwọ ndụ na -agbanwe agbanwe mgbe niile, kamakwa na -enye ihe wiring kwekọrọ.

Okwu ọzọ na-ekpo ọkụ na nyocha nke ihe LTCC bụ ndakọrịta nke ihe ọkụ ọkụ. Mgbe ị na-agbakọ ọkwa dị iche iche nke ọkụ eletrik (capacitors, resistances, inductances, conductors, wdg), ekwesịrị ịchịkwa mmeghachi omume na mgbasa ozi n’etiti oghere dị iche iche iji mee ka njikọta ọkụ nke ọ bụla okpokoro dielectric dị mma, yana ọnụego njupụta na sintering. shrinkage n’etiti interface interface Ọnụego ya na mgbasawanye ọkụ na -agbanwe agbanwe dịka o kwere mee iji belata omume nke ntụpọ dị ka ịpịpịa, mgbatị na mgbawa.

N’ikwu okwu n’ozuzu, ọnụego mbelata nke ihe seramiiki site na iji teknụzụ LTCC bụ ihe dịka 15-20%. Ọ bụrụ na sintering nke abụọ enweghị ike dakọtara ma ọ bụ dakọtara, okirikiri interface ga -ekewa mgbe ọ gbasasịrị; ọ bụrụ na ihe abụọ ahụ emeghachi omume na oke okpomọkụ, oyi akwa mmeghachi omume ga -emetụta njirimara mbụ nke ihe dị iche iche. Ndakọrịta nke ihe abụọ nwere ihe dị iche iche na-agbanwe agbanwe na ihe mejupụtara yana otu esi ebelata mmeghachi omume ibe bụ ihe nyocha. Mgbe a na-eji LTCC na sistemụ arụmọrụ dị elu, isi ihe na-ejikwa nlezianya na-egbochi omume ịbelata bụ ijikwa mbelata nke sistemụ ọkụ ọkụ LTCC. Mbelata nke sistemụ ọkụ ọkụ LTCC n’akụkụ XY n’ozuzu bụ 12% ruo 16%. Site n’enyemaka nke teknụzụ na-eme mkpọtụ na-enweghị nrụgide ma ọ bụ nrụgide na-enyere aka, a na-enweta ihe ndị nwere mbelata efu na ụzọ XY [17,18]. Mgbe ị na-agbada, a na-etinye elu na ala nke oyi akwa ọkụ ọkụ LTCC n’elu na ala nke oyi akwa ọkụ ọkụ LTCC dị ka ihe njikwa na-ebelata. Site n’enyemaka nke ụfọdụ mmetụta njikọta n’etiti akwa njikwa na multilayer na oke mbelata nke oyi akwa njikwa, a na -amachi omume ịkpa oke nke usoro LTCC n’akụkụ ụzọ X na Y. Iji kwụọ ụgwọ maka mwepu nke mkpụrụ ahụ na ntụzịaka XY, a ga -akwụghachi mkpụrụ ahụ maka shrinkage na Z ụzọ. N’ihi nke a, ngbanwe nha nke usoro LTCC na ntụzịaka X na Y bụ naanị ihe dịka 0.1%, si otu a na -ahụ maka ọnọdụ na izi ezi nke eriri na oghere mgbe imechara, yana hụ na ịdị mma nke ngwaọrụ ahụ.