MOEMS is ‘n opkomende tegnologie wat een van die gewildste tegnologieë in die wêreld geword het. MOEMS is ‘n mikro-elektromeganiese stelsel (MEMS) wat ‘n fotoniese stelsel gebruik. Dit bevat mikro-meganiese optiese modulators, mikro-meganiese optiese skakelaars, IC’s en ander komponente, en gebruik die miniaturisering, veelvuldigheid en mikro-elektronika van MEMS-tegnologie om Naatlose integrasie van optiese toestelle en elektriese toestelle te bewerkstellig. Eenvoudig gestel, MOEMS is die verdere integrasie van stelselvlakskyfies. In vergelyking met grootskaalse opto-meganiese toestelle, PCB ontwerp MOEMS-toestelle is kleiner, ligter, vinniger (met hoër resonansiefrekwensie), en kan in groepe vervaardig word. In vergelyking met die golfleiermetode, het hierdie vryruimtemetode die voordele van laer koppelingsverlies en kleiner oorspraak. Die veranderinge in fotonika en inligtingstegnologie het die ontwikkeling van MOEMS direk bevorder. Figuur 1 toon die verband tussen mikro-elektronika, mikromeganika, opto-elektronika, veseloptika, MEMS en MOEMS. Deesdae ontwikkel inligtingstegnologie vinnig en word voortdurend opgedateer, en teen 2010 kan die spoed van ligopening Tb/s bereik. Toenemende datatempo’s en hoër werkverrigting nuwe generasie toerustingvereistes het die vraag na MOEMS en optiese verbindings aangedryf, en die toepassing van PCB-ontwerp MOEMS-toestelle in die veld van opto-elektronika groei steeds.

PCB ontwerp en verpakking metode analise van MOEMS toestelle

PCB-ontwerp MOEMS-toestelle en -tegnologie PCB-ontwerp MOEMS-toestelle word volgens hul fisiese werksbeginsels verdeel in interferensie-, diffraksie-, transmissie- en refleksietipes (sien Tabel 1), en die meeste van hulle gebruik reflektiewe toestelle. MOEMS het die afgelope paar jaar aansienlike ontwikkeling behaal. In onlangse jare, as gevolg van die toename in die vraag na hoëspoed-kommunikasie en data-oordrag, is die navorsing en ontwikkeling van MOEMS-tegnologie en sy toestelle grootliks gestimuleer. Die vereiste lae verlies, lae EMV-sensitiwiteit en lae oorspraak hoë datatempo gereflekteerde lig PCB ontwerp MOEMS toestelle is ontwikkel.

Deesdae, benewens eenvoudige toestelle soos veranderlike optiese verswakkers (VOA), kan MOEMS-tegnologie ook gebruik word om verstelbare vertikale holteoppervlak-emitterende lasers (VCSEL), optiese modulators, verstelbare golflengte selektiewe fotodetektors en ander optiese toestelle te vervaardig. Aktiewe komponente en filters, optiese skakelaars, programmeerbare golflengte optiese add/drop multiplexers (OADM) en ander optiese passiewe komponente en grootskaalse optiese kruisverbindings (OXC).

In inligtingstegnologie is een van die sleutels tot optiese toepassings gekommersialiseerde ligbronne. Benewens monolitiese ligbronne (soos termiese stralingsbronne, LED’s, LD’s en VCSEL’s), is MOEMS-ligbronne met aktiewe toestelle veral bekommerd. Byvoorbeeld, in ‘n instelbare VCSEL kan die emissiegolflengte van die resonator verander word deur die lengte van die resonator deur mikromeganika te verander, en daardeur hoëprestasie WDM-tegnologie te realiseer. Tans is ‘n ondersteuningskragafstemmetode en ‘n beweegbare struktuur met ‘n steunarm ontwikkel.

MOEMS optiese skakelaars met beweegbare spieëls en spieël skikkings is ook ontwikkel vir die samestelling van OXC, paralleling en aan/af skakelaar skikkings. Figuur 2 toon ‘n vryspasie MOEMS optiese vesel skakelaar, wat ‘n paar U-vormige vrykragaktuators het vir laterale beweging van die vesel. In vergelyking met die tradisionele golfleierskakelaar, is die voordele daarvan laer koppelingsverlies en kleiner oorspraak.

‘n Optiese filter met ‘n wye reeks deurlopend verstelbare is ‘n baie belangrike toestel in ‘n veranderlike DWDM-netwerk, en MOEMS F_P-filters wat verskeie materiaalstelsels gebruik, is ontwikkel. As gevolg van die meganiese buigsaamheid van die verstelbare diafragma en effektiewe optiese holte lengte, is die golflengte verstelbare reeks van hierdie toestelle slegs 70nm. Japan se OpNext-maatskappy het ‘n MOEMS F_P-filter ontwikkel met ‘n rekord-verstelbare breedte. Die filter is gebaseer op veelvuldige InP/luggaping MOEMS-tegnologie. Die vertikale struktuur bestaan ​​uit 6 lae opgeskorte InP diafragmas. Die film is ‘n sirkelvormige struktuur en word ondersteun deur drie of vier ophangrame. Reghoekige steuntafelverbinding. Sy deurlopende instelbare F_P-filter het ‘n baie wye stopband wat die tweede en derde optiese kommunikasievensters dek (1 250 ~ 1800 nm), sy golflengte-instellingswydte is groter as 112 nm, en die aandryfspanning is so laag as 5V.

MOEMS-ontwerp- en -produksietegnologie Die meeste MOEMS-produksietegnologie is direk ontwikkel uit die IC-industrie en sy vervaardigingstandaarde. Daarom word liggaams- en oppervlakmikro-bewerking en hoë-volume mikro-bewerking (HARM) tegnologie in MOEMS gebruik. Maar daar is ander uitdagings soos die grootte, materiaal eenvormigheid, drie-dimensionele tegnologie, oppervlak topografie en finale verwerking, ongelykheid en temperatuur sensitiwiteit.