Sêwirana PCB û analîzkirina rêbaza pakkirinê ya amûrên MOEMS

MOEMS teknolojiyek nûjen e ku di cîhanê de bûye yek ji teknolojiyên herî populer. MOEMS pergalek mîkro-elektro-mekanîkî ye (MEMS) ku pergala fotonîkî bikar tîne. Ew modulatorên optîkî yên mîkro-mekanîkî, guheztinên optîkî yên mîkro-mekanîkî, IC û hêmanên din vedihewîne, û piçûkbûn, pirjimarî û mîkroelektronîkî ya teknolojiya MEMS bikar tîne da ku bigihîje yekbûna bêkêmasî ya amûrên optîkî û amûrên elektrîkê. Bi hêsanî, MOEMS entegrasyona bêtir a çîpên asta pergalê ye. Li gorî amûrên opto-mekanîkî yên mezin, PCB Amûrên sêwiranê yên MOEMS piçûktir, siviktir, bileztir in (bi frekansa rezonansê ya bilindtir), û dikarin di koman de bêne hilberandin. Li gorî rêbaza waveguide, ev rêbaza cîhê belaş xwedan avantajên windabûna hevberdanê ya kêmtir û xaçerêya piçûktir e. Guhertinên di fotonîk û teknolojiya agahdariyê de rasterast pêşkeftina MOEMS pêşve xistin. Xiflteya 1 têkiliya di navbera mîkroelektronîk, mîkromekanîka, optoelektronîk, fiber optîk, MEMS û MOEMS de nîşan dide. Niha teknolojiya agahdariyê bi lez û bez pêş dikeve û bi berdewamî tê nûvekirin û heya sala 2010-an leza vekirina ronahiyê dikare bigihîje Tb/s. Zêdebûna rêjeyên daneyê û pêdiviyên alavên nifşê nû yên bi performansa bilind daxwaziya MOEMS û girêdanên optîkî derxistiye holê, û serîlêdana sêwirana PCB-ê amûrên MOEMS di warê optoelektronîkê de her ku diçe mezin dibe.

Sêwirana PCB Amûrên MOEMS û teknolojiyê Sêwirana PCB-ê Amûrên MOEMS li gorî prensîbên xebata laşî li cûrbecûr destwerdan, veqetandin, veguheztin û refleksê têne dabeş kirin (li Tablo 1 binêre), û piraniya wan amûrên refleksîf bikar tînin. MOEMS di çend salên çûyî de pêşkeftinek girîng bi dest xistiye. Di salên dawî de, ji ber zêdebûna daxwazê ji bo pêwendiya bilez û veguheztina daneyê, lêkolîn û pêşkeftina teknolojiya MOEMS û amûrên wê pir zêde bûne. Wendabûna kêm a pêwîst, hesasiyeta EMV ya kêm, û rêjeya daneya bilind a danûstandina nizm a ronahiyê ya sêwirana PCB-ya MOEMS-ê hatine pêşve xistin.

Naha, ji bilî amûrên hêsan ên wekî guhêrbarên optîkî yên guhêrbar (VOA), teknolojiya MOEMS jî dikare were bikar anîn da ku lazerên belavkirî yên rûbera valahiya vertîkal (VCSEL), modulatorên optîkî, fotodetektorên bijartî yên dirêjahiya pêlê yên guhezbar û amûrên din ên optîkî jî were bikar anîn. Pêkhatin û parzûnên çalak, guheztinên optîkî, dirêjahiya pêlê ya bernamekirî zêdekerên zêde/davêtinên optîkî (OADM) û hêmanên din ên pasîf ên optîkî û girêdanên xaçerê yên optîkî yên mezin (OXC).

Di teknolojiya agahdariyê de, yek ji mifteyên serîlêdanên optîkî çavkaniyên ronahiyê yên bazirganî ne. Ji bilî çavkaniyên ronahiyê yên monolîtîk (wekî çavkaniyên tîrêjên germî, LED, LD, û VCSEL), çavkaniyên ronahiya MOEMS yên bi amûrên çalak re bi taybetî têkildar in. Mînakî, di VCSEL-ek guhezbar de, dirêjahiya pêla resonatorê dikare bi guheztina dirêjahiya resonatorê ji hêla mîkromekanîka ve were guheztin, bi vî rengî teknolojiya WDM-a performansa bilind tê fam kirin. Heya nuha, rêbazek guheztina kenala piştgirî û avahiyek tevgerî ya bi milek piştgirî hatî pêşve xistin.

Veguheztinên optîkî yên MOEMS yên bi neynikên guhêzbar û rêzikên neynikê jî ji bo komkirina rêzikên guhastinê OXC, paralel, û ser/vekêşandin hatine pêşve xistin. Wêneyê 2 guhezkerek fîberê ya MOEMS-a cîhê azad nîşan dide, ku cotek çalakkerên kandîdê yên bi şiklê U-yê ji bo tevgera paşîn a fîberê heye. Li gorî guheztina pêlêkêş a kevneşopî, avantajên wê windabûna hevberdanê kêmtir û xaçerêya piçûktir in.

Parzûnek optîkî ya bi cûrbecûr vesazkirina domdar amûrek pir girîng e di torgilokek guhezbar DWDM de, û fîlterên MOEMS F_P bi karanîna pergalên cûrbecûr materyalê hatine pêşve xistin. Ji ber nermbûna mekanîkî ya diafragmaya birêkûpêk û dirêjahiya valahiya optîkî ya bi bandor, dirêjahiya pêlê ya van amûran tenê 70nm e. Pargîdaniya OpNext ya Japonî parzûnek MOEMS F_P bi firehiya tomarkirî ya tomar pêşxistiye. Parzûn li ser bingeha teknolojiya MOEMS ya pirjimar InP / valahiya hewayê ye. Struktura vertîkal ji 6 tebeqeyên diafragmayên InP yên dagirtî pêk tê. Fîlm avahiyek dorveger e û ji hêla sê an çar çarçavên dakêşanê ve tê piştgirî kirin. Girêdana maseya piştevaniya Rectangular. Parzûna wê ya domdar F_P xwedan bendek rawestanê ya pir fireh e, ku pencereyên ragihandina optîkî yên duyemîn û sêyemîn (1 250 ~ 1800 nm) vedigire, firehiya wê ya dirêjahiya pêlê ji 112 nm mezintir e, û voltaja çalakkirinê bi qasî 5V kêm e.

Teknolojiya sêwirandin û hilberînê ya MOEMS Piraniya teknolojiya hilberîna MOEMS rasterast ji pîşesaziya IC û standardên hilberîna wê çêdibe. Ji ber vê yekê, teknolojiya mîkro-makînekirina laş û rûerdê û teknolojiya mîkro-makîneya volga bilind (HARM) di MOEMS de têne bikar anîn. Lê kêşeyên din jî hene wek mezinahiya mirinê, yekrengiya materyalê, teknolojiya sê-alî, topografiya rûkal û pêvajoyek dawîn, nehevî û hestiyariya germahiyê.