Desain PCB sareng analisis metode bungkusan alat MOEMS

MOEMS mangrupikeun téknologi anu muncul anu parantos janten salah sahiji téknologi anu pang populerna di dunya. MOEMS nyaéta sistem mikro-éléktro-mékanis (MEMS) anu ngagunakeun sistem fotonik. Éta ngandung modulator optik mikro-mékanis, saklar optik mikro-mékanis, IC sareng komponenana sanésna, sareng nganggo miniaturisasi, multiplicity, sareng microelectronics téknologi MEMS pikeun ngahontal integrasi Seamless alat optik sareng alat listrik. Kantun nempatkeun, MOEMS mangrupikeun integrasi salajengna tina chip tingkat sistem. Dibandingkeun sareng alat opto-mékanis skala ageung, PCB desain alat MOEMS leuwih leutik, torek, gancang (kalawan frékuénsi résonansi luhur), sarta bisa dihasilkeun dina bets. Dibandingkeun sareng metode pandu gelombang, metode rohangan bébas ieu gaduh kaunggulan kaleungitan kopling anu langkung handap sareng crosstalk anu langkung alit. Parobihan dina potonik sareng téknologi inpormasi langsung ngamajukeun pamekaran MOEMS. Gambar 1 nembongkeun hubungan antara microelectronics, micromechanics, optelectronics, serat optik, MEMS na MOEMS. Kiwari, téknologi inpormasi ngembang pesat sareng terus diropéa, sareng ku 2010, laju muka cahaya tiasa ngahontal Tb / s. Ngaronjatkeun tingkat data sareng syarat peralatan generasi anyar anu langkung luhur parantos nyababkeun paménta pikeun MOEMS sareng sambungan optik, sareng aplikasi desain PCB alat MOEMS dina widang optoelectronics terus ningkat.

Desain PCB alat MOEMS jeung téhnologi PCB design Alat MOEMS dibagi kana interferensi, difraksi, transmisi, jeung tipe cerminan nurutkeun prinsip kerja fisik maranéhanana (tingali Table 1), sarta lolobana ti maranéhanana ngagunakeun alat reflective. MOEMS parantos ngahontal pangwangunan anu signifikan dina sababaraha taun katukang. Dina taun-taun ayeuna, kusabab paningkatan paménta pikeun komunikasi gancang sareng pangiriman data, panalungtikan sareng pamekaran téknologi MOEMS sareng alat-alatna parantos dirangsang pisan. leungitna low diperlukeun, sensitipitas EMV low, sarta crosstalk low laju data tinggi reflected lampu PCB design alat MOEMS geus dimekarkeun.

Kiwari, salian alat basajan sapertos attenuator optik variabel (VOA), téknologi MOEMS ogé tiasa dianggo pikeun ngahasilkeun laser pemancar permukaan rongga nangtung (VCSEL), modulator optik, photodetectors selektif panjang gelombang tunable sareng alat optik anu sanés. Komponén aktif sareng saringan, saklar optik, panjang gelombang anu tiasa diprogram optik tambihan / teundeun multiplexer (OADM) sareng komponén pasip optik sanés sareng sambungan silang optik skala ageung (OXC).

Dina téknologi inpormasi, salah sahiji konci pikeun aplikasi optik nyaéta sumber cahaya komersil. Salian sumber cahaya monolitik (sapertos sumber radiasi termal, LED, LD, sareng VCSEL), sumber cahaya MOEMS sareng alat aktip khususna prihatin. Contona, dina VCSEL tunable, panjang gelombang émisi resonator bisa dirobah ku cara ngarobah panjang resonator ku micromechanics, kukituna merealisasikan-kinerja tinggi téhnologi WDM. Ayeuna, metode tuning cantilever dukungan sareng struktur anu tiasa dipindah-pindahkeun kalayan panangan dukungan parantos dikembangkeun.

MOEMS saklar optik jeung kaca spion movable sarta arrays eunteung ogé geus dimekarkeun pikeun assembling OXC, parallel, sarta on / off switch arrays. Gambar 2 nunjukkeun saklar serat optik MOEMS rohangan bébas, anu gaduh sapasang aktuator kantilever ngawangun U pikeun gerakan gurat serat. Dibandingkeun sareng switch waveguide tradisional, kaunggulan na nyaéta leungitna gandeng handap sarta crosstalk leutik.

Saringan optik kalayan rupa-rupa kontinyu tiasa disaluyukeun mangrupikeun alat anu penting dina jaringan DWDM variabel, sareng saringan MOEMS F_P anu nganggo sababaraha sistem bahan parantos dikembangkeun. Alatan kalenturan mékanis tina diafragma tunable sarta panjang rongga optik éféktif, rentang tunable panjang gelombang alat ieu ngan 70nm. Perusahaan OpNext Jepang parantos ngembangkeun saringan MOEMS F_P kalayan lebar anu tiasa dirékam. Saringan dumasar kana sababaraha téknologi MOEMS InP/gap hawa. Struktur nangtung diwangun ku 6 lapisan diafragma InP ditunda. Film mangrupa struktur sirkular sarta dirojong ku tilu atawa opat pigura gantung. Sambungan tabel rojongan rectangular. Filter F_P tunable kontinyu na boga pita eureun pisan lega, ngawengku jandéla komunikasi optik kadua jeung katilu (1 250 ~ 1800 nm), panjang gelombang tuning lebar na leuwih gede ti 112 nm, sarta tegangan actuation nyaeta sakumaha low sakumaha 5V.

Desain MOEMS sareng téknologi produksi Kalolobaan téknologi produksi MOEMS langsung mekar tina industri IC sareng standar manufakturna. Ku alatan éta, awak jeung permukaan mikro-machining jeung volume tinggi micro-machining (HARM) téhnologi dipaké dina MOEMS. Tapi aya tantangan séjén kayaning ukuran paeh, uniformity bahan, téhnologi tilu diménsi, topografi permukaan jeung processing ahir, unevenness jeung sensitipitas suhu.