MOEMS በዓለም ላይ በጣም ታዋቂ ከሆኑ ቴክኖሎጂዎች ውስጥ አንዱ የሆነ አዲስ ቴክኖሎጂ ነው። MOEMS የፎቶኒክ ስርዓትን የሚጠቀም ማይክሮ-ኤሌክትሮ-ሜካኒካል ሲስተም (MEMS) ነው። ማይክሮ ሜካኒካል ኦፕቲካል ሞዱላተሮችን፣ ማይክሮ ሜካኒካል ኦፕቲካል ስዊቾችን፣ አይሲዎችን እና ሌሎች ክፍሎችን የያዘ ሲሆን የሜኤምኤስ ቴክኖሎጂን አነስተኛነት፣ ብዜት እና ማይክሮኤሌክትሮኒክስ በመጠቀም የኦፕቲካል መሳሪያዎችን እና የኤሌክትሪክ መሳሪያዎችን ያለምንም እንከን የለሽ ውህደት ይጠቀማል። በቀላል አነጋገር MOEMS የስርዓተ-ደረጃ ቺፕስ ተጨማሪ ውህደት ነው። ከትላልቅ የኦፕቶ-ሜካኒካል መሳሪያዎች ጋር ሲወዳደር ዲስትሪከት ንድፍ MOEMS መሳሪያዎች ያነሱ፣ ቀላል፣ ፈጣን (ከፍተኛ ድምፅ ያለው ድግግሞሽ ያለው) እና በቡድን ሊመረቱ ይችላሉ። ከሞገድ ጋይድ ዘዴ ጋር ሲነጻጸር፣ ይህ የነፃ ቦታ ዘዴ ዝቅተኛ የማጣመጃ መጥፋት እና ትንሽ የመሻገር ጥቅሞች አሉት። የፎቶኒክስ እና የኢንፎርሜሽን ቴክኖሎጂ ለውጦች የ MOEMS እድገትን በቀጥታ አስተዋውቀዋል። ምስል 1 በማይክሮኤሌክትሮኒክስ፣ በማይክሮሜካኒክስ፣ በኦፕቶኤሌክትሮኒክስ፣ ፋይበር ኦፕቲክስ፣ MEMS እና MOEMS መካከል ያለውን ግንኙነት ያሳያል። በአሁኑ ጊዜ የኢንፎርሜሽን ቴክኖሎጂ በፍጥነት እና በየጊዜው እየተሻሻለ ነው, እና በ 2010, የብርሃን መክፈቻ ፍጥነት Tb/s ሊደርስ ይችላል. የውሂብ ተመኖች መጨመር እና ከፍተኛ አፈጻጸም አዲስ-ትውልድ መሣሪያዎች መስፈርቶች MOEMS እና የጨረር interconnects ያለውን ፍላጎት ገፋፋቸው, እና PCB ንድፍ MOEMS መሣሪያዎች optoelectronics መስክ ውስጥ አተገባበር እያደገ ቀጥሏል.

የ MOEMS መሳሪያዎች የ PCB ንድፍ እና የማሸጊያ ዘዴ ትንተና

የ PCB ዲዛይን MOEMS መሳሪያዎች እና ቴክኖሎጂ የ PCB ዲዛይን MOEMS መሳሪያዎች በአካላዊ የስራ መርሆቻቸው መሰረት ወደ ጣልቃ መግባት፣ መከፋፈል፣ ማስተላለፊያ እና ነጸብራቅ ዓይነቶች ተከፋፍለዋል (ሰንጠረዥ 1 ይመልከቱ) እና አብዛኛዎቹ የሚያንፀባርቁ መሳሪያዎችን ይጠቀማሉ። MOEMS ባለፉት ጥቂት ዓመታት ውስጥ ከፍተኛ እድገት አስመዝግቧል። ከቅርብ ዓመታት ወዲህ የከፍተኛ ፍጥነት ግንኙነት እና የመረጃ ልውውጥ ፍላጎት እየጨመረ በመምጣቱ የ MOEMS ቴክኖሎጂ እና መሳሪያዎቹ ምርምር እና ልማት በጣም ተበረታተዋል. የሚፈለገው ዝቅተኛ ኪሳራ፣ ዝቅተኛ የኢኤምቪ ስሜታዊነት እና ዝቅተኛ ንግግር ከፍተኛ የውሂብ መጠን የሚያንፀባርቅ የብርሃን PCB ንድፍ MOEMS መሳሪያዎች ተዘጋጅተዋል።

በአሁኑ ጊዜ፣ እንደ ተለዋዋጭ ኦፕቲካል አቴንስተሮች (ቪኦኤ) ካሉ ቀላል መሳሪያዎች በተጨማሪ MOEMS ቴክኖሎጂ ሊስተካከል የሚችል የቁመት ቀዳዳ ላዩን አመንጪ ሌዘር (VCSEL)፣ የኦፕቲካል ሞዱላተሮች፣ የተስተካከለ የሞገድ ርዝመት መራጭ ፎቶ ጠቋሚዎችን እና ሌሎች የእይታ መሳሪያዎችን ለማምረት ያስችላል። ንቁ ክፍሎች እና ማጣሪያዎች፣ የጨረር መቀየሪያዎች፣ በፕሮግራም ሊደረግ የሚችል የሞገድ ርዝመት ኦፕቲካል አክል/መጣል multiplexers (OADM) እና ሌሎች የጨረር ተገብሮ ክፍሎች እና መጠነ ሰፊ የኦፕቲካል መስቀል መገናኛዎች (OXC)።

በኢንፎርሜሽን ቴክኖሎጂ ውስጥ፣ ለኦፕቲካል አፕሊኬሽኖች ቁልፍ ከሆኑ ነገሮች ውስጥ አንዱ በገበያ የተበጁ የብርሃን ምንጮች ነው። ከሞኖሊቲክ የብርሃን ምንጮች (እንደ የሙቀት ጨረር ምንጮች፣ ኤልኢዲዎች፣ ኤልዲዎች እና ቪሲኤስኤሎች) በተጨማሪ የ MOEMS ብርሃን ምንጮች ከንቁ መሳሪያዎች ጋር በተለይ ያሳስባቸዋል። ለምሳሌ፣ በተስተካከለ VCSEL ውስጥ፣ የሬዞናተሩን ልቀት የሞገድ ርዝመት በማይክሮሜካኒክስ የሬዞናተሩን ርዝመት በመቀየር ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው የWDM ቴክኖሎጂን በመገንዘብ ሊቀየር ይችላል። በአሁኑ ጊዜ የድጋፍ ታንኳ ማስተካከያ ዘዴ እና የድጋፍ ክንድ ያለው ተንቀሳቃሽ መዋቅር ተዘጋጅቷል.

MOEMS ኦፕቲካል ማብሪያ / ማጥፊያዎች ከተንቀሳቃሽ መስታወት እና ከመስተዋት ድርድር ጋር እንዲሁ OXCን ለመገጣጠም ፣ ትይዩ እና ለማብራት / ለማጥፋት ተዘጋጅተዋል። ምስል 2 ነፃ ቦታ MOEMS ፋይበር ኦፕቲክ ማብሪያ / ማጥፊያ ያሳያል ፣ እሱም ለፋይበር ላተራል እንቅስቃሴ ጥንድ ዩ-ቅርፅ ያለው የ cantilever actuators አለው። ከተለምዷዊው የሞገድ አቅጣጫ መቀየሪያ ጋር ሲነፃፀር ጥቅሞቹ ዝቅተኛ የማጣመጃ መጥፋት እና ትንሽ የመስቀል ንግግር ናቸው።

ያለማቋረጥ የሚስተካከለው ሰፊ ክልል ያለው የኦፕቲካል ማጣሪያ በተለዋዋጭ DWDM አውታረመረብ ውስጥ በጣም አስፈላጊ መሣሪያ ነው ፣ እና MOEMS F_P የተለያዩ የቁሳቁስ ስርዓቶችን በመጠቀም ማጣሪያዎች ተዘጋጅተዋል። በተጣጣመ ዲያፍራም ሜካኒካል ተለዋዋጭነት እና ውጤታማ የጨረር ክፍተት ርዝመት ምክንያት የእነዚህ መሳሪያዎች የሞገድ ርዝመት 70nm ብቻ ነው. የጃፓኑ ኦፕኔክስት ኩባንያ እጅግ በጣም ጥሩ የሆነ ስፋት ያለው MOEMS F_P ማጣሪያ ሠርቷል። ማጣሪያው በበርካታ InP/አየር ክፍተት MOEMS ቴክኖሎጂ ላይ የተመሰረተ ነው። ቁመታዊው መዋቅር 6 ​​ንብርብሮች የተንጠለጠሉ የኢንፒ ዲያፍራምሞችን ያቀፈ ነው። ፊልሙ ክብ ቅርጽ ያለው እና በሶስት ወይም በአራት የተንጠለጠሉ ክፈፎች የተደገፈ ነው. አራት ማዕዘን ቅርጽ ያለው የድጋፍ ሰንጠረዥ ግንኙነት. ቀጣይነት ያለው የኤፍ_ፒ ማጣሪያ በጣም ሰፊ የማቆሚያ ባንድ ያለው ሲሆን ሁለተኛውን እና ሶስተኛውን የጨረር መገናኛ መስኮቶችን (1 250 ~ 1800 nm) የሚሸፍን ሲሆን የሞገድ ርዝመቱ ማስተካከያ ስፋቱ ከ112 nm በላይ ሲሆን የእንቅስቃሴ ቮልቴጁ 5V ያህል ዝቅተኛ ነው።

MOEMS የዲዛይን እና የምርት ቴክኖሎጂ አብዛኛው የ MOEMS ምርት ቴክኖሎጂ በቀጥታ ከ IC ኢንዱስትሪ እና ከማኑፋክቸሪንግ ደረጃዎች የተሻሻለ ነው። ስለዚህ የሰውነት እና የገጽታ ማይክሮ-ማሽን እና ከፍተኛ መጠን ያለው ማይክሮ-ማሽን (HARM) ቴክኖሎጂ በ MOEMS ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል። ነገር ግን እንደ የሞት መጠን፣ የቁሳቁስ ወጥነት፣ ባለ ሶስት አቅጣጫዊ ቴክኖሎጂ፣ የገጽታ አቀማመጥ እና የመጨረሻ ሂደት፣ አለመመጣጠን እና የሙቀት መጠንን የመሳሰሉ ሌሎች ተግዳሮቶች አሉ።