Ang MOEMS usa ka bag-ong teknolohiya nga nahimong usa sa labing inila nga mga teknolohiya sa kalibutan. Ang MOEMS usa ka micro-electro-mechanical system (MEMS) nga naggamit ug photonic system. Naglangkob kini sa micro-mechanical optical modulators, micro-mechanical optical switch, ICs ug uban pang mga sangkap, ug gigamit ang miniaturization, multiplicity, ug microelectronics sa MEMS nga teknolohiya aron makab-ot ang Seamless nga panagsama sa mga optical device ug electrical device. Sa yano nga pagkasulti, ang MOEMS mao ang dugang nga paghiusa sa mga chips nga lebel sa sistema. Kung itandi sa dagkong mga aparato nga opto-mekanikal, PCB Ang disenyo sa MOEMS nga mga himan mas gamay, mas gaan, mas paspas (nga adunay mas taas nga frequency sa resonance), ug mahimo nga mga batch. Kung itandi sa pamaagi sa waveguide, kini nga libre nga pamaagi sa wanang adunay mga bentaha sa ubos nga pagkawala sa pagdugtong ug mas gamay nga crosstalk. Ang mga pagbag-o sa photonics ug teknolohiya sa impormasyon direktang nagpasiugda sa pagpalambo sa MOEMS. Gipakita sa Figure 1 ang relasyon tali sa microelectronics, micromechanics, optoelectronics, fiber optics, MEMS ug MOEMS. Karong panahona, ang teknolohiya sa impormasyon kusog nga nag-uswag ug kanunay nga gi-update, ug sa 2010, ang katulin sa pagbukas sa kahayag mahimong moabot sa Tb/s. Ang pagdugang sa mga rate sa datos ug mas taas nga pasundayag nga bag-ong henerasyon nga mga kinahanglanon sa kagamitan nagduso sa panginahanglan alang sa MOEMS ug optical interconnects, ug ang aplikasyon sa PCB nga disenyo sa MOEMS nga mga aparato sa natad sa optoelectronics nagpadayon sa pagtubo.

Ang laraw sa PCB ug pag-analisar sa pamaagi sa pagputos sa mga aparato sa MOEMS

Ang laraw sa PCB nga mga aparato sa MOEMS ug teknolohiya Ang laraw sa PCB Ang mga aparato sa MOEMS gibahin sa mga matang sa interference, diffraction, transmission, ug pagpamalandong sumala sa ilang pisikal nga mga prinsipyo sa pagtrabaho (tan-awa ang Talaan 1), ug kadaghanan sa kanila naggamit mga aparato nga nagpabanaag. Nakab-ot sa MOEMS ang hinungdanon nga pag-uswag sa miaging pipila ka tuig. Sa bag-ohay nga mga tuig, tungod sa pagtaas sa panginahanglan alang sa high-speed nga komunikasyon ug pagpadala sa datos, ang panukiduki ug pag-uswag sa teknolohiya sa MOEMS ug ang mga aparato niini nadasig pag-ayo. Ang gikinahanglan nga ubos nga pagkawala, ubos nga pagkasensitibo sa EMV, ug ubos nga crosstalk nga taas nga rate sa datos nga nagpakita sa kahayag sa disenyo sa PCB nga MOEMS nga mga himan naugmad.

Karong panahona, dugang sa yano nga mga himan sama sa variable optical attenuators (VOA), ang MOEMS nga teknolohiya mahimo usab nga gamiton aron makahimo og tunable vertical cavity surface emitting lasers (VCSEL), optical modulators, tunable wavelength selective photodetectors ug uban pang optical devices. Aktibo nga mga sangkap ug mga filter, optical switch, programmable wavelength optical add/drop multiplexers (OADM) ug uban pang optical passive components ug large-scale optical cross-connects (OXC).

Sa teknolohiya sa impormasyon, usa sa mga yawe sa optical nga mga aplikasyon mao ang commercialized light sources. Dugang pa sa monolithic nga mga tinubdan sa kahayag (sama sa thermal radiation nga mga tinubdan, LEDs, LDs, ug VCSELs), ang MOEMS nga mga tinubdan sa kahayag nga adunay aktibong mga himan ilabinang nabalaka. Pananglitan, sa usa ka tunable VCSEL, ang emission wavelength sa resonator mahimong mausab pinaagi sa pag-usab sa gitas-on sa resonator pinaagi sa micromechanics, sa ingon makaamgo sa high-performance WDM nga teknolohiya. Sa pagkakaron, usa ka paagi sa pag-tune sa cantilever nga suporta ug usa ka movable structure nga adunay suporta nga bukton ang naugmad.

Ang MOEMS optical switch nga adunay movable mirrors ug mirror arrays naugmad usab para sa pag-assemble sa OXC, parallel, ug on/off switch arrays. Ang Figure 2 nagpakita sa usa ka free-space MOEMS fiber optic switch, nga adunay usa ka parisan sa U-shaped cantilever actuators alang sa lateral nga paglihok sa fiber. Kung itandi sa tradisyonal nga waveguide switch, ang mga bentaha niini mao ang ubos nga pagkawala sa pagdugtong ug mas gamay nga crosstalk.

Ang usa ka optical filter nga adunay daghang halapad nga padayon nga mapaigoigo usa ka hinungdanon kaayo nga aparato sa usa ka variable nga network sa DWDM, ug ang mga pagsala sa MOEMS F_P gamit ang lainlaing mga sistema sa materyal naugmad. Tungod sa mekanikal nga pagka-flexible sa tunable diaphragm ug epektibo nga optical cavity length, ang wavelength tunable range niini nga mga device kay 70nm lamang. Ang OpNext nga kompanya sa Japan nakamugna og MOEMS F_P filter nga adunay record tunable width. Ang filter gibase sa daghang teknolohiya sa InP/air gap MOEMS. Ang bertikal nga istruktura gilangkuban sa 6 nga mga layer sa gisuspinde nga InP diaphragms. Ang pelikula usa ka lingin nga istruktura ug gisuportahan sa tulo o upat nga mga frame sa suspensyon. Rectangular nga suporta sa lamesa nga koneksyon. Ang padayon nga tunable nga F_P filter adunay lapad kaayo nga stop band, nga naglangkob sa ikaduha ug ikatulo nga optical communication windows (1 250 ~ 1800 nm), ang wavelength tuning width niini mas dako pa kay sa 112 nm, ug ang actuation boltahe mao ang ubos sa 5V.

Disenyo ug teknolohiya sa produksiyon sa MOEMS Kadaghanan sa teknolohiya sa produksiyon sa MOEMS direkta nga milambo gikan sa industriya sa IC ug mga sumbanan sa paghimo niini. Busa, ang body ug surface micro-machining ug high-volume micro-machining (HARM) nga teknolohiya gigamit sa MOEMS. Apan adunay uban pang mga hagit sama sa gidak-on sa mamatay, pagkaparehas sa materyal, three-dimensional nga teknolohiya, topograpiya sa nawong ug katapusan nga pagproseso, dili patas ug pagkasensitibo sa temperatura.