Tha MOEMS na theicneòlas a tha a ’tighinn am bàrr a thàinig gu bhith mar aon de na teicneòlasan as mòr-chòrdte san t-saoghal. Tha MOEMS na shiostam meanbh-electro-meacanaigeach (MEMS) a bhios a ’cleachdadh siostam photonic. Tha moduladairean optigeach meanbh-mheacanaigeach ann, suidsichean optigeach meanbh-mheacanaigeach, ICan agus co-phàirtean eile, agus bidh e a ’cleachdadh miniaturization, iomadalachd, agus microelectronics de theicneòlas MEMS gus amalachadh Seamless de innealan optigeach agus innealan dealain a choileanadh. Gu sìmplidh, is e MOEMS an tuilleadh amalachadh de chips ìre siostam. An coimeas ri innealan opto-meacanaigeach air sgèile mhòr, PCB tha innealan MOEMS dealbhaidh nas lugha, nas aotrom, nas luaithe (le tricead ath-chuairteachaidh nas àirde), agus faodar an toirt a-mach ann an batches. An coimeas ris an dòigh tonn-tonn, tha na buannachdan aig an dòigh àite an-asgaidh seo de chall coupling nas ìsle agus crosstalk nas lugha. Tha na h-atharrachaidhean ann an fotonics agus teicneòlas fiosrachaidh air adhartachadh gu dìreach leasachadh MOEMS. Tha Figear 1 a ’sealltainn a’ cheangail eadar microelectronics, micromechanics, optoelectronics, optics fiber, MEMS agus MOEMS. An-diugh, tha teicneòlas fiosrachaidh a ’leasachadh gu luath agus gu cunbhalach air ùrachadh, agus ro 2010, faodaidh astar fosgladh solais ruighinn Tb / s. Tha àrdachadh ann an ìrean dàta agus riatanasan uidheamachd ginealach ùr le coileanadh nas àirde air an iarrtas airson MOEMS agus eadar-cheanglaichean optigeach a stiùireadh, agus tha cleachdadh innealan MOEMS dealbhaidh PCB ann an raon optoelectronics a ’sìor fhàs.

Mion-sgrùdadh modh dealbhaidh is pacaidh PCB de innealan MOEMS

Dealbhadh PCB innealan MOEMS agus teicneòlas Tha innealan MOEMS dealbhadh PCB air an roinn ann an seòrsachan eadar-theachd, dealachaidh, tar-chuir, agus meòrachadh a rèir nam prionnsapalan obrach corporra aca (faic Clàr 1), agus bidh a ’mhòr-chuid dhiubh a’ cleachdadh innealan meòrachail. Tha MOEMS air leasachadh mòr a choileanadh anns na beagan bhliadhnaichean a dh ’fhalbh. Anns na bliadhnachan mu dheireadh, mar thoradh air an àrdachadh san iarrtas airson conaltradh aig astar luath agus sgaoileadh dàta, tha rannsachadh agus leasachadh teicneòlas MOEMS agus na h-innealan aige air a bhrosnachadh gu mòr. Chaidh an call ìosal a dh ’fheumar, cugallachd EMV ìosal, agus ìre dàta àrd crosstalk àrd a’ nochdadh innealan MOEMS dealbhadh PCB aotrom.

An-diugh, a bharrachd air innealan sìmplidh leithid attenuators optigeach caochlaideach (VOA), faodar teicneòlas MOEMS a chleachdadh cuideachd airson lasairean sgaoilidh uachdar cavity inghearach (VCSEL), moduladairean optigeach, photodetectors roghnach tonn-tonn tunable agus innealan optigeach eile. Co-phàirtean gnìomhach agus sìoltachain, suidsichean optigeach, multiplexers add / drop tonn-tonn prògramaichte (OADM) agus co-phàirtean fulangach optigeach eile agus tar-cheanglaichean optigeach air sgèile mhòr (OXC).

Ann an teicneòlas fiosrachaidh, is e stòran solais malairteach aon de na h-iuchraichean gu tagraidhean optigeach. A bharrachd air stòran solais monolithic (leithid stòran rèididheachd teirmeach, LEDs, LDs, agus VCSELs), tha stòran solais MOEMS le innealan gnìomhach gu sònraichte draghail. Mar eisimpleir, ann an VCSEL tunable, faodar tonn-tonn sgaoilidh an resonator atharrachadh le bhith ag atharrachadh fad an resonator le micromechanics, mar sin a ’toirt gu buil teicneòlas WDM àrd-choileanaidh. Aig an àm seo, chaidh dòigh gleusadh cantilever taic agus structar gluasadach le gàirdean taic a leasachadh.

Chaidh suidsichean optigeach MOEMS le sgàthan gluasadach agus arrays sgàthan a leasachadh cuideachd airson a bhith a ’cur ri chèile OXC, co-shìnte, agus arrays suidse air / dheth. Tha Figear 2 a ’sealltainn tionndadh optic fiber MOEMS an-asgaidh, anns a bheil paidhir de actuators cantilever cumadh U airson gluasad fadalach den t-snàithleach. An coimeas ris an tionndadh tonn-tonn traidiseanta, is e na buannachdan aige call coupling nas ìsle agus crosstalk nas lugha.

Tha sìoltachan optigeach le raon farsaing de dh ’atharrachadh leantainneach na inneal fìor chudromach ann an lìonra DWDM caochlaideach, agus chaidh sìoltachain MOEMS F_P a’ cleachdadh diofar shiostaman stuthan a leasachadh. Air sgàth sùbailteachd meacanaigeach an diaphragm tunable agus fad cavity optigeach èifeachdach, chan eil an raon tunable tunable de na h-innealan sin ach 70nm. Tha a ’chompanaidh OpNext à Iapan air sìoltachan MOEMS F_P a leasachadh le leud tunable as àirde. Tha an criathrag stèidhichte air ioma-theicneòlas MOPS InP / air. Tha an structar dìreach air a dhèanamh suas de 6 sreathan de diaphragms InP crochte. Tha am film na structar cruinn agus a ’faighinn taic bho thrì no ceithir frèamaichean crochaidh. Ceangal clàr taic ceart-cheàrnach. Tha còmhlan stad glè fharsaing aig an sìoltachan F_P tunable leantainneach aige, a ’còmhdach an dàrna agus an treas uinneag conaltraidh optigeach (1 250 ~ 1800 nm), tha an leud gleusaidh tonn-tonn aige nas motha na 112 nm, agus tha an bholtadh cleasachd cho ìosal ri 5V.

Teicneòlas dealbhaidh is riochdachaidh MOEMS Tha a ’mhòr-chuid de theicneòlas riochdachaidh MOEMS air a leasachadh gu dìreach bho ghnìomhachas IC agus na h-inbhean saothrachaidh aige. Mar sin, thathas a ’cleachdadh teicneòlas meanbh-innealachadh bodhaig is uachdar agus teicneòlas meanbh-innealadh àrd (HARM) ann an MOEMS. Ach tha dùbhlain eile ann leithid meud die, èideadh stuthan, teicneòlas trì-thaobhach, cumadh uachdar agus giollachd deireannach, neo-chothromachd agus cugallachd teòthachd.