Teicneolaíocht atá ag teacht chun cinn is ea MOEMS atá anois ar cheann de na teicneolaíochtaí is mó éilimh ar domhan. Is córas micrea-leictrimheicniúil (MEMS) é MOEMS a úsáideann córas fótónach. Tá modhnóirí optúla micrea-mheicniúla ann, lasca optúla micrea-mheicniúla, ICanna agus comhpháirteanna eile, agus úsáideann sé miniaturization, iolrachas, agus micreictreonaic na teicneolaíochta MEMS chun comhtháthú gan uaim feistí optúla agus feistí leictreacha a bhaint amach. Níl ort ach a chur, is é MOEMS comhtháthú breise sceallóga ar leibhéal an chórais. I gcomparáid le gairis opto-mheicniúla ar mhórscála, PCB tá feistí MOEMS dearaidh níos lú, níos éadroime, níos gasta (le minicíocht athshondais níos airde), agus is féidir iad a tháirgeadh i mbaisceanna. I gcomparáid leis an modh tonnfhaid, tá buntáistí ag baint leis an modh spáis saor in aisce seo maidir le caillteanas cúplála níos ísle agus crosstalk níos lú. Chuir na hathruithe ar fhótóinic agus teicneolaíocht faisnéise forbairt MOEMS chun cinn go díreach. Taispeánann Figiúr 1 an gaol idir micreictreonaic, micromechanics, optoelectronics, optics snáithín, MEMS agus MOEMS. Sa lá atá inniu ann, tá teicneolaíocht na faisnéise ag forbairt go tapa agus á nuashonrú i gcónaí, agus faoi 2010, is féidir le luas an oscailt solais Tb / s a ​​bhaint amach. Tá rátaí sonraí méadaithe agus riachtanais trealaimh ghlúin nua ardfheidhmíochta tar éis an t-éileamh ar MOEMS agus idirnaisc optúla a thiomáint, agus tá cur i bhfeidhm feistí MOEMS dearaidh PCB i réimse na optoelectronics ag dul i méid i gcónaí.

Anailís ar dhearadh agus ar phacáistiú PCB ar fheistí MOEMS

Dearadh PCB feistí agus teicneolaíocht MOEMS Dearadh Roinntear feistí MOEMS dearadh PCB i gcineálacha cur isteach, díraonta, tarchuir agus machnaimh de réir a bprionsabal oibre corpartha (féach Tábla 1), agus úsáideann a bhformhór feistí frithchaiteacha. Tá forbairt shuntasach bainte amach ag MOEMS le cúpla bliain anuas. Le blianta beaga anuas, mar gheall ar an méadú ar an éileamh ar chumarsáid ardluais agus tarchur sonraí, spreagadh taighde agus forbairt theicneolaíocht MOEMS agus a cuid feistí go mór. Forbraíodh na feistí MOEMS dearadh PCB éadrom a léiríonn an caillteanas íseal, íogaireacht íseal EMV, agus ráta ard crosstalk íseal sonraí.

Sa lá atá inniu ann, i dteannta le gairis shimplí mar attenuators optúla inathraithe (VOA), is féidir teicneolaíocht MOEMS a úsáid freisin chun léasair astaithe dromchla cuas ingearach inúsáidte (VCSEL), modhnóirí optúla, fótaileastóirí roghnacha tonnfhaid inúsáidte agus gairis optúla eile a tháirgeadh. Comhpháirteanna gníomhacha agus scagairí, lasca optúla, ilphléacsálaithe optúla add / drop tonnfhaid ríomhchláraithe (OADM) agus comhpháirteanna éighníomhacha optúla eile agus tras-naisc optúla ar mhórscála (OXC).

I dteicneolaíocht na faisnéise, is foinsí solais tráchtálaithe ceann de na heochracha d’fheidhmchláir optúla. Chomh maith le foinsí solais monolithic (amhail foinsí radaíochta teirmeacha, soilse stiúir, LDanna, agus VCSELanna), tá imní ar leith ar fhoinsí solais MOEMS le gairis ghníomhacha. Mar shampla, i VCSEL inúsáidte, is féidir tonnfhad astaíochta an athshondóra a athrú trí fhad an athshondóra a athrú le micreicniceolaíocht, agus ar an gcaoi sin teicneolaíocht WDM ardfheidhmíochta a bhaint amach. Faoi láthair, tá modh tiúnadh cantilever tacaíochta agus struchtúr sochorraithe le lámh tacaíochta forbartha.

Forbraíodh lasca optúla MOEMS le scátháin shochorraithe agus eagair scátháin chun eagair OXC, comhthreomhara agus lasc-lasctha a chur le chéile. Taispeánann Figiúr 2 lasc snáthoptaice MOEMS saor-spáis, a bhfuil péire gníomhairí cantilever cruth U ann le haghaidh gluaiseacht cliathánach an tsnáithín. I gcomparáid leis an lasc tonnfhaid traidisiúnta, is iad na buntáistí atá leis ná caillteanas cúplála níos ísle agus crosstalk níos lú.

Is gléas an-tábhachtach é scagaire optúil le raon leathan inchoigeartaithe go leanúnach i líonra athraitheach DWDM, agus forbraíodh scagairí MOEMS F_P a úsáideann córais ábhair éagsúla. Mar gheall ar sholúbthacht mheicniúil an scairt in-tunaithe agus fad na cavity optúla éifeachtach, níl ach 70nm i réimse inúsáidte tonnfhaid na bhfeistí seo. D’fhorbair cuideachta OpNext na Seapáine scagaire MOEMS F_P le leithead inúsáidte. Tá an scagaire bunaithe ar theicneolaíocht iolrach InP / bearna aeir MOEMS. Tá an struchtúr ingearach comhdhéanta de 6 shraith de scairtí InP ar fionraí. Is struchtúr ciorclach é an scannán agus tacaíonn trí nó ceithre fhráma fionraí leis. Ceangal tábla tacaíochta dronuilleogach. Tá banda stad an-leathan ag a scagaire F_P inúsáidte leanúnach, a chlúdaíonn an dara agus an tríú fuinneog cumarsáide optúla (1 250 ~ 1800 nm), tá a leithead tiúnadh tonnfhaid níos mó ná 112 nm, agus tá an voltas gníomhachtúcháin chomh híseal le 5V.

Teicneolaíocht dearaidh agus táirgeachta MOEMS Tagann an chuid is mó de theicneolaíocht táirgthe MOEMS go díreach ó thionscal an IC agus a chaighdeáin déantúsaíochta. Dá bhrí sin, úsáidtear micrea-mheaisínithe coirp agus dromchla agus teicneolaíocht micrea-mheaisínithe ard-toirte (HARM) i MOEMS. Ach tá dúshláin eile ann amhail méid bás, aonfhoirmeacht ábhartha, teicneolaíocht tríthoiseach, topagrafaíocht dromchla agus próiseáil dheiridh, míchothromacht agus íogaireacht teochta.