Ko te MOEMS tetahi hangarau hou kua noho ko tetahi o nga hangarau rongonui o te ao. Ko te MOEMS he punaha miihini-hiko-hiko (MEMS) e whakamahi ana i te punaha whakaahua. Kei roto i nga miihini miihini miihini miihini, miihini miihini miihini miihini miihini, IC me etahi atu waahanga, me te whakamahi i te miniaturization, te tini, me te microelectronics o te hangarau MEMS ki te whakatutuki i te whakauru tuitui o nga taputapu whatu me nga taputapu hiko. Ma te ngawari, ko te MOEMS te whakaurunga atu o nga maramara taumata-raupapa. Ka whakaritea ki nga taputapu opto-miihini nui, PCB hoahoa he iti ake nga taputapu MOEMS, he maamaa, he tere ake (me te teitei o te resonance), ka taea te whakaputa i roto i nga roopu. Ka whakatauritea ki te tikanga arataki ngaru, ko tenei tikanga mokowā kore utu he painga o te mate hononga iti me te iti ake o nga korero whakawhiti. Ko nga huringa o nga whakaahua me nga hangarau korero kua whakatairanga tika i te whanaketanga o MOEMS. Ko te Whakaaturanga 1 e whakaatu ana i te hononga i waenga i te microelectronics, micromechanics, optoelectronics, fiber optics, MEMS me MOEMS. I enei wa, kei te tere haere te hangarau korero me te whakahou tonu, a, i te tau 2010, ko te tere o te whakatuwheratanga marama ka tae ki te Tb/s. Ko te piki ake o nga reiti raraunga me nga whakaritenga taputapu hou-whakatupuranga teitei ake kua akiakihia te tono mo te MOEMS me nga hononga whatu, me te tono o nga taputapu MOEMS hoahoa PCB i roto i te waahanga optoelectronics kei te tipu haere tonu.

PCB hoahoa me te tātari tikanga tākai o ngā pūrere MOEMS

Ko te hoahoa PCB nga taputapu MOEMS me te hangarau PCB hoahoa MOEMS nga taputapu MOEMS kua wehewehea ki nga momo pokanoa, rereke, tuku, me nga momo whakaata i runga i o raatau tikanga mahi tinana (tirohia te Ripanga 1), me te nuinga o ratou e whakamahi ana i nga taputapu whakaata. Kua tutuki i a MOEMS etahi whanaketanga nui i roto i nga tau kua hipa. I nga tau kua pahure ake nei, na te piki haere o te tono mo te whakawhitiwhiti korero tere me te tuku raraunga, kua tino whakaihiihihia te rangahau me te whakawhanaketanga o te hangarau MOEMS me ona taputapu. Ko te mate iti e hiahiatia ana, iti EMV tairongo, me te iti crosstalk auau raraunga teitei whakaata marama PCB hoahoa MOEMS whakaaro kua whakawhanakehia.

I enei ra, i tua atu i nga taputapu ngawari penei i nga attenuators optical variable (VOA), ka taea hoki te whakamahi hangarau MOEMS ki te whakaputa i nga lasers e whakaputa ana i te mata o te kohao poutū (VCSEL), nga kaiwhakaahua mata, nga kairapu whakaahua whiriwhiringa roangaru me etahi atu taputapu whatu. Ko nga waahanga hohe me nga whiriwhiringa, nga huringa whatu, te roangaru ngaru ka taea te taapiri atu/whakaheke multiplexers (OADM) me etahi atu waahanga hihiko me nga hononga-whakawhiti whatu-nui (OXC).

I roto i te hangarau korero, ko tetahi o nga ki o nga tono whatu ko nga puna marama hokohoko. I tua atu i nga puna marama monolithic (pēnei i nga puna iraruke waiariki, nga LED, nga LD, me nga VCSEL), ko nga puna rama MOEMS me nga taputapu kaha e tino awangawanga ana. Hei tauira, i roto i te VCSEL tunable, ka taea te whakarereke i te roangaru tuku o te resonator ma te huri i te roa o te resonator e te micromechanics, na reira ka mohio ki te hangarau WDM mahi nui. I tenei wa, kua hangahia he tikanga mo te whakakorikori i te poupou me te hanga nekeneke me te ringa tautoko.

Ko nga whakakaera whatu MOEMS me nga whakaata nuku me nga huinga whakaata kua hangaia hoki mo te whakahiato i te OXC, te whakarara, me te whakakao/whakaweto i nga huinga whakawhiti. Ko te Whakaaturanga 2 e whakaatu ana i te mokowhiti mokowhiti MOEMS muka whatu, kei a ia he rua o nga kaitahuri-u-ahua mo te neke i te taha o te muka. Ki te whakatauritea ki te whakawhiti arataki ngaru tuku iho, ko ona painga he iti ake te mate hono me te iti ake o te korero whakawhiti.

He taputapu tino nui i roto i te whatunga DWDM rerekee te tātari whatu me te whānuitanga o nga momo whakatikatika haere tonu, a kua whakawhanakehia nga whiriwhiringa MOEMS F_P e whakamahi ana i nga momo punaha rauemi. Na te ngawari o te diaphragm me te roa o te kohanga whatu whai hua, ko te roangaru o enei taputapu he 70nm anake. Kua whakawhanakehia e te kamupene OpNext o Hapani he tātari MOEMS F_P me te whanui rekoata ka taea te whakarite. Ko te tātari i runga i te maha o te hangarau InP/air gap MOEMS. Ko te hanganga poutū e 6 nga paparanga o nga diaphragms InP iri. He hanga porohita te kiriata, ka tautokohia e te toru, e wha ranei nga papa whakatarewa. Hononga tepu tautoko tapawhā. Ko tana tātari F_P kare tonu he roopu aukati tino whanui, e kapi ana i te rua me te tuatoru o nga matapihi whakawhitiwhiti korero whatu (1 250 ~ 1800 nm), he nui ake i te 112 nm te roangaru o te ngaohiko, he iti rawa te ngaohiko whakaoho ki te 5V.

Te hoahoa MOEMS me te hangarau whakangao Ko te nuinga o nga hangarau whakangao MOEMS i ahu tika mai i te ahumahi IC me ona paerewa whakangao. Na reira, ka whakamahia te hangarau miihini miihini-a-tinana me te mata me te miihini miihini miihini teitei (HARM) i roto i te MOEMS. Engari tera ano etahi atu wero penei i te rahi o te mate, te riterite o nga rawa, te hangarau ahu-toru, te ahua o te mata me te tukatuka whakamutunga, te koretake me te tairongo o te pāmahana.