MOEMS дүйнөдөгү эң популярдуу технологиялардын бири болуп калган өнүгүп келе жаткан технология. MOEMS – бул фотоникалык системаны колдонгон микро-электр-механикалык система (MEMS). Ал микро-механикалык оптикалык модуляторлорду, микро-механикалык оптикалык өчүргүчтөрдү, IC жана башка компоненттерди камтыйт жана оптикалык приборлорду жана электрдик түзүлүштөрдү үзгүлтүксүз интеграциялоого жетишүү үчүн MEMS технологиясынын миниатюризациясын, көптүгүн жана микроэлектроникасын колдонот. Жөнөкөй сөз менен айтканда, MOEMS система деңгээлиндеги микросхемалардын андан ары интеграциясы. Ири масштабдуу опто-механикалык түзүлүштөр менен салыштырганда, PCB дизайн MOEMS аппараттары кичирээк, жеңилирээк, ылдамыраак (жогорку резонанстык жыштыгы менен) жана партиялар менен өндүрүлүшү мүмкүн. Толкун өткөргүч ыкмасы менен салыштырганда, бул бош мейкиндик ыкмасы төмөнкү кошунду жоготуу жана кичине кайчылаш артыкчылыктарга ээ. Фотоникадагы жана маалымат технологияларындагы өзгөрүүлөр MOEMSтин өнүгүшүнө түздөн-түз өбөлгө түздү. 1-сүрөт микроэлектроника, микромеханика, оптоэлектроника, була-оптика, MEMS жана MOEMS ортосундагы байланышты көрсөтөт. Азыркы учурда маалыматтык технологиялар тездик менен өнүгүп, тынымсыз жаңыланып, 2010-жылга карата жарыктын ачылуу ылдамдыгы Тб/сек жетиши мүмкүн. Маалымат ылдамдыгын жогорулатуу жана жаңы муундагы жабдууларга болгон талаптардын жогорулашы MOEMS жана оптикалык байланыштар үчүн суроо-талапты жаратты жана оптоэлектроника тармагында PCB дизайны MOEMS түзүлүштөрүн колдонуу өсүүнү улантууда.

MOEMS аппараттардын PCB долбоорлоо жана пакеттөө ыкмасын талдоо

ПХБ конструкциясы MOEMS түзүлүштөрү жана технологиясы ПХБ конструкциясы MOEMS түзүлүштөрү физикалык иштөө принциптери боюнча интерференция, дифракция, өткөрүү жана чагылдыруу түрлөрүнө бөлүнөт (1-таблицаны караңыз) жана алардын көпчүлүгү чагылтуу түзүлүштөрдү колдонушат. MOEMS акыркы бир нече жылда олуттуу өнүгүүгө жетишти. Акыркы жылдары, жогорку ылдамдыктагы байланыш жана маалыматтарды берүү үчүн суроо-талаптын өсүшүнө байланыштуу, MOEMS технологиясын жана анын түзүлүштөрүн изилдөө жана иштеп чыгуу абдан стимулдаштырылган. Керектүү аз жоготуу, төмөн EMV сезгичтиги жана төмөн кайчылаш жогорку маалымат ылдамдыгы чагылдырылган жарык PCB дизайны MOEMS түзмөктөрү иштелип чыккан.

Азыркы учурда, өзгөрүлмө оптикалык аттенюаторлор (VOA) сыяктуу жөнөкөй түзүлүштөрдөн тышкары, MOEMS технологиясы жөндөлүүчү вертикалдык көңдөй беттик эмитенттүү лазерлерди (VCSEL), оптикалык модуляторлорду, жөнгө салынуучу толкун узундуктагы селлективдүү фотодетекторлорду жана башка оптикалык түзүлүштөрдү өндүрүү үчүн да колдонулушу мүмкүн. Активдүү компоненттер жана чыпкалар, оптикалык өчүргүчтөр, программалануучу толкун узундуктагы оптикалык кошуу/тамчы мультиплексорлор (OADM) жана башка оптикалык пассивдүү компоненттер жана масштабдуу оптикалык кайчылаш туташуулар (OXC).

Маалыматтык технологияда оптикалык колдонмолордун ачкычтарынын бири коммерциялык жарык булактары болуп саналат. Монолиттүү жарык булактарынан тышкары (мисалы, жылуулук нурлануу булактары, LED, LD жана VCSEL), активдүү түзүлүштөрү бар MOEMS жарык булактары өзгөчө тынчсызданышат. Мисалы, жөнгө салынуучу VCSELде резонатордун толкун узундугун микромеханика аркылуу резонатордун узундугун өзгөртүү аркылуу өзгөртүүгө болот, ошону менен жогорку натыйжалуу WDM технологиясын ишке ашырууга болот. Учурда таяныч консольду багуу ыкмасы жана таяныч колу бар кыймылдуу конструкция иштелип чыккан.

Кыймылдуу күзгүлөрү жана күзгү массивдери бар MOEMS оптикалык өчүргүчтөрү OXC, параллелдөө жана күйгүзүү/өчүрүү массивдерин чогултуу үчүн да иштелип чыккан. 2-сүрөттө була каптал кыймылы үчүн U түрүндөгү консольдук кыймылдаткычтар бар, бош мейкиндиктеги MOEMS була-оптикалык өчүргүчтөрү көрсөтүлгөн. Салттуу толкун өткөргүч менен салыштырганда, анын артыкчылыктары кошкучтун азыраак жоготуусу жана кичирээк кайчылаш болуп саналат.

Үзгүлтүксүз жөнгө салынуучу кеңири диапазону бар оптикалык чыпка өзгөрмө DWDM тармагындагы абдан маанилүү түзүлүш болуп саналат жана ар кандай материалдык системаларды колдонуу менен MOEMS F_P чыпкалары иштелип чыккан. Түзүлүүчү диафрагманын механикалык ийкемдүүлүгүнө жана эффективдүү оптикалык боштуктун узундугуна байланыштуу, бул аппараттардын толкун узундугун жөндөөчү диапазону болгону 70нм. Япониянын OpNext компаниясы MOEMS F_P чыпкасын иштеп чыкты, туурасы рекорддук жөндөө менен. Чыпка бир нече InP/аба боштук MOEMS технологиясына негизделген. Вертикалдык түзүлүш 6 катмардан турган InP диафрагмаларынан турат. Тасма тегерек структура болуп саналат жана үч же төрт асма кадр менен колдоого алынат. тик бурчтуу колдоо стол байланыш. Анын үзгүлтүксүз жөндөлүүчү F_P чыпкасынын экинчи жана үчүнчү оптикалык байланыш терезелерин (1 250 ~ 1800 нм) камтыган өтө кенен токтотуу тилкеси бар, анын толкун узундугун тууралоо туурасы 112 нмден ашат жана ишке киргизүү чыңалуусу 5 В чейин төмөн.

MOEMS дизайн жана өндүрүш технологиясы Көпчүлүк MOEMS өндүрүш технологиясы түздөн-түз IC тармагынан жана анын өндүрүш стандарттарынан келип чыккан. Ошондуктан, MOEMSте дене жана беттик микро иштетүү жана жогорку көлөмдөгү микро иштетүү (ЗЫЯН) технологиясы колдонулат. Бирок, мисалы, өлчөм өлчөмү, материалдык бирдейлиги, үч өлчөмдүү технология, жер үстүндөгү топография жана акыркы иштетүү, тегиз эмес жана температура сезгичтиги сыяктуу башка кыйынчылыктар бар.