MOEMS ass eng opkomende Technologie déi eng vun de populäersten Technologien op der Welt ginn ass. MOEMS ass e Mikro-elektro-mechanesch System (MEMS) deen e photonesche System benotzt. Et enthält mikromechanesch optesch Modulatoren, mikromechanesch optesch Schalter, ICs an aner Komponenten, a benotzt d’Miniaturiséierung, d’Multipliziitéit an d’Mikroelektronik vun der MEMS Technologie fir eng Nahtlos Integratioun vun opteschen Apparater an elektreschen Apparater z’erreechen. Einfach gesot, MOEMS ass déi weider Integratioun vu System-Niveau Chips. Am Verglach mat grouss-Skala opto-mechanesch Apparater, PCB Design MOEMS Apparater si méi kleng, méi hell, méi séier (mat méi héijer Resonanzfrequenz), a kënnen a Chargen produzéiert ginn. Am Verglach mat der Waveguide Method, huet dës fräi Plaz Method d’Virdeeler vun niddereg Kopplung Verloscht a méi kleng Crosstalk. D’Verännerungen an der Photonik an der Informatiounstechnologie hunn direkt d’Entwécklung vu MOEMS gefördert. Figur 1 weist d’Relatioun tëscht Mikroelektronik, Mikromechanik, Optoelektronik, Glasfaser, MEMS a MOEMS. Hautdesdaags entwéckelt d’Informatiounstechnologie séier a stänneg aktualiséiert, a bis 2010 kann d’Geschwindegkeet vun der Luuchtöffnung Tb / s erreechen. D’Erhéijung vun Datenraten a méi performant Neier Generatioun Ausrüstungsfuerderunge hunn d’Nofro fir MOEMS an optesch Interconnects gedriwwen, an d’Applikatioun vu PCB Design MOEMS Geräter am Feld vun der Optoelektronik wuesse weider.

PCB Design a Verpackungsmethod Analyse vu MOEMS Geräter

PCB Design MOEMS Apparater an Technologie PCB Design MOEMS Apparater sinn an Interferenz ënnerdeelt, Diffraktioun, Transmissioun, a Reflexioun Zorte no hire kierperlech Aarbecht Prinzipien (kuckt Table 1), an déi meescht vun hinnen benotzen reflektiv Apparater. MOEMS huet bedeitend Entwécklung an de leschte Joren erreecht. An de leschte Joeren, wéinst der Erhéijung vun der Nofro fir High-Speed-Kommunikatioun an Datenübertragung, sinn d’Fuerschung an d’Entwécklung vun der MOEMS Technologie a sengen Apparater staark stimuléiert. Déi néideg niddereg Verloscht, niddereg EMV Empfindlechkeet, an niddereg Crosstalk héich Daten Taux reflektéiert Liicht PCB Design MOEMS Apparater goufen entwéckelt.

Hautdesdaags, zousätzlech zu einfachen Apparater wéi Variabel optesch Attenuatoren (VOA), kann MOEMS Technologie och benotzt ginn fir tunable vertikal Kavitéit Uewerfläch emittéierend Laser (VCSEL), optesch Modulatoren, tunable Wellelängt selektiv Photodetektoren an aner optesch Apparater ze produzéieren. Aktiv Komponenten a Filteren, optesch Schalter, programméierbar Wellelängt optesch Add/Drop Multiplexer (OADM) an aner optesch passiv Komponenten a grouss-Skala optesch Kräizverbindungen (OXC).

An der Informatiounstechnologie ass ee vun de Schlëssele fir optesch Uwendungen kommerzialiséiert Liichtquellen. Zousätzlech zu monolithesche Liichtquellen (wéi thermesch Stralungsquellen, LEDs, LDs a VCSELs), sinn MOEMS Liichtquellen mat aktive Geräter besonnesch besuergt. Zum Beispill, an engem tunable VCSEL, kann d’Emissiounswellelängt vum Resonator geännert ginn andeems d’Längt vum Resonator duerch Mikromechanik geännert gëtt, an doduerch héich performant WDM Technologie realiséiert. Am Moment sinn eng Ënnerstëtzungs-Cantilever-Tuningmethod an eng bewegbar Struktur mat engem Supportarm entwéckelt.

MOEMS optesch Schalter mat bewegbare Spigelen a Spigelarrays goufen och entwéckelt fir OXC, Paralleléierung an On / Off Switch Arrays ze montéieren. Figur 2 weist e fräie Raum MOEMS Glasfaserschalter, deen e Paar U-fërmege Cantileveraktuatoren fir lateral Bewegung vun der Faser huet. Am Verglach mam traditionelle Welleguideschalter sinn seng Virdeeler manner Kupplungsverloscht a méi kleng Crosstalk.

En opteschen Filter mat enger breet Palette vun kontinuéierlech justierbar ass e ganz wichtegen Apparat an engem variabelen DWDM Netz, a MOEMS F_P Filtere mat verschiddene Materialsystemer goufen entwéckelt. Wéinst der mechanescher Flexibilitéit vun der tunbarer Membran an der effektiver optescher Kavitéitlängt ass d’Wellenlängt tunable Gamme vun dësen Apparater nëmmen 70nm. D’japanesch OpNext Firma huet e MOEMS F_P Filter mat enger Rekord tunable Breet entwéckelt. De Filter baséiert op Multiple InP / Air Spalt MOEMS Technologie. Déi vertikal Struktur besteet aus 6 Schichten vun suspendéierte InP Membranen. De Film ass eng kreesfërmeg Struktur a gëtt vun dräi oder véier Ophiewe Frames ënnerstëtzt. Rechteck Ënnerstëtzung Dësch Verbindung. Seng kontinuéierlech tunable F_P Filter huet eng ganz breet Stoppband, deckt déi zweet an drëtt optesch Kommunikatiounsfenster (1 250 ~ 1800 nm), seng Wellelängt Tuning Breet ass méi grouss wéi 112 nm, an d’Aktiounsspannung ass sou niddereg wéi 5V.

MOEMS Design a Produktiounstechnologie Déi meescht MOEMS Produktiounstechnologie ass direkt aus der IC Industrie a seng Fabrikatiounsnormen evoluéiert. Dofir gi Kierper- an Uewerfläch Mikro-Maschinn an High-Volumen Mikro-Maschinn (HARM) Technologie an MOEMS benotzt. Awer et ginn aner Erausfuerderunge wéi Stierfgréisst, Materialuniformitéit, dreidimensional Technologie, Uewerflächentopographie an endgülteg Veraarbechtung, Ongläichheet an Temperaturempfindlechkeet.