MOEMS איז אַן ימערדזשינג טעכנאָלאָגיע וואָס איז געווארן איינער פון די מערסט פאָלקס טעקנאַלאַדזשיז אין דער וועלט. MOEMS איז אַ מיקראָ-עלעקטראָ-מעטשאַניקאַל סיסטעם (מעמס) וואָס ניצט אַ פאָטאָניק סיסטעם. עס כּולל מיקראָ-מעטשאַניקאַל אָפּטיש מאָדולאַטאָרס, מיקראָ-מעטשאַניקאַל אָפּטיש סוויטשיז, ICs און אנדערע קאַמפּאָונאַנץ, און ניצט די מיניאַטוריזאַטיאָן, קייפל און מיקראָעלעקטראָניקס פון MEMS טעכנאָלאָגיע צו דערגרייכן סימלאַס ינאַגריישאַן פון אָפּטיש דעוויסעס און עלעקטריקאַל דעוויסעס. פשוט, MOEMS איז דער ווייַטער ינאַגריישאַן פון סיסטעם-מדרגה טשיפּס. קאַמפּערד מיט גרויס-וואָג אָפּטאָ-מעטשאַניקאַל דעוויסעס, פּקב פּלאַן MOEMS דעוויסעס זענען קלענערער, ​​​​לייטער, פאַסטער (מיט העכער אפקלאנג אָפטקייַט), און קענען זיין געשאפן אין באַטשאַז. קאַמפּערד מיט די וואַוועגויד אופֿן, דעם פריי פּלאַץ אופֿן האט די אַדוואַנטידזשיז פון נידעריקער קאַפּלינג אָנווער און קלענערער קראָסטאַלק. די ענדערונגען אין פאָטאָניקס און אינפֿאָרמאַציע טעכנאָלאָגיע האָבן גלייַך פּראָמאָטעד די אַנטוויקלונג פון MOEMS. פיגור 1 ווייזט די שייכות צווישן מיקראָעלעקטראָניקס, מיקראָמעטשאַניקס, אָפּטאָעלעקטראָניקס, פיברע אָפּטיקס, מעמס און מאָעמס. נאָוואַדייַס, אינפֿאָרמאַציע טעכנאָלאָגיע איז דעוועלאָפּינג ראַפּאַדלי און קעסיידער דערהייַנטיקט, און דורך 2010, די גיכקייַט פון ליכט עפן קענען דערגרייכן טב / s. ינקרעאַסינג דאַטן רייץ און העכער פאָרשטעלונג רעקווירעמענץ פון נייַע דור ויסריכט האָבן געטריבן די פאָדערונג פֿאַר MOEMS און אָפּטיש ינטערקאַנעקץ, און די אַפּלאַקיישאַן פון PCB פּלאַן MOEMS דעוויסעס אין די פעלד פון אָפּטאָעלעקטראָניק האלט צו וואַקסן.

פּקב פּלאַן און פּאַקקאַגינג אופֿן אַנאַליסיס פון MOEMS דעוויסעס

פּקב פּלאַן MOEMS דעוויסעס און טעכנאָלאָגיע פּקב פּלאַן MOEMS דעוויסעס זענען צעטיילט אין ינטערפיראַנס, דיפראַקשאַן, טראַנסמיסיע און אָפּשפּיגלונג טייפּס לויט זייער גשמיות אַרבעט פּרינסאַפּאַלז (זען טאַבלע 1), און רובֿ פון זיי נוצן ריפלעקטיוו דעוויסעס. MOEMS האט אַטשיווד באַטייטיק אַנטוויקלונג אין די לעצטע יאָרן. אין די לעצטע יאָרן, רעכט צו דער פאַרגרעסערן אין פאָדערונג פֿאַר הויך-גיכקייַט קאָמוניקאַציע און דאַטן טראַנסמיסיע, די פאָרשונג און אַנטוויקלונג פון MOEMS טעכנאָלאָגיע און זייַן דעוויסעס זענען זייער סטימיאַלייטאַד. די פארלאנגט נידעריק אָנווער, נידעריק EMV סענסיטיוויטי און נידעריק קראָססטאַלק הויך דאַטן קורס שפיגלט ליכט פּקב פּלאַן MOEMS דעוויסעס האָבן שוין דעוועלאָפּעד.

נאָוואַדייַס, אין אַדישאַן צו פּשוט דעוויסעס אַזאַ ווי וועריאַבאַל אָפּטיש אַטטענוייטערז (VOA), MOEMS טעכנאָלאָגיע קענען אויך זיין געניצט צו פּראָדוצירן טונאַבאַל ווערטיקאַל קאַוואַטי ייבערפלאַך ימיטינג לייזערז (VCSEL), אָפּטיש מאָדולאַטאָרס, טונאַבאַל ווייוולענגט סעלעקטיוו פאָטאָדעטעקטאָרס און אנדערע אָפּטיש דעוויסעס. אַקטיוו קאַמפּאָונאַנץ און פילטערס, אָפּטיש סוויטשיז, פּראָוגראַמאַבאַל ווייוולענגט אָפּטיש לייגן / קאַפּ מולטיפּלעקסערס (OADM) און אנדערע אָפּטיש פּאַסיוו קאַמפּאָונאַנץ און גרויס-וואָג אָפּטיש קרייַז-קאַנעקץ (OXC).

אין אינפֿאָרמאַציע טעכנאָלאָגיע, איינער פון די שליסלען צו אָפּטיש אַפּלאַקיישאַנז איז קאַמערשאַלייזד ליכט קוואלן. אין אַדישאַן צו מאַנאַליטיק ליכט קוואלן (אַזאַ ווי טערמאַל ראַדיאַציע קוואלן, לעדס, לד, און VCSELs), MOEMS ליכט קוואלן מיט אַקטיוו דעוויסעס זענען דער הויפּט זארגן. פֿאַר בייַשפּיל, אין אַ טונאַבלע VCSEL, די ימישאַן ווייוולענגט פון די רעסאָנאַטאָר קענען זיין פארענדערט דורך טשאַנגינג די לענג פון די רעסאָנאַטאָר דורך מיקראָמעטשאַניקס, דערמיט ריאַלייזינג הויך-פאָרשטעלונג WDM טעכנאָלאָגיע. דערווייַל, אַ שטיצן קאַנטילעווער טונינג אופֿן און אַ באַוועגלעך סטרוקטור מיט אַ שטיצן אָרעם זענען דעוועלאָפּעד.

MOEMS אָפּטיש סוויטשיז מיט באַוועגלעך מירערז און שפּיגל ערייז זענען אויך דעוועלאָפּעד פֿאַר אַסעמבאַלינג OXC, פּאַראַלעלינג און אויף / אַוועק באַשטימען ערייז. פיגורע 2 ווייזט אַ פריי-פּלאַץ MOEMS פיברע אַפּטיק באַשטימען, וואָס האט אַ פּאָר פון ו-שייפּט קאַנטילעווער אַקטוייטערז פֿאַר לאַטעראַל באַוועגונג פון די פיברע. קאַמפּערד מיט די בעקאַבאָלעדיק וואַוועגייד באַשטימען, זייַן אַדוואַנטידזשיז זענען נידעריקער קאַפּלינג אָנווער און קלענערער קראָססטאַלק.

אַן אָפּטיש פילטער מיט אַ ברייט קייט פון קאַנטיניואַסלי אַדזשאַסטאַבאַל איז אַ זייער וויכטיק מיטל אין אַ בייַטעוודיק DWDM נעץ, און MOEMS F_P פילטערס ניצן פאַרשידן מאַטעריאַל סיסטעמען זענען דעוועלאָפּעד. רעכט צו דער מעטשאַניקאַל בייגיקייַט פון די טונאַבאַל דייאַפראַם און עפעקטיוו אָפּטיש קאַוואַטי לענג, די ווייוולענגט טונאַבאַל קייט פון די דעוויסעס איז בלויז 70 נם. יאַפּאַן ס OpNext פירמע האט דעוועלאָפּעד אַ MOEMS F_P פילטער מיט אַ רעקאָרד טונאַבאַל ברייט. דער פילטער איז באזירט אויף קייפל ינפּ / לופט ריס MOEMS טעכנאָלאָגיע. די ווערטיקאַל סטרוקטור איז קאַמפּאָוזד פון 6 לייַערס פון סוספּענדעד ינפּ דייאַפראַמז. דער פילם איז אַ קייַלעכיק סטרוקטור און איז געשטיצט דורך דריי אָדער פיר סאַספּענשאַן ראָמען. רעקטאַנגגיאַלער שטיצן טיש קשר. זיין קעסיידערדיק טונאַבאַל F_P פילטער האט אַ זייער ברייט האַלטן באַנד, קאַווערינג די רגע און דריט אָפּטיש קאָמוניקאַציע פֿענצטער (1 250 ~ 1800 נם), די ווייוולענגט טונינג ברייט איז גרעסער ווי 112 נם, און די אַקטואַטיאָן וואָולטידזש איז ווי נידעריק ווי 5 וו.

MOEMS פּלאַן און פּראָדוקציע טעכנאָלאָגיע רובֿ MOEMS פּראָדוקציע טעכנאָלאָגיע איז גלייַך יוואַלווד פון די IC אינדוסטריע און זייַן מאַנופאַקטורינג סטאַנדאַרדס. דעריבער, גוף און ייבערפלאַך מיקראָ-מאַשינינג און הויך-באַנד מיקראָ-מאַשינינג (HARM) טעכנאָלאָגיע זענען געניצט אין MOEMS. אָבער עס זענען אנדערע טשאַלאַנדזשיז אַזאַ ווי די גרייס, מאַטעריאַל יונאַפאָרמאַטי, דריי-דימענשאַנאַל טעכנאָלאָגיע, ייבערפלאַך טאַפּאַגראַפי און לעצט פּראַסעסינג, אַניוואַננאַס און טעמפּעראַטור סענסיטיוויטי.