MOEMS технологияест, ки ба яке аз технологияҳои маъмултарин дар ҷаҳон табдил ёфтааст. MOEMS як системаи микроэлектромеханикӣ (MEMS) мебошад, ки системаи фотоникро истифода мебарад. Он модуляторҳои оптикии микро-механикӣ, коммутаторҳои оптикии микро-механикӣ, IC ва ҷузъҳои дигарро дар бар мегирад ва барои ноил шудан ба ҳамгироии бефосилаи дастгоҳҳои оптикӣ ва дастгоҳҳои барқӣ миниатюризатсия, сершуморӣ ва микроэлектроникаи технологияи MEMS-ро истифода мебарад. Оддӣ карда гӯем, MOEMS ин ҳамгироии минбаъдаи микросхемаҳои сатҳи система мебошад. Дар муқоиса бо дастгоҳҳои калони оптомеханикӣ, PCB тарҳрезии дастгоҳҳои MOEMS хурдтар, сабуктар, тезтар (бо басомади резонанси баландтар) мебошанд ва метавонанд дар гурӯҳҳо истеҳсол карда шаванд. Дар муқоиса бо усули мавҷи мавҷ, ин усули фазои озод бартариҳои талафоти пайвасти камтар ва байниҳамдигарии хурдтар дорад. Тағйирот дар фотоника ва технологияҳои иттилоотӣ бевосита ба рушди MOEMS мусоидат карданд. Дар расми 1 робитаи байни микроэлектроника, микромеханика, оптоэлектроника, нахи оптикӣ, MEMS ва MOEMS нишон дода шудааст. Имрӯзҳо технологияи иттилоотӣ босуръат рушд мекунад ва пайваста нав карда мешавад ва то соли 2010 суръати кушодашавии рӯшноӣ метавонад ба Тб/с мерасад. Баланд бардоштани суръати маълумот ва талаботҳои баландтари таҷҳизоти насли нав талаботро ба MOEMS ва пайвастҳои оптикӣ афзоиш доданд ва татбиқи дастгоҳҳои тарроҳии PCB MOEMS дар соҳаи оптоэлектроника афзоиш меёбад.

Тарҳрезии PCB ва таҳлили усули бастабандии дастгоҳҳои MOEMS

Тарҳрезии PCB Дастгоҳҳои MOEMS ва технология Тарҳрезии PCB Дастгоҳҳои MOEMS аз рӯи принсипҳои кори физикии худ ба намудҳои интерференсия, дифраксия, интиқол ва инъикос тақсим мешаванд (ниг. Ҷадвали 1) ва аксари онҳо аз дастгоҳҳои инъикоскунанда истифода мебаранд. MOEMS дар чанд соли охир ба пешрафти назаррас ноил гардид. Солхои охир ба сабаби афзудани талабот ба алокаи баландсуръат ва интиколи маълумот, тадкикот ва коркарди технологияи MOEMS ва дастгоххои он хеле хавасманд карда шуд. Таҷҳизоти зарурии талафоти кам, ҳассосияти пасти EMV ва суръати баланди мубодилаи пасти маълумот, ки тарҳи равшани PCB-ро инъикос мекунад, дастгоҳҳои MOEMS таҳия шудаанд.

Дар айни замон, ба ғайр аз дастгоҳҳои оддӣ, аз қабили аттенюаторҳои оптикии тағйирёбанда (VOA), технологияи MOEMS инчунин метавонад барои истеҳсоли лазерҳои амудии амудии сатҳи танзимшаванда (VCSEL), модуляторҳои оптикӣ, фотодетекторҳои интихобии дарозии мавҷҳо ва дигар дастгоҳҳои оптикӣ истифода шавад. Компонентҳо ва филтрҳои фаъол, коммутаторҳои оптикӣ, мултиплексорҳои оптикии дарозии мавҷҳои барномарезишавандаи изофӣ/тарки (OADM) ва дигар ҷузъҳои пассивии оптикӣ ва пайвастҳои оптикии миқёси калон (OXC).

Дар технологияҳои иттилоотӣ, яке аз калидҳои барномаҳои оптикӣ сарчашмаҳои тиҷоратии рӯшноӣ мебошанд. Илова ба манбаъҳои нури монолитӣ (ба монанди манбаъҳои радиатсияи гармӣ, LEDҳо, LDs ва VCSELs), манбаъҳои нури MOEMS бо дастгоҳҳои фаъол махсусан нигаронанд. Масалан, дар VCSEL-и танзимшаванда, дарозии мавҷи партоби резонаторро тавассути тағир додани дарозии резонатор тавассути микромеханика тағир додан мумкин аст ва ба ин васила технологияи WDM-и баландсифатро амалӣ мекунад. Дар айни замой усули танзими кантилвери такьягохй ва конструк-цияи харакаткунанда бо бозуи такьягох кор карда баромада шудааст.

Гузаришҳои оптикии MOEMS бо оинаҳои ҳаракаткунанда ва массивҳои оина низ барои васл кардани массивҳои OXC, параллелӣ ва фурӯзон/хомӯш сохта шудаанд. Тасвири 2 як гузариши нахи оптикии MOEMS-и фазои озодро нишон медиҳад, ки дорои як ҷуфт фаъолкунакҳои кантилверии U-шакл барои ҳаракати паҳлуии нах мебошад. Дар муқоиса бо гузариши анъанавии мавҷи мавҷ, бартариҳои он талафоти камтари пайвастшавӣ ва гардиши хурдтар мебошанд.

Филтри оптикии дорои доираи васеи пайваста танзимшаванда як дастгоҳи хеле муҳим дар шабакаи тағйирёбандаи DWDM мебошад ва филтрҳои MOEMS F_P бо истифода аз системаҳои гуногуни моддӣ таҳия шудаанд. Аз сабаби чандирии механикии диафрагмаи танзимшаванда ва дарозии самараноки холигии оптикӣ, диапазони танзимшавандаи дарозии мавҷи ин дастгоҳҳо ҳамагӣ 70 нм аст. Ширкати OpNext-и Ҷопон як филтри MOEMS F_P-ро бо паҳнои сабти танзимшаванда таҳия кардааст. Филтр ба технологияи сершумори InP/hava MOEMS асос ёфтааст. Сохтори амудӣ аз 6 қабати диафрагмаҳои овезон InP иборат аст. Плёнка як сохтори даврашакл буда, бо се ё чор чаҳорчӯбаи овезавӣ дастгирӣ карда мешавад. Пайвастшавии мизи дастгирии росткунҷа. Филтри танзимшавандаи пайвастаи F_P дорои банди хеле васеъи таваққуф аст, ки тирезаҳои оптикии алоқаи дуюм ва сеюмро фаро мегирад (1 250 ~ 1800 нм), паҳнои танзими дарозии мавҷи он аз 112 нм бузургтар аст ва шиддати фаъолкунӣ то 5 В паст аст.

Технологияи тарҳрезӣ ва истеҳсоли MOEMS Аксарияти технологияи истеҳсолии MOEMS мустақиман аз саноати IC ва стандартҳои истеҳсолии он таҳаввул ёфтааст. Аз ин рӯ, дар MOEMS технологияи микро-коркарди бадан ва рӯизаминӣ ва микро-коркарди ҳаҷми баланд (HARM) истифода мешавад. Аммо мушкилоти дигар вуҷуд доранд, ба монанди андозаи бимир, якрангии моддӣ, технологияи сеченака, топографияи рӯизаминӣ ва коркарди ниҳоӣ, нобаробарӣ ва ҳассосияти ҳарорат.