MOEMS dia teknolojia vao misondrotra izay lasa iray amin’ireo teknolojia malaza indrindra eran-tany. MOEMS dia rafitra micro-electro-mechanical (MEMS) izay mampiasa rafitra fotonika. Izy io dia misy modulator optika micro-mekanika, switch optika micro-mekanika, ICs ary singa hafa, ary mampiasa ny miniaturization, multiplicity ary microelectronics amin’ny teknolojia MEMS mba hahatratrarana ny fampidirana tsy misy dikany ny fitaovana optika sy fitaovana elektrika. Raha tsorina, ny MOEMS dia ny fampidirana bebe kokoa ny chips amin’ny rafitra. Raha ampitahaina amin’ny fitaovana opto-mekanika lehibe, PCB Ny fitaovana MOEMS dia kely kokoa, maivana kokoa, haingana kokoa (miaraka amin’ny fatran’ny resonance avo kokoa), ary azo amboarina amin’ny ampahany. Raha oharina amin’ny fomba waveguide, ity fomba malalaka malalaka ity dia manana tombony amin’ny fatiantoka ambany kokoa sy ny crosstalk kely kokoa. Ny fiovan’ny fotonika sy ny teknolojian’ny fampahalalam-baovao dia nampiroborobo mivantana ny fampandrosoana ny MOEMS. Ny sary 1 dia mampiseho ny fifandraisana misy eo amin’ny microelectronics, micromechanics, optoelectronics, fibre optics, MEMS ary MOEMS. Amin’izao fotoana izao, ny teknolojian’ny fampahalalam-baovao dia mivoatra haingana sy havaozina tsy tapaka, ary amin’ny taona 2010, ny hafainganan’ny fisokafan’ny hazavana dia mety hahatratra Tb/s. Ny fampitomboana ny tahan’ny angon-drakitra sy ny fitakiana fitaovana amin’ny taranaka vaovao avo lenta dia nahatonga ny fangatahana MOEMS sy fifandraisana optika, ary ny fampiharana ny fitaovana MOEMS famolavolana PCB amin’ny sehatry ny optoelectronics dia mitombo hatrany.

PCB famolavolana sy famonosana fomba famakafakana ny MOEMS fitaovana

PCB famolavolana MOEMS fitaovana sy ny teknolojia PCB famolavolana MOEMS fitaovana dia mizara ho interference, diffraction, fifindran’ny, ary fisaintsainana karazana araka ny ara-batana fitsipika miasa (jereo ny tabilao 1), ary ny ankamaroan’izy ireo dia mampiasa fitaovana fisaintsainana. MOEMS dia nahavita fivoarana lehibe tato anatin’ny taona vitsivitsy. Tao anatin’ny taona vitsivitsy izay, noho ny fitomboan’ny fangatahana fifandraisana haingam-pandeha sy fifindran’ny angon-drakitra, ny fikarohana sy ny fampandrosoana ny teknolojia MOEMS sy ny fitaovany dia namporisika be. Ny fatiantoka ambany ilaina, ny fahatsapan’ny EMV ambany, ary ny tahan’ny angon-drakitra avo lenta ambany dia taratry ny famolavolana PCB MOEMS.

Amin’izao fotoana izao, ankoatry ny fitaovana tsotra toy ny variable optical attenuators (VOA), ny teknolojia MOEMS dia azo ampiasaina amin’ny famokarana lasers (VCSEL) vertika mitsangana mitsangana, modulators optika, photodetectors mifantina amin’ny halavan’ny onjam-peo ary fitaovana optika hafa. Ny singa mavitrika sy ny sivana, ny switch optika, ny onjam-peo azo optique add/drop multiplexers (OADM) ary ny singa passive optika hafa ary ny cross-connection optika lehibe (OXC).

Ao amin’ny teknolojian’ny fampahalalam-baovao, iray amin’ireo fanalahidin’ny fampiharana optika ny loharanom-pahazavana ara-barotra. Ho fanampin’ny loharanom-pahazavana monolithic (toy ny loharano taratra mafana, LED, LD, ary VCSEL), ny loharanom-pahazavana MOEMS miaraka amin’ny fitaovana mavitrika dia miahiahy manokana. Ohatra, amin’ny VCSEL tunable, ny halavan’ny onjam-pamokarana amin’ny resonator dia azo ovaina amin’ny fanovana ny halavan’ny resonator amin’ny micromechanics, amin’izany dia mahatsapa ny teknolojia WDM avo lenta. Amin’izao fotoana izao dia efa novolavolaina ny fomba fametahana cantilever fanohanana sy rafitra azo mihetsika miaraka amin’ny sandry fanohanana.

MOEMS Optical switch miaraka amin’ny movable fitaratra sy fitaratra array dia novolavolaina ihany koa mba hanangonana OXC, parallèle, ary on/off switch arrays. Figure 2 dia mampiseho ny toerana malalaka MOEMS fibre optic switch, izay manana mpivady ny U-miendrika cantilever actuators ho an’ny lateral hetsika ny fibre. Raha ampitahaina amin’ny switch waveguide nentim-paharazana, ny tombony azony dia ny fahaverezan’ny coupling ambany kokoa sy ny crosstalk kely kokoa.

Ny sivana optique miaraka amin’ny karazan-java-manify tsy tapaka dia fitaovana tena manan-danja amin’ny tambajotra DWDM miovaova, ary ny sivana MOEMS F_P mampiasa rafitra ara-materialy dia novolavolaina. Noho ny flexibilité mekanika amin’ny diaphragm tunable sy ny halavan’ny cavity optika mahomby, ny halavan’ny onjam-pandrefesana ireo fitaovana ireo dia 70nm ihany. Ny orinasa Japoney OpNext dia namolavola sivana MOEMS F_P miaraka amin’ny sakany azo arindra. Ny sivana dia mifototra amin’ny teknolojia MOEMS InP/air gap maro. Ny rafitra mitsangana dia misy sosona 6 amin’ny diaphragma InP mihantona. Ny sarimihetsika dia rafitra boribory ary tohanan’ny rafitra fampiatoana telo na efatra. Fifandraisana latabatra fanohanana mahitsizoro. Ny sivana F_P tsy mitongilana dia manana tarika fijanonana midadasika be, mandrakotra ny varavarankelin’ny fifandraisana optika faharoa sy fahatelo (1 250 ~ 1800 nm), ny halavan’ny onjam-pandrefesana dia lehibe noho ny 112 nm, ary ny voltase actuation dia ambany noho ny 5V.

MOEMS famolavolana sy teknolojia famokarana Ny ankamaroan’ny teknolojia famokarana MOEMS dia nivoatra mivantana avy amin’ny indostrian’ny IC sy ny fenitry ny famokarana. Noho izany dia ampiasaina amin’ny MOEMS ny teknolojia micro-machining amin’ny vatana sy ny surface ary ny teknolojia micro-machining (HARM). Saingy misy ny fanamby hafa toy ny haben’ny maty, ny fitovian’ny fitaovana, ny teknolojia telo dimanjato, ny topografika ambonin’ny tany sy ny fanodinana farany, ny tsy fitoviana ary ny fahatsapan’ny hafanana.