MOEMS hè una tecnulugia emergente chì hè diventata una di e tecnulugia più populari in u mondu. MOEMS hè un sistema micro-elettro-meccanicu (MEMS) chì usa un sistema fotonicu. Contene modulatori ottichi micro-meccanichi, interruttori ottichi micro-meccanici, IC è altri cumpunenti, è usa a miniaturizazione, a multiplicità è a microelettronica di a tecnulugia MEMS per ottene l’integrazione senza saldatura di i dispositi ottici è di i dispositi elettrici. Simply put, MOEMS hè a più integrazione di chips à livellu di sistema. In cunfrontu cù i dispositi opto-mecanici à grande scala, PCB i dispusitivi MOEMS di cuncepimentu sò più chjuchi, più ligeri, più veloci (cun ​​​​frequenza di risonanza più alta), è ponu esse pruduciuti in lotti. In cunfrontu cù u metudu di guida d’onda, stu metudu di u spaziu liberu hà i vantaghji di una perdita di accoppiamentu più bassa è una diafonia più chjuca. I cambiamenti in a fotonica è a tecnulugia di l’infurmazione anu prumuvutu direttamente u sviluppu di MOEMS. A Figura 1 mostra a relazione trà microelettronica, micromeccanica, optoelettronica, fibra ottica, MEMS è MOEMS. Oghje, a tecnulugia di l’infurmazione hè sviluppata rapidamente è constantemente aghjurnata, è da u 2010, a velocità di l’apertura di a luce pò ghjunghje à Tb / s. L’aumentu di i tassi di dati è i requisiti di l’equipaggiu di nova generazione di più altu rendiment anu guidatu a dumanda di MOEMS è interconnessioni ottiche, è l’applicazione di i dispositi MOEMS di cuncepimentu di PCB in u campu di l’optoelettronica cuntinueghja à cresce.

Disegnu di PCB è analisi di u metudu di imballaggio di i dispositi MOEMS

Dispositivi MOEMS di cuncepimentu di PCB è tecnulugia Disegni MOEMS di cuncepimentu di PCB sò divisi in tippi di interferenza, diffrazione, trasmissioni è riflessioni secondu i so principii fisici di travagliu (vede a Tabella 1), è a maiò parte di elli utilizanu apparecchi riflettenti. MOEMS hà ottenutu un sviluppu significativu in l’ultimi anni. Nta l’ultimi anni, per via di l’aumentu di a dumanda di cumunicazione à alta velocità è trasmissione di dati, a ricerca è u sviluppu di a tecnulugia MOEMS è i so dispusitivi sò stati assai stimulati. I dispositi MOEMS di cuncepimentu di PCB di luce riflessa per a bassa perdita, a bassa sensibilità EMV è a bassa diafonia di alta velocità di dati sò stati sviluppati.

Oghje, in più di i dispositi simplici, cum’è l’attenuatori ottici variabili (VOA), a tecnulugia MOEMS pò ancu esse aduprata per pruduce laser à emissione di superficia di cavità verticale sintonizzabile (VCSEL), modulatori ottici, fotodetettori selettivi di lunghezza d’onda sintonizzabile è altri apparecchi ottici. Cumpunenti attivi è filtri, interruttori ottici, multiplexer ottici add/drop di lunghezza d’onda programmabile (OADM) è altri cumpunenti passivi ottici è cunnessi ottici incrociati à grande scala (OXC).

In a tecnulugia di l’informatica, una di e chjave per l’applicazioni ottiche hè e fonti di luce cummercializati. In più di e fonti luminose monolitiche (cum’è fonti di radiazione termale, LED, LD è VCSEL), i fonti di luce MOEMS cù i dispositi attivi sò particularmente preoccupati. Per esempiu, in un VCSEL sintonizzabile, a lunghezza d’onda d’emissione di u resonatore pò esse cambiata cambiendu a lunghezza di u resonatore da a micromeccanica, realizà cusì a tecnulugia WDM d’altu rendiment. Attualmente, un metudu di sintonizazione in cantilever di supportu è una struttura mobile cù un bracciu di supportu sò stati sviluppati.

L’interruttori ottici MOEMS cù specchi mobili è array di specchi sò stati ancu sviluppati per assemblee OXC, parallele, è matrici di switch on/off. A Figura 2 mostra un interruttore in fibra ottica MOEMS in spaziu liberu, chì hà un paru di attuatori cantilever in forma di U per u muvimentu laterale di a fibra. In cunfrontu cù l’interruttore di guida d’onda tradiziunale, i so vantaghji sò una perdita di accoppiamentu più bassa è una diafonia più chjuca.

Un filtru otticu cù una larga gamma di regulazione continuamente hè un dispositivu assai impurtante in una reta DWDM variabile, è i filtri MOEMS F_P chì utilizanu diversi sistemi di materiale sò stati sviluppati. A causa di a flessibilità meccanica di u diafragma sintonizzabile è di a lunghezza efficace di a cavità ottica, a gamma di lunghezza d’onda sintonizzabile di questi dispositi hè solu 70 nm. A cumpagnia OpNext di u Giappone hà sviluppatu un filtru MOEMS F_P cù una larghezza sintonizzabile record. U filtru hè basatu annantu à a tecnulugia multipla InP/air gap MOEMS. A struttura verticale hè cumposta da 6 strati di diaframmi InP sospesi. A film hè una struttura circular è hè sustinutu da trè o quattru frames di sospensjoni. Cunnessione di tavulinu di supportu rettangulare. U so filtru F_P sintonizzabile cuntinuu hà una banda di stop assai larga, chì copre a seconda è a terza finestra di cumunicazione ottica (1 250 ~ 1800 nm), a so larghezza di sintonizazione di lunghezza d’onda hè più grande di 112 nm, è a tensione di attuazione hè bassa quant’è 5V.

Tecnulugia di cuncepimentu è di produzzione MOEMS A maiò parte di a tecnulugia di produzzione MOEMS hè sviluppata direttamente da l’industria IC è i so standard di fabricazione. Per quessa, a tecnulugia di micro-machinizazione di u corpu è di a superficia è di a tecnulugia di micro-machinizazione (HARM) d’altu voluminu sò aduprate in MOEMS. Ma ci sò altre sfide cum’è a dimensione di a fustellatura, l’uniformità di u materiale, a tecnulugia tridimensionale, a topografia di a superficia è a trasfurmazioni finali, l’irregularità è a sensibilità di a temperatura.