MOEMS is in opkommende technology dy’t ien fan ‘e populêrste technologyen yn’ e wrâld is wurden. MOEMS is in mikro-elektro-meganysk systeem (MEMS) dat in fotonysk systeem brûkt. It befettet mikro-meganyske optyske modulators, mikro-meganyske optyske skeakels, IC’s en oare komponinten, en brûkt de miniaturisaasje, multiplisiteit en mikro-elektroanika fan MEMS-technology om Naadleaze yntegraasje fan optyske apparaten en elektryske apparaten te berikken. Simply set, MOEMS is de fierdere yntegraasje fan chips op systeemnivo. Yn ferliking mei grutskalige opto-meganyske apparaten, PCB design MOEMS apparaten binne lytser, lichter, flugger (mei hegere resonânsje frekwinsje), en kin wurde produsearre yn batches. Yn ferliking mei de waveguide metoade hat dizze frije romte metoade de foardielen fan legere coupling ferlies en lytsere crosstalk. De feroaringen yn fotonika en ynformaasjetechnology hawwe de ûntwikkeling fan MOEMS direkt befoardere. Figuer 1 toant de relaasje tusken mikroelektronika, mikromeganika, optoelektronika, glêstried, MEMS en MOEMS. Tsjintwurdich ûntwikkelet ynformaasjetechnology rap en wurdt konstant bywurke, en yn 2010 kin de snelheid fan ljochtiepening Tb / s berikke. Tanimmende gegevens tariven en hegere prestaasjes nije-generaasje apparatuer easken hawwe dreaun de fraach nei MOEMS en optyske interconnects, en de tapassing fan PCB design MOEMS apparaten op it mêd fan optoelektronika bliuwt te groeien.

PCB-ûntwerp en ferpakkingsmetoade-analyse fan MOEMS-apparaten

PCB-ûntwerp MOEMS-apparaten en technology PCB-ûntwerp MOEMS-apparaten binne ferdield yn soarten ynterferinsje, diffraksje, oerdracht en refleksje neffens har fysike wurkprinsipes (sjoch Tabel 1), en de measte fan harren brûke reflektive apparaten. MOEMS hat de ôfrûne jierren wichtige ûntwikkeling berikt. Yn ‘e ôfrûne jierren, fanwege de tanimming fan’ e fraach nei hege-snelheid kommunikaasje en gegevens oerdracht, it ûndersyk en ûntwikkeling fan MOEMS technology en har apparaten binne sterk stimulearre. De fereaske lege ferlies, lege EMV-sensibiliteit, en lege crosstalk hege gegevensrate reflektearre ljocht PCB-ûntwerp MOEMS-apparaten binne ûntwikkele.

Tsjintwurdich kin, neist ienfâldige apparaten lykas fariabele optyske attenuators (VOA), MOEMS-technology ek brûkt wurde foar it produsearjen fan ynstelbere fertikale holte-oerflak-emittearjende lasers (VCSEL), optyske modulators, ynstelbere golflingte selektive fotodetektors en oare optyske apparaten. Aktive komponinten en filters, optyske skeakels, programmeerbere golflingte optyske add / drop multiplexers (OADM) en oare optyske passive komponinten en grutskalige optyske cross-ferbiningen (OXC).

Yn ynformaasjetechnology is ien fan ‘e kaaien foar optyske tapassingen kommersjalisearre ljochtboarnen. Neist monolityske ljochtboarnen (lykas termyske strieling boarnen, LED’s, LD’s en VCSEL’s), binne MOEMS ljochtboarnen mei aktive apparaten benammen dwaande. Bygelyks, yn in ynstelbere VCSEL kin de emisjegolflingte fan ‘e resonator feroare wurde troch de lingte fan’ e resonator troch mikromeganika te feroarjen, en dêrmei hege-optreden WDM-technology te realisearjen. Op it stuit binne in stipe cantilever tuning metoade en in beweechbere struktuer mei in stipe earm ûntwikkele.

MOEMS optyske skeakels mei beweechbere spegels en spegelarrays binne ek ûntwikkele foar it gearstallen fan OXC, paralleling, en oan / út-skeakelarrays. Figuer 2 toant in frije romte MOEMS glêstried switch, dat hat in pear U-foarmige cantilever actuators foar laterale beweging fan de glêstried. Yn ferliking mei de tradisjonele waveguide switch, syn foardielen binne legere coupling ferlies en lytsere crosstalk.

In optysk filter mei in breed oanbod fan kontinu adjustable is in hiel wichtich apparaat yn in fariabele DWDM netwurk, en MOEMS F_P filters mei help fan ferskate materiaal systemen binne ûntwikkele. Troch de meganyske fleksibiliteit fan it ynstelbere diafragma en effektive lingte fan optyske holte, is it ôfstelbere berik fan ‘e golflingte fan dizze apparaten mar 70nm. It Japanske OpNext-bedriuw hat in MOEMS F_P-filter ûntwikkele mei in rekord ynstelbere breedte. It filter is basearre op meardere InP / lucht gap MOEMS technology. De fertikale struktuer is gearstald út 6 lagen fan suspended InP diaphragms. De film is in sirkelfoarmige struktuer en wurdt stipe troch trije of fjouwer ophingframes. Rjochthoekige stipe tafel ferbining. It trochgeande ynstelbere F_P-filter hat in heul brede stopband, dy’t de twadde en tredde optyske kommunikaasjefinsters dekt (1 250 ~ 1800 nm), syn tuningbreedte fan ‘e golflingte is grutter dan 112 nm, en de oandriuwspanning is sa leech as 5V.

MOEMS-ûntwerp- en produksjetechnology De measte MOEMS-produksjetechnology is direkt ûntwikkele fan ‘e IC-yndustry en har produksjenoarmen. Dêrom wurde lichem- en oerflakmikro-ferwurking en heech-volume mikro-ferwurking (HARM) technology brûkt yn MOEMS. Mar d’r binne oare útdagings lykas die grutte, materiaal uniformiteit, trijediminsjonale technology, oerflak topografy en definitive ferwurking, unevenness en temperatuer gefoelichheid.