MOEMS minangka teknologi anyar sing wis dadi salah sawijining teknologi sing paling populer ing donya. MOEMS minangka sistem mikro-elektromekanik (MEMS) sing nggunakake sistem fotonik. Ngandhut modulator optik mikro-mekanik, saklar optik mikro-mekanik, IC lan komponen liyane, lan nggunakake miniaturisasi, multiplicity, lan mikroelektronik teknologi MEMS kanggo entuk integrasi Seamless piranti optik lan piranti listrik. Cukup, MOEMS minangka integrasi luwih saka chip tingkat sistem. Dibandhingake karo piranti opto-mekanik skala gedhe, PCB piranti MOEMS desain luwih cilik, luwih entheng, luwih cepet (kanthi frekuensi resonansi sing luwih dhuwur), lan bisa diprodhuksi ing batch. Dibandhingake karo metode waveguide, metode ruang bebas iki nduweni kaluwihan saka mundhut kopling sing luwih murah lan crosstalk sing luwih cilik. Owah-owahan ing fotonik lan teknologi informasi wis langsung ningkatake pangembangan MOEMS. Gambar 1 nuduhake hubungan antarane mikroelektronika, mikromekanika, optoelektronik, serat optik, MEMS lan MOEMS. Saiki, teknologi informasi berkembang kanthi cepet lan terus dianyari, lan ing taun 2010, kacepetan bukaan cahya bisa tekan Tb/s. Nambah tarif data lan syarat peralatan generasi anyar-kinerja sing luwih dhuwur wis mimpin dikarepake kanggo MOEMS lan interconnects optik, lan aplikasi PCB desain piranti MOEMS ing lapangan optoelektronik terus berkembang.

Desain PCB lan analisis metode kemasan piranti MOEMS

Piranti MOEMS desain PCB lan teknologi piranti MOEMS desain PCB dipérang dadi jinis interferensi, difraksi, transmisi, lan refleksi miturut prinsip kerja fisik (pirsani Tabel 1), lan umume nggunakake piranti reflektif. MOEMS wis entuk pangembangan sing signifikan ing sawetara taun kepungkur. Ing taun-taun pungkasan, amarga paningkatan panjaluk komunikasi lan transmisi data kanthi kacepetan dhuwur, riset lan pangembangan teknologi MOEMS lan piranti-piranti kasebut wis dirangsang banget. Kerugian sing dibutuhake, sensitivitas EMV sing sithik, lan tingkat data sing dhuwur crosstalk sing nggambarake piranti MOEMS desain PCB sing entheng wis dikembangake.

Saiki, saliyane piranti prasaja kayata attenuator optik variabel (VOA), teknologi MOEMS uga bisa digunakake kanggo ngasilake laser pemancar permukaan rongga vertikal sing tunable (VCSEL), modulator optik, fotodetektor foto selektif dawa gelombang sing tunable lan piranti optik liyane. Komponen aktif lan saringan, switch optik, programmable wavelength optical add/drop multiplexers (OADM) lan komponen pasif optik liyane lan optis cross-connects skala gedhe (OXC).

Ing teknologi informasi, salah sawijining kunci kanggo aplikasi optik yaiku sumber cahya komersial. Saliyane sumber cahya monolitik (kayata sumber radiasi termal, LED, LD, lan VCSEL), sumber cahya MOEMS kanthi piranti aktif utamane prihatin. Contone, ing VCSEL tunable, dawa gelombang emisi resonator bisa diganti kanthi ngganti dawa resonator dening micromechanics, saéngga nyadari teknologi WDM kinerja dhuwur. Saiki, metode tuning cantilever dhukungan lan struktur sing bisa dipindhah kanthi lengen dhukungan wis dikembangake.

Saklar optik MOEMS kanthi pangilon sing bisa dipindhah lan susunan pangilon uga wis dikembangake kanggo ngrakit susunan OXC, paralel, lan on/off switch. Gambar 2 nuduhake saklar serat optik MOEMS ruang bebas, sing nduweni sepasang aktuator kantilever berbentuk U kanggo gerakan lateral serat. Dibandhingake karo ngalih waveguide tradisional, sawijining kaluwihan mundhut kopling ngisor lan crosstalk cilik.

Filter optik karo sawetara saka sudhut terus-terusan luwes iku piranti penting banget ing jaringan DWDM variabel, lan MOEMS F_P saringan nggunakake macem-macem sistem materi wis dikembangaké. Amarga keluwesan mekanik saka diafragma sing bisa tunable lan dawa rongga optik sing efektif, dawane gelombang sing bisa disetel saka piranti kasebut mung 70nm. Perusahaan OpNext Jepang wis ngembangake saringan MOEMS F_P kanthi jembar sing bisa direkam. Filter kasebut adhedhasar macem-macem teknologi InP/gap udara MOEMS. Struktur vertikal kasusun saka 6 lapisan diafragma InP sing digantung. Film kasebut minangka struktur bunder lan didhukung dening telu utawa papat pigura suspensi. Sambungan meja dhukungan persegi panjang. Filter F_P sing terus-terusan nduweni pita mandeg sing amba banget, nutupi jendela komunikasi optik kapindho lan katelu (1 250 ~ 1800 nm), lebar tuning dawane gelombang luwih saka 112 nm, lan voltase aktuasi kurang saka 5V.

Desain lan teknologi produksi MOEMS Umume teknologi produksi MOEMS langsung berkembang saka industri IC lan standar manufaktur. Mula, teknologi micro-machining awak lan permukaan lan teknologi micro-machining (HARM) volume dhuwur digunakake ing MOEMS. Nanging ana tantangan liyane kayata ukuran die, uniformity materi, teknologi telung dimensi, topografi lumahing lan Processing final, unevenness lan sensitivitas suhu.