MOEMS er ný tækni sem er orðin ein vinsælasta tækni í heiminum. MOEMS er ör-rafmagnískt kerfi (MEMS) sem notar ljóseindakerfi. Það inniheldur örvélræna sjónræna mótara, örvélræna sjónrofa, IC og aðra íhluti og notar smæðingu, fjölbreytni og öreindatækni MEMS tækni til að ná óaðfinnanlegri samþættingu sjóntækja og raftækja. Einfaldlega sagt, MOEMS er frekari samþætting flísa á kerfisstigi. Í samanburði við stórfelld opto-mekanísk tæki, PCB hönnun MOEMS tæki eru minni, léttari, hraðari (með hærri ómuntíðni) og hægt er að framleiða þau í lotum. Í samanburði við bylgjuleiðaraðferðina hefur þessi lausa plássaðferð kost á lægra tengingartapi og minni þverræðu. Breytingarnar á ljóseindatækni og upplýsingatækni hafa beinlínis stuðlað að þróun MOEMS. Mynd 1 sýnir tengslin milli öreindafræði, öreindafræði, ljósafræði, ljósleiðara, MEMS og MOEMS. Nú á dögum er upplýsingatækni að þróast hratt og er stöðugt uppfærð og árið 2010 getur ljósopnunarhraði náð Tb/s. Aukinn gagnahraði og kröfur um afkastameiri nýrri kynslóð búnaðar hafa knúið áfram eftirspurnina eftir MOEMS og sjónrænum samtengdum og notkun PCB hönnunar MOEMS tækja á sviði sjóntækja heldur áfram að vaxa.

PCB hönnun og pökkunaraðferðargreining á MOEMS tækjum

PCB hönnun MOEMS tæki og tækni PCB hönnun MOEMS tækjum er skipt í truflun, dreifingu, sendingu og speglun í samræmi við eðlisfræðilega vinnureglur þeirra (sjá töflu 1), og flest þeirra nota endurskinstæki. MOEMS hefur náð verulegri þróun á undanförnum árum. Á undanförnum árum, vegna aukinnar eftirspurnar eftir háhraðasamskiptum og gagnaflutningi, hafa rannsóknir og þróun MOEMS tækni og tækja hennar verið örvuð mjög. Nauðsynlegt lítið tap, lítið EMV næmni og lágt víxltalning hár gagnahraði endurspeglast ljós PCB hönnun MOEMS tæki hafa verið þróuð.

Nú á dögum, auk einfaldra tækja eins og breytilegra ljósdeyfara (VOA), er einnig hægt að nota MOEMS tækni til að framleiða stillanlega lóðrétta yfirborðsgeisla leysigeisla (VCSEL), optískan mótara, stillanlega bylgjulengdarsértæka ljósnema og önnur ljóstæki. Virkir íhlutir og síur, optískir rofar, forritanlegir bylgjulengdar optískir add/fall multiplexers (OADM) og aðrir optískir óvirkir íhlutir og stórfelldar optískar krosstengingar (OXC).

Í upplýsingatækni er einn af lyklunum að ljósfræðilegum notum markaðssettir ljósgjafar. Til viðbótar við einlita ljósgjafa (eins og varmageislunargjafa, LED, LD og VCSEL), eru MOEMS ljósgjafar með virkum tækjum sérstaklega áhyggjufullir. Til dæmis, í stillanlegu VCSEL, er hægt að breyta losunarbylgjulengd resonatorsins með því að breyta lengd resonatorsins með örvirkjafræði, og þar með ná afkastamikilli WDM tækni. Sem stendur hefur verið þróuð stilliaðferð fyrir burðarþol og hreyfanlegt burðarvirki með burðararm.

MOEMS optískir rofar með hreyfanlegum speglum og speglafylki hafa einnig verið þróaðir til að setja saman OXC, samhliða og kveikja/slökkva rofa fylki. Mynd 2 sýnir MOEMS ljósleiðararofa með lausu rými, sem er með par af U-laga framhleypum fyrir hliðarhreyfingu ljósleiðarans. Í samanburði við hefðbundinn bylgjuleiðararofa eru kostir hans minni tengitap og minni þvertaling.

Optísk sía með breitt úrval af stöðugt stillanlegum er mjög mikilvægt tæki í breytilegu DWDM neti og MOEMS F_P síur sem nota ýmis efniskerfi hafa verið þróaðar. Vegna vélræns sveigjanleika stillanlegrar þindar og áhrifaríkrar sjónholalengdar er bylgjulengdarstillanlegt svið þessara tækja aðeins 70nm. Japanska OpNext fyrirtæki hefur þróað MOEMS F_P síu með met stillanleg breidd. Sían er byggð á mörgum InP/air gap MOEMS tækni. Lóðrétt uppbygging er samsett úr 6 lögum af upphengdum InP þindum. Filman er hringlaga uppbygging og er studd af þremur eða fjórum fjöðrunarrömmum. Rétthyrnd stuðningsborðstenging. Samfelld stillanleg F_P sía hennar er með mjög breitt stöðvunarband, sem nær yfir annan og þriðja ljóssamskiptagluggann (1 250 ~ 1800 nm), bylgjulengdarstillingarbreidd hennar er meiri en 112 nm og virkjunarspennan er allt að 5V.

MOEMS hönnun og framleiðslutækni Flest MOEMS framleiðslutækni er þróað beint frá IC iðnaði og framleiðslustöðlum hans. Þess vegna er líkams- og yfirborðs örvinnsla og hámagns örvinnsla (HARM) tækni notuð í MOEMS. En það eru aðrar áskoranir eins og deyjastærð, einsleitni efnis, þrívíddartækni, landslag yfirborðs og lokavinnsla, ójafnvægi og hitanæmi.