MOEMS waa tignoolajiyad soo koraysa oo noqotay mid ka mid ah tignoolajiyada ugu caansan adduunka. MOEMS waa nadaam micro-electro-mechanical (MEMS) oo isticmaala nidaamka sawir-qaadista. Waxay ka kooban tahay modulators indhaha makaanikada-yar, makaanikada yar-yar ee furayaasha indhaha, ICs iyo qaybo kale, waxayna isticmaashaa miniaturization, multiplicity, iyo microelectronics ee tignoolajiyada MEMS si loo gaaro isdhexgalka aan kala go ‘lahayn ee aaladaha indhaha iyo aaladaha korantada. Si fudud loo dhigo, MOEMS waa is dhexgalka dheeraadka ah ee jajabyada heerka nidaamka. Marka la barbar dhigo aaladaha makaanikada indhaha ee waaweyn, PCB naqshadaynta aaladaha MOEMS waa ka yar yihiin, fudud yihiin, dhaqso badan yihiin (oo leh soo noqnoqoshada dhawaaqa sare), waxaana lagu soo saari karaa dufcadyo. Marka la barbar dhigo habka waveguide, habkan bannaan ee bannaan wuxuu leeyahay faa’iidooyinka luminta isku-xidhka hoose iyo is-dhaafsiga yar. Isbeddellada sawir-qaadista iyo tignoolajiyada macluumaadka ayaa si toos ah kor ugu qaaday horumarinta MOEMS. Jaantuska 1 wuxuu muujinayaa xidhiidhka ka dhexeeya microelectronics, micromechanics, optoelectronics, fiber optics, MEMS iyo MOEMS. Maalmahan, tignoolajiyada macluumaadka ayaa si degdeg ah u koraysa oo si joogto ah loo cusboonaysiiyay, marka la gaadho 2010, xawaaraha furitaanka iftiinka waxa uu gaadhi karaa Tb/s. Kordhinta heerarka xogta iyo shuruudaha qalabka jiilka cusub ee waxqabadka sare leh ayaa kiciyay baahida MOEMS iyo isku xidhka indhaha, iyo adeegsiga PCB nashqadeynta aaladaha MOEMS ee goobta optoelectronics ayaa sii socota inay koraan.

Naqshadeynta PCB iyo habka baakadaha falanqaynta aaladaha MOEMS

Naqshadaynta PCB aaladaha MOEMS iyo teknoolajiyada naqshadaynta PCB aaladaha MOEMS waxay u qaybsan yihiin faragelin, kala duwanaansho, gudbin, iyo noocyo milicsi iyadoo loo eegayo mabaadi’dooda shaqo ee jireed (eeg Shaxda 1), badankooduna waxay adeegsadaan aaladaha milicsiga. MOEMS waxay gaartay horumar la taaban karo dhowrkii sano ee la soo dhaafay. Sanadihii la soo dhaafay, sababtoo ah kororka baahida isgaarsiinta xawaaraha sare leh iyo gudbinta xogta, cilmi baarista iyo horumarinta tignoolajiyada MOEMS iyo qalabkeeda ayaa si weyn loo kiciyay. Khasaaraha hooseeya ee loo baahan yahay, dareenka EMV ee hooseeya, iyo heerka hoose ee xogta heerka sare ee isdhaafsiga ayaa ka tarjumaysa nalka PCB aaladaha MOEMS.

Maalmahan, marka lagu daro aaladaha fudud sida doorsoomayaasha indhaha ee doorsooma (VOA), tignoolajiyada MOEMS waxa kale oo loo isticmaali karaa in lagu soo saaro lasers-ka dalool toosan oo toos ah (VCSEL), modulators indhaha, sawir-qaadayaasha xulashada hirarka dhererka iyo aaladaha kale ee indhaha. Qaybaha firfircoon iyo filtarrada, furayaasha indhaha, mawjadaha dhererka indhaha ee lagu daro/dhici karo multixers (OADM) iyo qaybaha kale ee indho-indheynta ah iyo isku-xireyaasha indhaha ee baaxadda weyn (OXC).

Tignoolajiyada macluumaadka, mid ka mid ah furayaasha codsiyada indhaha waa ilaha iftiinka oo la ganacsiyeeyo. Marka lagu daro ilaha iftiinka monolithic (sida ilaha shucaaca kulaylka, LEDs, LDs, iyo VCSELs), ilaha iftiinka MOEMS ee leh aaladaha firfircoon ayaa si gaar ah uga walaacsan. Tusaale ahaan, VCSEL-da la hagaajin karo, mowjadda qiiqa ee resonator-ka waxa lagu beddeli karaa iyadoo la beddelo dhererka resonatorka iyadoo la adeegsanayo makaanikada yaryar, si loo ogaado tignoolajiyada WDM ee waxqabadka sare leh. Waqtigan xaadirka ah, habka hagaajinta cantiver-ka iyo qaab dhismeed dhaqaaqi karo oo cudud taageero leh ayaa la sameeyay.

MOEMS muraayadaha la dhaqaajin karo iyo qalabyada muraayadaha ayaa sidoo kale loo sameeyay in la isku keeno OXC, barbar-socod, iyo damin/dami arraysyada daminta. Jaantuska 2 wuxuu muujinayaa meel banaan MOEMS fiber optic switch, kaas oo leh labo ka mid ah qalabeeyayaasha cantilever U-qaabeeya ee dhaqdhaqaaqa dambe ee fiber-ka. Marka la barbar dhigo beddelka mawjadaha dhaqameed, faa’iidooyinkeedu waa luminta isku xidhka hoose iyo hadal-goynta yar.

Shaandheeyaha indhaha oo leh noocyo kala duwan oo si joogto ah loo hagaajin karo waa aalad aad muhiim u ah oo ku jirta shabakad doorsooma oo DWDM ah, iyo filtarrada MOEMS F_P ee isticmaalaya habab kala duwan ayaa la sameeyay. Dabacsanaanta makaanikada ee diaphragm-ka la isku hagaajin karo iyo dhererka daloolka indhaha oo wax ku ool ah awgeed, hirarka dhererka dhererka ee qalabkani waa 70nm oo keliya. Shirkadda Japan OpNext ayaa soo saartay shaandhada MOEMS F_P oo leh ballac la hagaajin karo oo rikoodh ah. Shaandheeyaha wuxuu ku salaysan yahay tignoolajiyada InP/hawo badan ee MOEMS Qaab dhismeedka toosan wuxuu ka kooban yahay 6 lakab oo ah diaphragms InP-da oo laalan. Filimku waa qaab dhismeed wareeg ah waxaana taageeraya saddex ama afar xargo oo laalid ah. Isku xirka miiska taageerada afargeeska ah. Shaandheynta joogtada ah ee F_P waxay leedahay band joogsi aad u ballaaran, oo daboolaya daaqadaha isgaarsiineed ee labaad iyo saddexaad (1 250 ~ 1800 nm), ballaca mawjadda dhererka dhererkiisu wuxuu ka weyn yahay 112 nm, korantada firfircoonida waxay u yar tahay 5V.

Naqshadaynta MOEMS iyo farsamada wax soo saarka Inta badan tignoolajiyada wax soo saarka MOEMS waxay si toos ah uga soo baxday warshadaha IC iyo heerarkeeda wax soo saarka. Sidaa darteed, jirka iyo mashiinka-mashiinnada-yar-yar-yar iyo tignoolajiyada-mugga-sare ee micro-machining (HARM) ayaa loo adeegsadaa MOEMS. Laakiin waxaa jira caqabado kale sida cabbirka dhinta, isku-duubnida agabka, tignoolajiyada saddex-geesoodka ah, muuqaalka dusha sare iyo habaynta kama dambaysta ah, sinnaanta iyo dareenka heerkulka.