MOEMS se yon teknoloji émergentes ki te vin youn nan teknoloji ki pi popilè nan mond lan. MOEMS se yon sistèm mikwo-elektwo-mekanik (MEMS) ki itilize yon sistèm fotonik. Li genyen ladan li mikwo-mekanik modulateur optik, mikwo-mekanik switch optik, IC ak lòt konpozan, epi li sèvi ak miniaturizasyon, miltiplisite, ak mikwo-elektwonik nan teknoloji MEMS pou reyalize entegrasyon san pwoblèm nan aparèy optik ak aparèy elektrik. Senpleman mete, MOEMS se entegrasyon an plis nan sistèm nan nivo chips. Konpare ak aparèy opto-mekanik gwo echèl, Pkb konsepsyon aparèy MOEMS yo pi piti, pi lejè, pi vit (ak pi wo frekans sonorite), epi yo ka pwodwi an pakèt. Konpare ak metòd waveguide la, metòd espas lib sa a gen avantaj ki genyen nan pi ba pèt kouple ak pi piti diafonis. Chanjman yo nan fotonik ak teknoloji enfòmasyon yo te dirèkteman ankouraje devlopman nan MOEMS. Figi 1 montre relasyon ki genyen ant mikwo-elektwonik, mikromekanik, opto-elektronik, fib optik, MEMS ak MOEMS. Sèjousi, teknoloji enfòmasyon ap devlope rapidman ak toujou ap mete ajou, ak pa 2010, vitès la nan ouvèti limyè ka rive nan Tb / s. Ogmante pousantaj done ak pi wo-pèfòmans kondisyon ekipman nouvo jenerasyon te kondwi demann lan pou MOEMS ak interconnects optik, ak aplikasyon an nan PCB konsepsyon aparèy MOEMS nan jaden an nan optoelektwonik kontinye ap grandi.

Konsepsyon PCB ak analiz metòd anbalaj nan aparèy MOEMS

PCB konsepsyon MOEMS aparèy ak teknoloji PCB konsepsyon MOEMS aparèy yo divize an entèferans, difraksyon, transmisyon, ak refleksyon kalite dapre prensip k ap travay fizik yo (gade Tablo 1), ak pi fò nan yo sèvi ak aparèy meditativ. MOEMS te reyalize devlopman enpòtan nan kèk ane ki sot pase yo. Nan dènye ane yo, akòz ogmantasyon nan demann pou kominikasyon gwo vitès ak transmisyon done, rechèch ak devlopman nan teknoloji MOEMS ak aparèy li yo te anpil ankouraje. Yo te devlope aparèy MOEMS pèt ki ba obligatwa, sansiblite EMV ki ba, ak diafonia ki ba to done segondè reflete limyè PCB konsepsyon.

Sèjousi, anplis de aparèy senp tankou varyab atenuateur optik (VOA), teknoloji MOEMS ka itilize tou pou pwodwi lazè kavite vètikal lazè (VCSEL), modulatè optik, fotodetektè selektif longèdonn reglabl ak lòt aparèy optik. Eleman aktif ak filtè, switch optik, longèdonn pwogramasyon optik ajoute / gout multiplexeur (OADM) ak lòt konpozan optik pasif ak gwo-echèl optik kwa-konekte (OXC).

Nan teknoloji enfòmasyon, youn nan kle aplikasyon pou optik se sous limyè komèsyalize. Anplis sous limyè monolitik (tankou sous radyasyon tèmik, LED, LD, ak VCSEL), sous limyè MOEMS ak aparèy aktif yo patikilyèman konsène. Pou egzanp, nan yon VCSEL reglabl, longèdonn emisyon resonator la ka chanje pa chanje longè resonator la pa mikromekanik, kidonk reyalize teknoloji WDM wo-pèfòmans. Koulye a, yo te devlope yon metòd akor cantilever sipò ak yon estrikti mobil ak yon bra sipò yo te devlope.

Yo te devlope tou switch optik MOEMS ak miwa mobil ak etalaj glas pou rasanble OXC, paralèl, ak etalaj switch on/off. Figi 2 montre yon switch fib optik MOEMS ki gen espas gratis, ki gen yon pè actuators cantilever ki gen fòm U pou mouvman lateral fib la. Konpare ak switch tradisyonèl waveguide la, avantaj li yo se pi ba pèt kouple ak pi piti diafonis.

Yon filtè optik ak yon pakèt domèn kontinyèlman reglabl se yon aparèy trè enpòtan nan yon rezo DWDM varyab, ak filtè MOEMS F_P ki itilize sistèm materyèl divès kalite yo te devlope. Akòz fleksibilite mekanik nan dyafram nan reglabl ak longè kavite optik efikas, ranje longèdonn reglabl nan aparèy sa yo se sèlman 70nm. Konpayi OpNext Japon an te devlope yon filtè MOEMS F_P ak yon lajè dosye reglabl. Filtè a baze sou plizyè teknoloji InP/air gap MOEMS. Estrikti vètikal la konpoze de 6 kouch dyafram InP ki sispann. Fim nan se yon estrikti sikilè epi li sipòte pa twa oswa kat ankadreman sispansyon. Koneksyon tab sipò rektangilè. Filtè kontinyèl F_P tunable li yo gen yon bann sispann trè laj, ki kouvri dezyèm ak twazyèm fenèt kominikasyon optik (1 250 ~ 1800 nm), lajè akor longèdonn li yo pi gran pase 112 nm, ak vòltaj la aksyon ba ke 5V.

MOEMS konsepsyon ak teknoloji pwodiksyon Pifò teknoloji pwodiksyon MOEMS evolye dirèkteman nan endistri IC ak estanda fabrikasyon li yo. Se poutèt sa, kò ak sifas mikwo-machin ak gwo volim mikwo-machin (HARM) teknoloji yo itilize nan MOEMS. Men, gen lòt defi tankou gwosè mouri, inifòmite materyèl, teknoloji ki genyen twa dimansyon, topografi sifas ak pwosesis final, inegalite ak sansiblite tanperati.