Ngwa nke teknụzụ nhazi laser n’ime osisi sekit na -agbanwe agbanwe

Ogwe sekit na -agbanwe njupụta dị elu bụ akụkụ nke bọọdụ sekit niile na -agbanwe agbanwe, nke a na -akọwakarị dị ka oghere ahịrị erughị 200 μ M ma ọ bụ micro site na ihe na -erughị 250 μ M sekit na -agbanwe agbanwe. Ogwe sekit na -agbanwe njupụta dị elu nwere ngwa dị iche iche, dị ka nkwukọrịta, kọmpụta, sekit agbakwunyere na akụrụngwa ọgwụ. N’ịchọpụta ihe pụrụ iche nke ihe bọọdụ sekit na-agbanwe agbanwe, akwụkwọ a na-ewebata ụfọdụ nsogbu igodo a ga-atụle na nhazi laser nke bọọdụ sekit na-agbanwe agbanwe na micro site na-egwu mmiri.

Njirimara pụrụ iche nke bọọdụ sekit na -agbanwe agbanwe na -eme ka ọ bụrụ ihe ọzọ na bọọdụ sekit siri ike na atụmatụ wiring ọdịnala n’ọtụtụ oge. N’otu oge ahụ, ọ na -akwalitekwa mmepe nke ọtụtụ ubi ọhụrụ. Akụkụ na -eto ngwa ngwa nke FPC bụ ahịrị njikọ dị n’ime draịvụ ike kọmputa (HDD). Isi ndọta nke diski ike ga -agagharị na azụ na diski na -agbagharị maka nyocha, enwere ike iji sekit na -agbanwe agbanwe dochie waya iji mata njikọ dị n’etiti isi ndọta ekwentị na bọọdụ sekit njikwa. Ndị na -emepụta diski ike na -abawanye mmepụta ma na -ebelata ọnụ ahịa ọgbakọ site na teknụzụ akpọrọ “efere na -agbanwe agbanwe” (FOS). Na mgbakwunye, teknụzụ nkwusioru ikuku nwere nguzogide seismic ka mma ma nwee ike melite ntụkwasị obi ngwaahịa. Ogwe sekit ọzọ na-agbanwe agbanwe dị elu nke ejiri na diski ike bụ interposer flex, nke a na-eji n’etiti nkwụsị na onye njikwa.

Ubi nke abụọ na -eto eto nke FPC bụ nkwakọ ngwaahịa sekit ọhụrụ agbakwunyere. A na -eji sekit na -agbanwe agbanwe na ngwugwu ọkwa mgbawa (CSP), modul mgbawa ọtụtụ (MCM) na mgbawa na bọọdụ sekit na -agbanwe agbanwe (COF). N’ime ha, CSP ime sekit nwere nnukwu ahịa, n’ihi na enwere ike iji ya na ngwaọrụ semiconductor na ebe nchekwa ọkụ, a na -ejikwa ya nke ọma na kaadị PCMCIA, draịva diski, ndị enyemaka dijitalụ nkeonwe (PDAs), ekwentị mkpanaaka, pagers igwefoto dijitalụ na igwefoto dijitalụ. . Na mgbakwunye, ngosi kristal mmiri mmiri (LCD), ihe nkiri polyester na katrij inkjet bụ ngwa ngwa itoolu atọ dị elu nke bọọdụ sekit na-agbanwe agbanwe.

Ike ahịa nke teknụzụ ahịrị na -agbanwe agbanwe na ngwaọrụ mkpanaka (dị ka ekwentị mkpanaaka) buru oke ibu, nke dị oke mma, n’ihi na ngwaọrụ ndị a chọrọ obere olu na ịdị arọ iji gboo mkpa ndị na -azụ ahịa; Na mgbakwunye, ngwa ọhụrụ nke teknụzụ na -agbanwe agbanwe gụnyere ngosipụta panel dị larịị na ngwaọrụ ahụike, nke ndị nrụpụta nwere ike iji belata olu na ịdị arọ nke ngwaahịa dị ka ihe na -anụ ihe na ntinye mmadụ.

Nnukwu ibu na mpaghara ndị dị n’elu emeela ka mmụba na mmepụta nke bọọdụ sekit na -agbanwe agbanwe zuru ụwa ọnụ. Dịka ọmụmaatụ, a na -atụ anya na ọnụ ahịa ahịa nke diski ike kwa afọ ga -eru nde nde 345 na 2004, ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ ugboro abụọ na 1999, na ọnụ ahịa ahịa nke ekwentị mkpanaaka na 2005 na -echekwa na ọ ga -abụ nde nde 600. Mmụba ndị a na-ebute mmụba kwa afọ nke 35% na mwepụta nke bọọdụ sekit na-agbanwe agbanwe, na-eru nde mita 3.5 site na 2002. Nchọpụta dị elu dị otú ahụ chọrọ teknụzụ nhazi dị ọnụ ala ma dị ọnụ ala, na teknụzụ nhazi laser bụ otu n’ime ha. .

Laser nwere atọ isi ọrụ na n’ichepụta usoro nke osisi sekit mgbanwe: nhazi na -akpụ (ịcha na ịcha), slicing na -egwu ala. Dịka ngwa ọrụ na-ejikọghị kọntaktị, enwere ike iji laser na obere nlebara anya (100 ~ 500) μ m) A na-etinye ike ọkụ ọkụ dị elu (650MW / mm2) na ihe ahụ. Enwere ike iji ike dị elu dị otú ahụ maka ịcha, mkpọpu ala, akara, ịgbado ọkụ, akara na nhazi ndị ọzọ. Ọsọ nhazi na ịdị mma ya na njirimara nke ihe esichara yana njiri mara laser eji, dị ka ebili mmiri, njupụta ike, ike kacha elu, obosara akwara na ugboro. Nhazi nke bọọdụ sekit na -agbanwe agbanwe na -eji ultraviolet (UV) na laser infrared (FIR). Onye nke mbụ na-ejikarị excimer ma ọ bụ UV diode pumped solid-state (uv-dpss) lasers, ebe nke ikpeazụ na-ejikarị akara CO2 akara akara div>

Teknụzụ nyocha vector na -eji kọmpụta na -ejikwa enyo nke nwere mita na -asọba na sọftụwia CAD / CAM iji mepụta eserese na igwu ala, ma na -eji usoro oghere telecentric iji hụ na laser na -enwu kwụ ọtọ n’elu ebe a na -arụ ọrụ < / div>

Igwe ọkụ laser nhazi nwere oke nkenke na ngwa sara mbara. Ọ bụ ngwa dị mma maka ịkpụ bọọdụ sekit na -agbanwe agbanwe. Ma ọ bụ laser CO2 ma ọ bụ laser DPSS, enwere ike ịhazi ihe ahụ n’ụdị ọ bụla mgbe itinyechara uche. Ọ na -agba ọkụ ọkụ lekwasịrị anya ebe ọ bụla na elu ọrụ ya site na ịwụnye enyo na galvanometer, wee mezie akara ọnụọgụ kọmputa (CNC) na galvanometer site na iji teknụzụ nyocha vector, wee mee eserese eserese site n’enyemaka nke sọftụwia CAD / CAM. Ngwaọrụ a “dị nro” nwere ike ijikwa laser ngwa ngwa ozugbo a na -agbanwe imewe ahụ. Site n’ịgbanwe ọkụ shrinkage na ngwaọrụ ịcha dị iche iche, nhazi laser nwere ike mepụtaghachi eserese nke ọma, nke bụ uru ọzọ dị mkpa.

Nyocha vector nwere ike belata mkpụrụ dị ka ihe nkiri polyimide, bepụ sekit niile ma ọ bụ wepu mpaghara na bọọdụ sekit, dị ka oghere ma ọ bụ ngọngọ. N’ime usoro nhazi na ịkpụ, a na -agbanye ọkụ laser mgbe enyo na -enyocha elu nhazi niile, nke na -emegide usoro mkpọpu ala. N’oge a na -egwu ala, a na -agbanye laser naanị mgbe edoziri enyo n’akụkụ ọ bụla na -egwu mmiri div>

ngalaba

“Mwepu” na jargon bụ usoro iwepụ otu akwa nke ihe ọzọ na laser. Usoro a dabara adaba maka laser. Enwere ike iji otu teknụzụ nyocha vector iji wepu dielectric ma kpughee pad conductive n’okpuru. N’oge a, nkenke dị elu nke nhazi laser na -egosipụtakwa nnukwu uru. Ebe ọ bụ na foil ọla ga -egosipụta ụzarị laser FIR, a na -ejikarị laser CO2 ebe a.

dakpuo onu

Ọ bụ ezie na ebe ụfọdụ ka na -eji mkpọpu mmiri, stamping ma ọ bụ plasma etching iji mepụta micro site na oghere, mkpọsa laser ka bụ micro kachasị eji eme ihe site na oghere na -akpụzi bọọdụ sekit na -agbanwe agbanwe, ọkachasị n’ihi nrụpụta ya dị elu, mgbanwe siri ike na ogologo oge ọrụ nkịtị. .

Ịkụ olulu na stampụ na-amachi iberibe mkpọtụ dị elu wee nwụọ, nke enwere ike ime na bọọdụ sekit na-agbanwe agbanwe nwere dayameta nke ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ 250 μ M, mana ngwaọrụ ndị a dị oke ọnụ dị oke ọnụ ma nwee ndụ ọrụ pere mpe. N’ihi bọọdụ sekit na-agbanwe agbanwe nke ukwuu, nha oghere chọrọ bụ 250 μ M pere mpe, yabụ enweghị mmasị n’ịgba olulu.

Enwere ike iji etching Plasma na mkpụrụ osisi ihe nkiri polyimide dị 50 μ M nke nwere nha erughị 100 μ M, mana itinye akụrụngwa na ọnụ ahịa nhazi ya dị oke elu, ọnụ ahịa mmezi nke usoro etching plasma dịkwa oke elu, ọkachasị ụgwọ ndị metụtara ya. maka ụfọdụ ọgwụgwọ mkpofu kemịkal na ihe oriri. Na mgbakwunye, ọ na -ewe ogologo oge ka etinyere plasma mee micro vias na -agbanwe agbanwe na ntụkwasị obi mgbe ị na -ehiwe usoro ọhụrụ. Uru nke usoro a bụ ntụkwasị obi dị elu. A na -akọ na ọnụego ruru eru nke micro via bụ 98%. Ya mere, etching plasma ka nwere ahịa dị na ọgwụ na ngwa akụrụngwa avionics div>

N’ụzọ dị iche, ịkpụpụta micro vias site na laser bụ usoro dị mfe ma dịkwa ọnụ ala. Itinye ego nke ngwa laser dị ala, na laser bụ ngwa anaghị akpọtụrụ. N’adịghị ka mkpọchi igwe, a ga -enwe ọnụ ahịa nnọchi ngwa dị oke ọnụ. Na mgbakwunye, CO2 na laser uv-dpss mechiri emechi bụ enweghị mmezi, nke nwere ike belata oge ịkwụsịlata ma kwalite nrụpụta nke ukwuu.

Usoro imepụta micro vias na bọọdụ sekit na -agbanwe agbanwe bụ otu ihe ahụ na pcb siri ike, mana ekwesịrị ịgbanwe ụfọdụ akụkụ dị mkpa nke laser n’ihi ọdịiche nke mkpụrụ na ọkpụrụkpụ. Akara CO2 na uv-dpss laser nwere ike iji otu teknụzụ nyocha vector dị ka ịkpụgharị iji kpoo ozugbo na bọọdụ sekit na-agbanwe agbanwe. Nanị ihe dị iche bụ na ngwa ngwa mkpọpu ala ga -agbanyụ laser n’oge nyocha enyo nyocha site na otu micro site na ọzọ. Agaghị agbanwu oriọna laser ruo mgbe ọ ruru ọnọdụ mkpọpu ala ọzọ. Iji mee oghere ahụ ka ọ dabere na elu nke mkpụrụ osisi sekit na -agbanwe agbanwe, osisi laser ga -enwu kwụ ọtọ na mkpụrụ osisi sekit, nke enwere ike nweta site na iji sistemụ oghere telecentric n’etiti enyo nyocha na mkpụrụ (Fig. 2) ) div>

Oghere ndị gbawara na Kapton na -eji laser UV

Laser CO2 nwekwara ike iji teknụzụ nkpuchi ihu na -egwu micro vias. Mgbe ị na -eji teknụzụ a, a na -eji elu ọla kọpa dị ka ihe nkpuchi, a na -etinyere ya oghere site na usoro ide ihe nkịtị, mgbe ahụ, CO2 laser bera na -agbaze na oghere nke foil ọla iji wepu ihe ọkụ eletrik ekpughere.

Enwere ike ịme micro vias site na iji laser excimer site na usoro nke nkpuchi amụma. Teknụzụ a kwesịrị ịdepụta onyonyo nke micro site na ma ọ bụ micro ahụ dum site n’usoro ruo na mkpụrụ ahụ, mgbe ahụ, ọkụ ọkụ ọkụ na -acha ọkụ ọkụ na -eme ka ihe mkpuchi ahụ maapụ ihe onyonyo ahụ n’elu ala, iji wee gwuo oghere ahụ. Ogo nke mkpọpu laser excimer dị mma nke ukwuu. Ọghọm ya bụ obere ọsọ na ọnụ ahịa dị elu.

Nhọrọ Laser n’agbanyeghị ụdị laser maka nhazi bọọdụ sekit na -agbanwe agbanwe bụ otu ihe ahụ maka nhazi pcb siri ike, ọdịiche dị na ihe na ọkpụrụkpụ ga -emetụta oke nhazi na ọsọ. Mgbe ụfọdụ, a na -eji laser excimer na ikuku na -atọ ụtọ (tii) CO2 laser, mana ụzọ abụọ a nwere ngwa ngwa yana ọnụ ahịa mmezi dị elu, nke na -amachi mmezi nke arụpụtaghị ihe. N’iji ya tụnyere, a na-eji CO2 na uv-dpss lasers, ngwa ngwa na ọnụ ala, yabụ a na-ejikarị ha emepụta na nhazi micro vias nke bọọdụ sekit na-agbanwe agbanwe.

Ọ dị iche na ikuku gas CO2 laser, CO2 laser akara （http://www.auto-alt.cn technology A na-anabata teknụzụ mwepụta ngọngọ iji belata ngwakọta gas na oghere laser nke efere electrode akụkụ anọ akọwapụtara. A na -emechi oghere laser n’oge ndụ ọrụ niile (ọ na -abụkarị afọ 2 ~ 3). Oghere laser nke emechiri emechi nwere usoro kọmpat na ọ chọghị mgbanwe ikuku. Isi laser nwere ike na -arụ ọrụ oge niile karịa awa 25000 na -enweghị mmezi. Uru kasịnụ n’ichepụta akara bụ na ọ nwere ike iwepụta ngwa ngwa ngwa ngwa. Dịka ọmụmaatụ, laser mwepụta ngọngọ nwere ike wepụta ọkụ ọkụ ugboro ugboro (100kHz) nwere oke ike nke 1.5KW. Site na ugboro ugboro na ike dị elu, enwere ike ịme ngwa ngwa ngwa ngwa na -enweghị mbibi ikuku ikuku ọ bụla>

Uv-dpss laser bụ ngwaọrụ siri ike nke na-anọgide na-a neụ neodymium vanadate (Nd: YVO4) mkpanaka kristal nwere eriri diode. Ọ na-ewepụta mmepụta pulse site na mgbanwo ọkụ Q-acousto-optic, ma na-eji jenerato kristal nke atọ gbanwee mmepụta Nd: YVO4 laser site na 1064nm & nbsp; A na -ebelata ogologo ntụgharị nke IR ka ọ bụrụ 355 nm UV wavelength. N’ozuzu 355nm < / div>

Nkezi ike nrụpụta nke uv-dpss laser na ọnụego ikwughachi mkpụrụedemede 20kHz karịrị 3W div>

Uv-dpss laser

Ma dielectric na ọla kọpa nwere ike nweta laser uv-dpss n’ụzọ dị mfe na ebili mmiri nke 355nm. Uv-dpss laser nwere obere ntụpọ ọkụ na ike nrụpụta dị ala karịa laser CO2. N’ime usoro nhazi dielectric, uv-dpss laser na-ejikarị obere nha (ihe na-erughị 50%) μ m) Ya mere, ekwesịrị ịhazi dayameta na-erughị 50 na mkpụrụ osisi bọọdụ sekit na-agbanwe agbanwe dị elu μ M micro site , n’iji laser UV dị ezigbo mma. Ugbu a enwere laser uv-dpss dị elu, nke nwere ike ịbawanye nhazi na mgbapu nke uv-dpss laser div>

Uru nke laser uv-dpss bụ na mgbe fotị UV ya dị elu na-enwu n’ọtụtụ ihe ndị na-abụghị ọla, ha nwere ike mebie njikọ nke ụmụ irighiri ihe, jiri usoro lithography “oyi” mee ka mbelata ahụ belata, wee belata ogo nke mmebi nke na -ekpo ọkụ na -ere ọkụ. Yabụ, ịchapu obere UV dabara adaba maka oge a na-achọsi ike ebe ọgwụgwọ agaghị ekwe omume ma ọ bụ div na-enweghị isi>

CO2 laser (Nhọrọ akpaaka)

Laser CO2 akara nwere ike wepụta ogologo nrịgo nke 10.6 μ M ma ọ bụ 9.4 μ M FIR laser, n’agbanyeghị na ebili mmiri abụọ dị mfe ịnabata ya site na dielectrics dị ka mkpụrụ ihe nkiri polyimide, nyocha ahụ na -egosi na 9.4 μ Mmetụta nke M ebili mmiri nhazi ụdị ihe a. dị nnọọ mma. Dielectric 9.4 co Mkpokọta mmịkọ nke ogologo ntụgharị M dị elu, nke dị mma karịa 10.6 maka mkpọpu ma ọ bụ belata ihe μ M ebili mmiri ngwa ngwa. isi itoolu anọ laser M laser abụghị naanị nwere uru pụtara ìhè na mkpọpu ala na ịcha, kamakwa ọ nwere mmetụta ibelata pụtara ìhè. Ya mere, iji laser dị mkpụmkpụ nwere ike melite arụpụta ihe na ịdị mma.

N’ikwu okwu n’ozuzu, ịdị ogologo ikuku fir na -adịkarị mfe site na dielectrics, mana ọla ga -egosipụta ya azụ. Ya mere, a na -eji ọtụtụ lasers CO2 maka nhazi dielectric, ịkpụzi, ibelata na delamination nke mkpụrụ osisi dielectric na laminate. N’ihi na ike nrụpụta nke CO2 laser dị elu karịa nke laser DPSS, a na -eji laser CO2 iji hazie dielectric n’ọtụtụ oge. A na-ejikarị laser CO2 na uv-dpss laser ọnụ. Dịka ọmụmaatụ, mgbe ị na -egwu micro vias, buru ụzọ wepu akwa ọla kọpa na laser DPSS, wee jiri oghere CO2 gwuo oghere n’ime dielectric oyi ruo mgbe akwa mkpuchi ọla kọpa na -esote pụtara, wee megharịa usoro ahụ.

N’ihi na ogologo ntụgharị nke UV UV n’onwe ya dị mkpụmkpụ, ntụpọ ọkụ nke UV laser na-ewepụta dị mma karịa nke CO2 laser, mana na ngwa ụfọdụ, nnukwu oghere dayameta nke CO2 laser mepụtara bara uru karịa laser uv-dpss. Dịka ọmụmaatụ, bee nnukwu mpaghara ihe dịka oghere na ngọngọ ma ọ bụ gwuo nnukwu oghere (dayameta karịrị 50) μ m) Ọ na -ewe obere oge iji laser CO2 rụọ ya. N’ikwu okwu n’ozuzu, oke oghere bụ 50 μ Mgbe m buru ibu, nhazi laser CO2 dabara adaba, oghere ya erughị 50 μ M, nsonaazụ uv-dpss laser ka mma.