Истифодаи технологияи коркарди лазерӣ дар тахтаи ноҳиявии чандир

Шӯрои ноҳиявии чандирии зичии баланд як қисми тамоми тахтаи ноҳиявии чандир аст, ки одатан ҳамчун фосилаи байни камтар аз 200 μ M ё микро тавассути камтар аз 250 μ M тахтаи ноҳиявии фасеҳ муайян карда мешавад. Шӯрои ноҳиявии чандирии зичии баланд дорои доираи васеи барномаҳо ба монанди телекоммуникатсия, компютерҳо, схемаҳои интегралӣ ва таҷҳизоти тиббӣ мебошад. Бо назардошти хосиятҳои хоси маводи тахтаи ноҳиявии фасеҳ, ин ҳуҷҷат якчанд мушкилоти калидиро пешкаш мекунад, ки бояд ҳангоми коркарди лазерии тахтаи ноҳиявии чандирии чандирии зич ва микро тавассути пармакунӣ баррасӣ карда шаванд.

Хусусиятҳои беназири тахтаи электронии фасеҳ онро дар бисёр мавридҳо алтернативаи тахтаи ноҳиявии сахт ва схемаи анъанавии ноқилҳои барқ ​​месозад. Ҳамзамон, он ба рушди бисёр соҳаҳои нав мусоидат мекунад. Қисми босуръат афзояндаи FPC хати пайвасти дохилии диски сахти компютер (HDD) мебошад. Сари магнитии диски сахт бояд дар диски гардишкунанда барои скан ба пеш ва пас ҳаракат кунад ва схемаи чандирро барои иваз кардани сим барои дарк кардани алоқа байни сари магнитии мобилӣ ва тахтаи схемаи идоракунӣ истифода бурдан мумкин аст. Истеҳсолкунандагони дискҳои сахт истеҳсолотро афзоиш медиҳанд ва хароҷоти васлшударо тавассути технологияе бо номи “лавҳаи чандирии боздошташуда” (FOS) кам мекунанд. Илова бар ин, технологияи таваққуфи бесим муқовимати беҳтар ба сейсмикӣ дорад ва метавонад эътимоднокии маҳсулотро беҳтар созад. Дигар тахтаи ноҳиявии чандирии зичии баланд, ки дар диски сахт истифода мешавад, interposer flex мебошад, ки дар байни таваққуф ва контрол истифода мешавад.

Соҳаи дуюми афзояндаи FPC як бастаи нави интегралӣ мебошад. Микросхемаҳои чандир дар бастабандии сатҳи чип (CSP), модули бисёр чип (MCM) ва чип дар тахтаи ноҳиявии фасеҳ (COF) истифода мешаванд. Дар байни онҳо, схемаи дохилии CSP бозори бузург дорад, зеро он метавонад дар дастгоҳҳои нимноқилҳо ва хотираи флешдор истифода шавад ва дар кортҳои PCMCIA, дискҳои дискҳо, ассистентҳои рақамии шахсӣ (PDAs), телефонҳои мобилӣ, пейҷерҳо Камераи рақамӣ ва камераи рақамӣ васеъ истифода бурда мешавад. . Илова бар ин, дисплейи кристаллии моеъ (LCD), ивазкунандаи филми полиэстерӣ ва картриджи чопгари реактивӣ се соҳаи дигари афзоиши афзояндаи тахтаи ноҳиявии чандирии зичии баланд мебошанд \

Потенсиали бозории технологияи хатти чандир дар дастгоҳҳои сайёр (ба мисли телефонҳои мобилӣ) хеле калон аст, ки ин хеле табиӣ аст, зеро ин дастгоҳҳо барои қонеъ кардани ниёзҳои истеъмолкунандагон ҳаҷми хурд ва вазни сабукро талаб мекунанд; Илова бар ин, барномаҳои охирини технологияи тағйирпазир дисплейҳои ҳамвор ва дастгоҳҳои тиббиро дар бар мегиранд, ки онҳоро дизайнерҳо барои кам кардани ҳаҷм ва вазни маҳсулот ба монанди дастгоҳҳои шунавоӣ ва имплантатсияи инсон истифода бурда метавонанд.

Афзоиши бузург дар соҳаҳои дар боло овардашуда боиси афзоиши истеҳсоли глобалии тахтаҳои ноҳиявии фасеҳ гардид. Масалан, ҳаҷми солонаи фурӯши дискҳои сахт дар соли 345 ба 2004 миллион адад расонида мешавад, ки ин нисбат ба соли 1999 қариб ду баробар зиёд аст ва ҳаҷми фурӯши телефонҳои мобилӣ дар соли 2005 ба таври консервативӣ 600 миллион адад арзёбӣ мешавад. Ин афзоишҳо боиси афзоиши солонаи 35% -и истеҳсоли тахтаҳои ноҳиявии чандирии зиччи баланд шуда, то соли 3.5 ба 2002 миллион метри мураббаъ мерасад. Чунин талабот ба маҳсулоти баланд технологияи коркарди самаранок ва арзон талаб мекунад ва технологияи коркарди лазерӣ яке аз онҳост .

Лазер дар раванди истеҳсоли тахтаи фасеҳи фасеҳ се вазифаи асосӣ дорад: коркард ва ташаккул (буридан ва буридан), буридан ва пармакунӣ. Ҳамчун асбоби коркарди бидуни тамос, лазерро дар як фокуси хеле хурд (100 ~ 500) м м истифода бурдан мумкин аст) Ба мавод энергияи сабуки баланд (650MW / mm2) истифода мешавад. Чунин энергияи баландро барои буридан, пармакунӣ, аломатгузорӣ, кафшер, аломатгузорӣ ва коркарди дигар истифода бурдан мумкин аст. Суръат ва сифати коркард ба хосиятҳои маводи коркардшуда ва хусусиятҳои лазерии истифодашаванда, ба мисли дарозии мавҷ, зичии энергия, қудрати қулла, паҳнои набз ва басомад вобаста аст. Коркарди тахтаи ноҳиявии фасеҳ лазерҳои ултрабунафш (ултрабунафш) ва ултрабунафш (FIR) -ро истифода мебарад. Дар аввал одатан экзимер ё диоди ултрафиолет лазерҳои сахт (UV-dpss) -и насосиро истифода мебаранд, дар ҳоле ки охирин одатан лазерҳои мӯҳршудаи CO2-ро истифода мебарад div>

Технологияи сканкунии вектор компютерро барои идора кардани оинае, ки бо ҳисобкунакҳои ҷараён ва нармафзори CAD / CAM муҷаҳҳаз шудааст, барои тавлиди графикаи буридан ва пармакунӣ истифода мебарад ва системаи линзаҳои телесентрикиро истифода мебарад, то лазер дар рӯи коркарди амудӣ дурахшад < / div>

Пармакунии лазерӣ коркард дорои дақиқии баланд ва истифодаи васеъ мебошад. Ин як воситаи беҳтарин барои ташаккули тахтаи ноҳиявии чандир аст. Новобаста аз лазерии CO2 ё лазерии DPSS, мавод метавонад пас аз тамаркуз ба ҳама гуна шакл коркард карда шавад. Он тавассути насб кардани оина дар галванометр нури лазерии нигаронидашударо дар ҳама ҷое, ки дар рӯи қисм ҷойгир аст, мекашад, сипас бо истифодаи технологияи сканеркунии векторӣ назорати рақамии компютериро (CNC) дар галванометр иҷро мекунад ва бо ёрии нармафзори CAD / CAM графикро бурида месозад. Ин “асбоби мулоим” ҳангоми тағир додани тарҳ метавонад лазерро дар вақти воқеӣ ба осонӣ идора кунад. Бо танзими коҳишёбии сабук ва асбобҳои гуногуни буриш, коркарди лазерӣ метавонад графикаи тарроҳиро дақиқ дубора таҷдид кунад, ки ин як бартарии дигари назаррас аст.

Сканкунии вектор метавонад субстратҳоро ба мисли филми полиимидӣ бурад, тамоми занҷирро бурад ё як минтақаи тахтаи схемаро аз қабили слот ё блок хориҷ кунад. Дар ҷараёни коркард ва ташаккул, чӯбаки лазерӣ ҳамеша даргиронда мешавад, вақте ки оина тамоми рӯи коркардро скан мекунад, ки баръакси раванди пармакунӣ аст. Ҳангоми пармакунӣ, лазер танҳо пас аз он ки оина дар ҳар мавқеи пармакунӣ собит мешавад, фурӯзон мешавад

ҷудокунӣ

“Буридан” дар жаргон ҷараёни хориҷ кардани як қабати мавод аз қабати дигар бо лазер мебошад. Ин раванд барои лазер бештар мувофиқ аст. Ҳамин технологияи сканкунии векториро барои нест кардани диэлектрик ва фош кардани болишти барандаи поён истифода бурдан мумкин аст. Дар ин вақт, дақиқии баланди коркарди лазерӣ бори дигар манфиатҳои бузургро инъикос мекунад. Азбаски нурҳои лазерии FIR аз фолгаи мис инъикос меёбанд, одатан дар ин ҷо лазери CO2 истифода мешавад.

сӯрохи парма

Гарчанде ки дар баъзе ҷойҳо ҳоло ҳам пармакунии механикӣ, штампкунӣ ё плазма барои сӯрох кардани микро тавассути сӯрохиҳо истифода мешаванд, пармакунии лазерӣ то ҳол маъмултарин усули ташаккулёбии сӯрохиҳои тахтаи ноҳиявии фасеҳ аст, ки асосан аз сабаби ҳосилнокии баланд, чандирии қавӣ ва вақти кори муқаррарии дарозмуддат мебошад. .

Пармакунӣ ва штампкунии механикӣ битҳо ва маргҳои дақиқи дақиқро қабул мекунанд, ки онҳоро дар тахтаи ноҳиявии чандир бо диаметри қариб 250 мкм метавон сохтан мумкин аст, аммо ин дастгоҳҳои дақиқ хеле гарон буда, мӯҳлати хизмати нисбатан кӯтоҳ доранд. Аз сабаби тахтаи ноҳиявии чандирии зичии баланд, таносуби кушодагии 250 мкм хурд аст, бинобар ин пармакунии механикӣ маъқул нест.

Пошидани плазмаро дар субстратаи ғафси полимидҳои ғафси 50 μ M бо андозаи камтар аз 100 μ M истифода бурдан мумкин аст, аммо сармоягузорӣ ва хароҷоти таҷҳизот хеле баланд аст ва арзиши нигоҳдории раванди сӯзишвории плазма низ хеле баланд аст, хусусан хароҷоти марбут ба баъзе коркарди партовҳои кимиёвӣ ва масолеҳ. Илова бар ин, ҳангоми коркарди раванди нав барои кушодани плазма микроавтобҳои пайдарпай ва боэътимод вақти зиёд лозим аст. Афзалияти ин раванд эътимоднокии баланд аст. Гуфта мешавад, ки сатҳи тахассусии микро тавассути 98%аст. Аз ин рӯ, нақшаи плазма то ҳол як бозори муайяни таҷҳизоти тиббӣ ва авионикӣ дорад

Баръакси ин, сохтани микроавтобусҳо бо лазер як раванди содда ва арзон аст. Сармоягузории таҷҳизоти лазерӣ хеле кам аст ва лазер як асбоби тамоснашаванда аст. Баръакси пармакунии механикӣ, арзиши иваз кардани асбобҳои гарон хоҳад буд. Илова бар ин, лазерҳои замонавии мӯҳршудаи CO2 ва uv-dpss нигоҳдории ройгон доранд, ки метавонанд вақти бекористиро кам кунанд ва маҳсулнокиро хеле беҳтар кунанд.

Усули тавлиди микроавтобусҳо дар тахтаи ноҳиявии чандир бо ҳамон тавре ки дар компютери сахт мавҷуд аст, аммо баъзе параметрҳои муҳими лазерро бинобар фарқияти субстрат ва ғафсӣ тағир додан лозим аст. Лазерҳои мӯҳршудаи CO2 ва uv-dpss метавонанд ҳамон технологияи сканкунии векториро ҳамчун қолабсозӣ истифода баранд, то мустақиман дар тахтаи ноҳиявии фасеҳ парма кунанд. Ягона фарқият дар он аст, ки нармафзори замимавии пармакунӣ ҳангоми сканкунии оинаи сканеркунӣ аз як микро ба дигараш лазерро хомӯш мекунад. Чароғи лазерӣ то расидан ба мавқеи дигари пармакунӣ фурӯзон намешавад. Барои сохтани сӯрохи ба сатҳи субстратаи чандирии ноҳиявӣ, нури лазерӣ бояд дар зерсохтори тахтаи ноҳиявӣ ба таври амудӣ дурахшад, ки онро тавассути истифодаи системаи линзаҳои телесентрӣ байни оинаи скан ва зерсохт ба даст овардан мумкин аст (расми 2) ) div>

Сӯрохиро дар Каптон бо истифода аз лазерҳои ултрабунафш парма мекунанд

Лазерии CO2 инчунин метавонад барои парма кардани микро виас технологияи ниқобҳои конформиро истифода барад. Ҳангоми истифодаи ин технология, сатҳи мис ҳамчун ниқоб истифода мешавад, сӯрохиҳо бо усули оддии чопкунии чоп дар он часпонида мешаванд ва сипас чӯби лазерии CO2 дар сӯрохиҳои фолгаи мис шуоъ гирифта мешавад, то маводи диэлектрикии фошшударо тоза кунад.

Микроавтобусҳоро инчунин бо истифода аз лазерҳои эксимерӣ бо усули ниқоби проексионӣ метавон сохт. Ин технология бояд тасвири микро тавассути тамоми масофа ё тамоми микро тавассути массивро ба субстрат харитасозӣ кунад ва сипас чӯби лазерии эксимерӣ ниқобро барои харитаи тасвири ниқоб ба сатҳи субстрат нур медиҳад. Сифати пармакунии лазерии эксимер хеле хуб аст. Камбудии он суръати паст ва арзиши баланд аст.

Интихоби лазерӣ, гарчанде ки навъи лазерӣ барои коркарди тахтаи ноҳиявии фасеҳ якхела бо коркарди pcb аст, фарқияти мавод ва ғафсӣ ба параметрҳо ва суръати коркард хеле таъсир мерасонад. Баъзан лазерҳои эксимерӣ ва лазерии гази ҳаяҷонангези (чой) CO2 -ро истифода бурдан мумкин аст, аммо ин ду усул суръати суст ва арзиши нигоҳдории баланд доранд, ки беҳбуди маҳсулнокиро маҳдуд мекунанд. Дар муқоиса, лазерҳои CO2 ва uv-dpss ба таври васеъ истифода мешаванд, арзиши зуд ва арзон, аз ин рӯ онҳо асосан дар истеҳсол ва коркарди микроавтобусҳои тахтаҳои ноҳиявии фасеҳ истифода мешаванд.

Фарқ аз ҷараёни гази CO2 лазерӣ, лазерии мӯҳршудаи CO2 （http://www.auto-alt.cn technology Технологияи баровардани блок барои маҳдуд кардани омехтаи гази лазерӣ ба холигии лазерӣ, ки аз ҷониби ду заррин электроди росткунҷа муайян шудааст, қабул карда шудааст. Пойгоҳи лазерӣ дар тӯли тамоми мӯҳлати хидмат мӯҳр карда мешавад (одатан тақрибан 2 ~ 3 сол). Пойгоҳи лазерии мӯҳршуда дорои сохтори паймон аст ва ба мубодилаи ҳаво ниёз надорад. Сари лазерӣ метавонад дар тӯли зиёда аз 25000 соат бе нигоҳдорӣ кор кунад. Бузургтарин бартарии тарҳи мӯҳр дар он аст, ки он импулсҳои зуд тавлид мекунад. Масалан, лазерии баровардани блок метавонад импулсҳои басомади баланд (100 кГц) -ро бо қудрати қудрати 1.5 кВт барорад. Бо басомади баланд ва қудрати қуллаи баланд, коркарди босуръат бидуни таназзули гармидиҳии div> анҷом дода мешавад

Uv-dpss лазерӣ як дастгоҳи сахтест, ки пайваста асои булӯрии неодимий (Nd: YVO4) бо массиви диодҳои лазерӣ мечакад. Он аз тариқи акусто-оптикии Q-калид истеҳсоли набзро тавлид мекунад ва генератори сеюми гармоникии кристаллиро барои тағир додани баромади Nd: YVO4 лазер аз 1064nm & nbsp; Дарозии асосии мавҷи IR то 355 нм дарозии мавҷи ултрабунафш кам карда мешавад. Умуман 355nm < / div>

Иқтидори миёнаи баромади лазерии uv-dpss бо суръати такрории импулси 20 кГц зиёда аз 3W div аст>

Лазери UV-dpss

Ҳарду диэлектрик ва мис метавонанд лазерии uv-dpss-ро бо дарозии мавҷи 355нм ба осонӣ бирӯянд. Лазерии Uv-dpss назар ба лазери CO2 нуқтаи хурди рӯшноӣ ва қудрати камтар дорад. Дар ҷараёни коркарди диэлектрикӣ, лазерии uv-dpss одатан барои андозаи хурд (камтар аз 50%) м м истифода мешавад) Аз ин рӯ, диаметри камтар аз 50 бояд дар зеристгоҳи тахтаи васеи зичии баландсифати μ M micro коркард карда шавад. , истифодаи лазерии ултрабунафш хеле беҳтарин аст. Ҳоло як лазерии пуриқтидори uv-dpss мавҷуд аст, ки метавонад суръати коркард ва пармакунии uv-dpss laser div>

Бартарии лазерии uv-dpss дар он аст, ки вақте фотонҳои энергияи ултрабунафши он дар аксари қабатҳои сатҳи ғайриметаллӣ медурахшанд, онҳо метавонанд мустақиман пайванди молекулаҳоро канда, канори буришро бо ҷараёни литографияи «хунук» ҳамвор кунанд ва дараҷаи зарари гармӣ ва сӯхтан. Аз ин рӯ, буридани микроэлементҳои ултрабунафш барои мавридҳои серталабӣ мувофиқ аст, ки пас аз табобат имконнопазир аст ё div> лозим нест

Лазер CO2 (алтернативаҳои автоматизатсия)

Лазераи мӯҳршудаи CO2 метавонад дарозии мавҷи 10.6 мкм ё 9.4 мкм FIR -ро партояд, гарчанде ки ҳар ду дарозии мавҷро диэлектрикҳо ба монанди субстрат филми полиимидӣ ҷаббида мегиранд, тадқиқот нишон медиҳад, ки 9.4 μ Таъсири дарозии мавҷи М ин гуна маводро коркард мекунад хеле беҳтар аст. Диэлектрик 9.4 μ Коэффисиенти азхудкунии дарозии мавҷи М баландтар аст, ки он нисбат ба 10.6 барои пармакунӣ ё буридани маводҳо бо дарозии мавҷи μ М беҳтар аст. нӯҳ нуқтаи чор мкм лазер на танҳо дар пармакунӣ ва буридан бартариҳои возеҳ дорад, балки таъсири буридани барҷаста низ дорад. Аз ин рӯ, истифодаи лазери кӯтоҳтари мавҷ метавонад маҳсулнокӣ ва сифатро беҳтар созад.

Умуман, дарозии мавҷи арча аз диэлектрикҳо ба осонӣ ҷаббида мешавад, аммо он дар мис баргардонида мешавад. Аз ин рӯ, аксари лазерҳои CO2 барои коркарди диэлектрикӣ, қолабсозӣ, буридан ва деламинатсия кардани субстрат ва ламинат истифода мешаванд. Азбаски қудрати баромади лазерии CO2 аз қудрати лазерии DPSS баландтар аст, дар аксари ҳолатҳо лазери CO2 барои коркарди диэлектрик истифода мешавад. Лазери CO2 ва лазерии uv-dpss аксар вақт якҷоя истифода мешаванд. Масалан, ҳангоми парма кардани микроавтобусҳо аввал қабати мисро бо лазери DPSS хориҷ кунед ва сипас то пайдо шудани қабати навбатии пӯшонидашудаи мис сӯрохиҳоро дар қабати диэлектрикӣ бо лазер CO2 парма кунед ва сипас равандро такрор кунед.

Азбаски дарозии мавҷи лазерии ултрабунафш хеле кӯтоҳ аст, нуқтаи нуре, ки аз лазер ултрабунафш мебарорад, нисбат ба лазери СО2 хубтар аст, аммо дар баъзе замимаҳо, нуқтаи нурии диаметри калон, ки аз ҷониби лазерии СО2 истеҳсол шудааст, нисбат ба лазери uv-dpss муфидтар аст. Масалан, маводи масоҳати калонро ба монанди чуқурҳо ва блокҳо буред ё сӯрохиҳои калон парма кунед (диаметри бузургтар аз 50) м м) Барои коркарди лазери CO2 вақти камтар лозим аст. Умуман, таносуби диафрагма 50 мкм аст, вақте ки м калон аст, коркарди лазерии CO2 мувофиқтар аст ва диафрагма камтар аз 50 мкм аст, таъсири лазерии uv-dpss беҳтар аст.