Ohun elo ti imọ -ẹrọ sisẹ laser ni rọ Circuit ọkọ

Igbimọ Circuit rirọpo iwuwo giga jẹ apakan ti gbogbo igbimọ Circuit ti o rọ, eyiti o jẹ asọye ni gbogbogbo bi aye laini kere ju 200 μ M tabi micro nipasẹ kere ju 250 μ M igbimọ Circuit ti o rọ. Igbimọ Circuit ti o ni iwuwo giga ni ọpọlọpọ awọn ohun elo, gẹgẹbi awọn ibaraẹnisọrọ, awọn kọnputa, awọn iyika iṣọpọ ati ohun elo iṣoogun. Ifojusi ni awọn ohun-ini pataki ti awọn ohun elo igbimọ Circuit ti o rọ, iwe yii ṣafihan diẹ ninu awọn iṣoro bọtini lati ṣe akiyesi ni sisẹ lesa ti igbimọ iyipo rirọ giga ati micro nipasẹ liluho p>

Awọn abuda alailẹgbẹ ti igbimọ Circuit ti o rọ jẹ ki o jẹ yiyan si igbimọ alakikanju lile ati ero wiwa ibile ni ọpọlọpọ awọn ayeye. Ni akoko kanna, o tun ṣe agbega idagbasoke ti ọpọlọpọ awọn aaye tuntun. Apakan ti o ndagba iyara ti FPC jẹ laini asopọ inu ti kọnputa disiki lile kọnputa (HDD). Ori oofa ti disiki lile yoo lọ sẹhin ati siwaju lori disiki yiyi fun ọlọjẹ, ati Circuit ti o rọ le ṣee lo lati rọpo okun waya lati mọ asopọ laarin ori oofa alagbeka ati igbimọ Circuit iṣakoso. Awọn aṣelọpọ disiki lile pọ si iṣelọpọ ati dinku awọn idiyele apejọ nipasẹ imọ -ẹrọ ti a pe ni “awo ti o rọ” (FOS). Ni afikun, imọ -ẹrọ idadoro alailowaya ni resistance ile jigijigi to dara julọ ati pe o le mu igbẹkẹle ọja dara si. Igbimọ Circuit miiran ti o ni iwuwo giga-iwuwo ti a lo ninu disiki lile jẹ fifọ interposer, eyiti o lo laarin idadoro ati oludari.

Aaye idagbasoke keji ti FPC jẹ iṣakojọpọ Circuit tuntun. Awọn iyika rirọ ni a lo ninu apoti ipele ipele chiprún (CSP), modulu chiprún pupọ (MCM) ati chiprún lori igbimọ Circuit ti o rọ (COF). Laarin wọn, Circuit inu inu CSP ni ọja nla kan, nitori o le ṣee lo ni awọn ẹrọ semikondokito ati iranti filasi, ati pe o lo ni lilo pupọ ni awọn kaadi PCMCIA, awọn awakọ disiki, awọn arannilọwọ oni nọmba ti ara ẹni (PDAs), awọn foonu alagbeka, pagers Kamẹra oni nọmba ati kamẹra oni -nọmba . Ni afikun, ifihan kirisita omi (LCD), iyipada fiimu polyester ati katiriji itẹwe inki-jet jẹ awọn aaye ohun elo idagba mẹta miiran giga ti iwuwo rirọ rirọ rirọ giga \

Agbara ọja ti imọ -ẹrọ laini rọ ni awọn ẹrọ amudani (bii awọn foonu alagbeka) tobi pupọ, eyiti o jẹ adayeba pupọ, nitori awọn ẹrọ wọnyi nilo iwọn kekere ati iwuwo ina lati pade awọn iwulo ti awọn alabara; Ni afikun, awọn ohun elo tuntun ti imọ -ẹrọ rirọ pẹlu awọn ifihan nronu alapin ati awọn ẹrọ iṣoogun, eyiti o le ṣee lo nipasẹ awọn apẹẹrẹ lati dinku iwọn ati iwuwo awọn ọja bii awọn iranlọwọ igbọran ati awọn ifibọ eniyan.

Idagbasoke nla ni awọn aaye ti o wa loke ti yori si ilosoke ninu iṣelọpọ agbaye ti awọn igbimọ Circuit rọ. Fun apẹẹrẹ, iwọn didun tita lododun ti awọn diski lile ni a nireti lati de ọdọ awọn miliọnu 345 ni ọdun 2004, o fẹrẹ to ilọpo meji ti 1999, ati iwọn tita awọn foonu alagbeka ni ọdun 2005 ni ifojukokoro lati jẹ awọn miliọnu 600. Awọn ilosoke wọnyi yori si ilosoke lododun ti 35% ninu iṣelọpọ ti awọn lọọgan Circuit ti o ni iwuwo giga, ti o de 3.5 milionu mita mita nipasẹ 2002. Iru ibeere elejade ti o ga nilo iwulo ati imọ-ẹrọ iṣiwọn idiyele kekere, ati imọ-ẹrọ sisẹ laser jẹ ọkan ninu wọn .

Lesa ni awọn iṣẹ akọkọ mẹta ni ilana iṣelọpọ ti igbimọ Circuit ti o rọ: sisẹ ati dida (gige ati gige), gige ati liluho. Gẹgẹbi ohun elo ẹrọ ti kii ṣe olubasọrọ, lesa le ṣee lo ni idojukọ kekere (100 ~ 500) μ m) Agbara ina to gaju giga (650MW / mm2) ni a lo si ohun elo naa. Iru agbara giga bẹ le ṣee lo fun gige, liluho, siṣamisi, alurinmorin, siṣamisi ati sisẹ miiran. Iyara sisẹ ati didara ni o ni ibatan si awọn ohun -ini ti ohun elo ti a ṣe ilana ati awọn abuda lesa ti a lo, gẹgẹ bi igbi, iwuwo agbara, agbara tente, iwọn pulse ati igbohunsafẹfẹ. Isise ti igbimọ Circuit ti o rọ nlo ultraviolet (UV) ati lasers infurarẹẹdi (FIR) jinna. Ti iṣaaju nigbagbogbo nlo excimer tabi UV diode ti fa fifalẹ-ipinle (uv-dpss) awọn lasers, lakoko ti igbehin gbogbogbo nlo awọn lasers CO2 ti o ni ifipin>

Imọ -ẹrọ ọlọjẹ Vector nlo kọnputa lati ṣakoso digi ti o ni ipese pẹlu mita ṣiṣan ati sọfitiwia CAD / CAM lati ṣe agbejade gige ati awọn aworan liluho, ati lilo eto lẹnsi telecentric lati rii daju pe ina lesa ina ni inaro lori oju iṣẹ iṣẹ < / div>

Lesa liluho processing ni tito giga ati ohun elo jakejado. O jẹ ohun elo ti o peye fun dida igbimọ igbimọ ti o rọ. Boya laser CO2 tabi lesa DPSS, ohun elo naa le ni ilọsiwaju si eyikeyi apẹrẹ lẹhin idojukọ. O abereyo tan ina lesa ti a dojukọ nibikibi lori oju iṣẹ iṣẹ nipa fifi digi sori galvanometer, lẹhinna gbejade iṣakoso nọmba kọnputa (CNC) lori galvanometer nipa lilo imọ -ẹrọ ọlọjẹ vector, ati ṣe awọn aworan gige pẹlu iranlọwọ ti sọfitiwia CAD / CAM. “Ohun elo rirọ” yii le ṣakoso laser ni irọrun ni akoko gidi nigbati apẹrẹ ti yipada. Nipa ṣiṣatunṣe isunmọ ina ati ọpọlọpọ awọn irinṣẹ gige, sisẹ laser le ṣe atunṣe awọn aworan apẹrẹ ni deede, eyiti o jẹ anfani pataki miiran.

Ṣiṣayẹwo Vector le ge awọn sobusitireti bii fiimu polyimide, ge gbogbo Circuit kuro tabi yọ agbegbe kan kuro lori igbimọ Circuit, bii iho tabi bulọki kan. Ninu ilana ṣiṣe ati dida, tan ina lesa ti wa ni titan nigbagbogbo nigbati digi ba n wo gbogbo dada ṣiṣe, eyiti o jẹ idakeji si ilana liluho. Lakoko liluho, a ti tan ina lesa nikan lẹhin ti digi ti wa ni titi ni ipo liluho kọọkan div>

apakan

“Sisọ” ni jargon jẹ ilana ti yiyọ ohun elo kan kuro ninu omiiran pẹlu lesa. Ilana yii dara julọ fun lesa. Imọ -ẹrọ ọlọjẹ vector kanna le ṣee lo lati yọ aisi -itanna kuro ati ṣafihan paadi ifasilẹ ni isalẹ. Ni akoko yii, titọ giga ti sisẹ laser lekan si ṣe afihan awọn anfani nla. Niwọn igba ti awọn eegun lesa FIR yoo ṣe afihan nipasẹ bankanje Ejò, laser CO2 nigbagbogbo lo nibi.

lu iho

Botilẹjẹpe diẹ ninu awọn aaye tun lo liluho ẹrọ, stamping tabi pilasima pilasita lati ṣe micro nipasẹ awọn iho, liluho lesa jẹ micro julọ ti a lo julọ nipasẹ ọna dida iho ti igbimọ Circuit rọ, nipataki nitori iṣelọpọ giga rẹ, irọrun to lagbara ati akoko ṣiṣe deede deede .

Liluho ẹrọ ati fifẹ gba awọn idari lilu-giga to ga julọ ati ku, eyiti o le ṣe lori igbimọ Circuit ti o rọ pẹlu iwọn ila opin ti o fẹrẹ to 250 μ M, ṣugbọn awọn ẹrọ titọ giga wọnyi jẹ gbowolori pupọ ati ni igbesi aye iṣẹ to kuru. Nitori igbimọ Circuit ti o ni iwuwo giga-iwuwo, ipin iho ti a beere jẹ 250 μ M jẹ kekere, nitorinaa liluho ẹrọ ko ṣe ojurere.

Plasma etching le ṣee lo ni 50 μ M nipọn polyimide fiimu sobusitireti pẹlu iwọn ti o kere ju 100 μ M, ṣugbọn idoko -ẹrọ ohun elo ati idiyele ilana jẹ ga pupọ, ati idiyele itọju ti ilana ilana pilasima tun ga pupọ, ni pataki awọn idiyele ti o ni ibatan si diẹ ninu itọju egbin kemikali ati awọn ohun elo. Ni afikun, o gba akoko pipẹ pupọ fun pilasima pilasima lati ṣe micro vias micro ti o ni ibamu ati igbẹkẹle nigbati iṣeto ilana tuntun kan. Anfani ti ilana yii jẹ igbẹkẹle giga. O ti royin pe oṣuwọn oṣiṣẹ ti micro nipasẹ jẹ 98%. Nitorinaa, etching pilasima tun ni ọja kan ni iṣoogun ati ẹrọ ohun elo avionics div>

Ni ifiwera, iṣelọpọ ti micro vias nipasẹ lesa jẹ ilana ti o rọrun ati idiyele kekere. Idoko-owo ti ohun elo lesa jẹ kekere pupọ, ati lesa jẹ ohun elo ti kii ṣe olubasọrọ. Ko dabi liluho ẹrọ, iye owo rirọpo ohun elo gbowolori yoo wa. Ni afikun, CO2 igbalode ti a fi edidi ati awọn lavisi uv-dpss jẹ ọfẹ itọju, eyiti o le dinku akoko asiko ati mu iṣelọpọ pọ si pupọ.

Ọna ti ṣiṣẹda micro vias lori igbimọ Circuit ti o rọ jẹ kanna bii iyẹn lori pcb kosemi, ṣugbọn diẹ ninu awọn ipilẹ pataki ti lesa nilo lati yipada nitori iyatọ ti sobusitireti ati sisanra. Igbẹhin CO2 ati awọn lav UV-dpss le lo imọ-ẹrọ ọlọjẹ vector kanna bi mimu lati lu taara lori igbimọ Circuit ti o rọ. Iyatọ nikan ni pe sọfitiwia ohun elo liluho yoo pa ina lesa lakoko ọlọjẹ digi ọlọjẹ lati inu micro kan si omiran. Imọ ina lesa ko ni tan titi yoo fi de ipo liluho miiran. Lati le jẹ ki iho naa ṣe deede si dada ti sobusitireti igbimọ rọpo, tan ina lesa gbọdọ tan inaro lori sobusitireti Circuit, eyiti o le ṣaṣeyọri nipa lilo eto lẹnsi telecentric laarin digi ọlọjẹ ati sobusitireti (Eeya. 2 ) div>

Awọn iho ti gbẹ iho lori Kapton ni lilo lesa UV

Laser CO2 tun le lo imọ -ẹrọ boju -boju ibamu lati lu micro vias. Nigbati o ba nlo imọ -ẹrọ yii, a lo oju bàbà bi boju -boju, awọn iho ti wa ni etched lori rẹ nipasẹ ọna ọna titẹ sita lasan, lẹhinna a ti tan ina CO2 laser lori awọn ihò ti bankanje idẹ lati yọ awọn ohun elo aisi -itanna ti o han.

Micro vias tun le ṣe nipasẹ lilo lesa excimer nipasẹ ọna ti iboju iparada. Imọ -ẹrọ yii nilo lati ya aworan aworan ti micro nipasẹ tabi gbogbo micro nipasẹ titobi si sobusitireti, ati lẹhinna tan ina mọnamọna excimer irradiates boju -boju lati ya aworan boju -boju si aaye sobusitireti, lati le lu iho naa. Didara ti liluho laser excimer dara pupọ. Awọn alailanfani rẹ jẹ iyara kekere ati idiyele giga.

Aṣayan Laser botilẹjẹpe iru lesa fun sisẹ igbimọ Circuit ti o rọ jẹ kanna bi iyẹn fun sisẹ pcb kosemi, iyatọ ninu ohun elo ati sisanra yoo ni ipa pupọ awọn ilana ṣiṣe ati iyara. Nigba miiran lesa excimer ati gaasi yiya ifa (tii) CO2 lesa le ṣee lo, ṣugbọn awọn ọna meji wọnyi ni iyara lọra ati idiyele itọju giga, eyiti o ṣe opin ilọsiwaju ti iṣelọpọ. Ni ifiwera, CO2 ati uv-dpss lasers ti wa ni lilo pupọ, iyara ati idiyele kekere, nitorinaa wọn lo nipataki ni iṣelọpọ ati sisẹ micro vias ti awọn igbimọ Circuit rọ.

Yatọ si ṣiṣan gaasi CO2 lesa, laser CO2 ti a fi edidi （http://www.auto-alt.cn technology Imọ-ẹrọ idasilẹ idena ti gba lati fi opin adalu gaasi lesa si iho lesa ti a ṣalaye nipasẹ awọn abọ elekitiro onigun meji. Ti fi edidi iho lesa lakoko gbogbo igbesi aye iṣẹ (nigbagbogbo nipa ọdun 2 ~ 3). Iho lesa ti o ni edidi ni eto iwapọ ati pe ko nilo paṣipaarọ afẹfẹ. Ori lesa le ṣiṣẹ nigbagbogbo fun diẹ ẹ sii ju awọn wakati 25000 laisi itọju. Anfani ti o tobi julọ ti apẹrẹ lilẹ ni pe o le ṣe ina awọn isọ iyara. Fun apẹẹrẹ, lesa itusilẹ idena le ṣe itasi awọn igbohunsafẹfẹ giga-giga (100kHz) pẹlu agbara agbara ti 1.5KW. Pẹlu igbohunsafẹfẹ giga ati agbara tente oke, ẹrọ iyara le ṣee ṣe laisi eyikeyi ibajẹ ibajẹ gbona>

Laser Uv-dpss jẹ ẹrọ ti o ni agbara ti o lepa nigbagbogbo neodymium vanadate (Nd: YVO4) ọpá kirisita pẹlu eto diode laser. O ṣe agbejade iṣelọpọ pulse nipasẹ ohun acousto-opitiki Q-yipada, ati pe o lo monomono kirisita ti irẹpọ kẹta lati yi iṣelọpọ ti Nd: YVO4 lesa lati 1064nm & nbsp; Awọn wefulenti ipilẹ IR ti dinku si wefulenti UV 355 nm. Ni gbogbogbo 355nm < / div>

Agbara iṣelọpọ apapọ ti lesa uv-dpss ni oṣuwọn atunwi pulse ipin 20kHz jẹ diẹ sii ju 3W div>

Uv-dpss lesa

Mejeeji aisi-itanna ati bàbà le ni rọọrun fa lesa uv-dpss pẹlu wefulenti iṣelọpọ ti 355nm. Uv-dpss lesa ni iranran ina kekere ati agbara iṣelọpọ kekere ju lesa CO2. Ninu ilana sisẹ aisi-itanna, uv-dpss lesa jẹ igbagbogbo lo fun iwọn kekere (o kere ju 50%) μ m) Nitorinaa, iwọn ila opin ti o kere ju 50 yẹ ki o wa ni ilọsiwaju lori sobusitireti ti igbimọ Circuit rọ-iwuwo giga-M micro nipasẹ , Lilo laser UV jẹ apẹrẹ pupọ. Nisisiyi laser uv-dpss agbara giga kan wa, eyiti o le pọ si sisẹ ati iyara liluho ti uv-dpss laser div>

Anfani ti laser uv-dpss ni pe nigbati awọn fotonu UV agbara giga rẹ tàn lori ọpọlọpọ awọn fẹlẹfẹlẹ oju-ilẹ ti ko ni irin, wọn le fọ taara ọna asopọ ti awọn molikula, dan eti gige pẹlu ilana lithography “tutu”, ati dinku iwọn ti bibajẹ igbona ati gbigbona. Nitorinaa, gige micro micro UV dara fun awọn aye eletan giga nibiti itọju lẹhin ko ṣee ṣe tabi ipin ti ko wulo>

CO2 lesa (Awọn adaṣe adaṣe)

Igbẹhin CO2 ti a fi edidi le ṣe iwọn igbi ti 10.6 μ M tabi 9.4 μ M FIR lesa, botilẹjẹpe awọn igbi mejeeji jẹ irọrun lati gba nipasẹ awọn aisi -itanna gẹgẹbi sobusitireti fiimu polyimide, iwadii fihan pe 9.4 μ jẹ dara julọ. Dielectric 9.4 co Isodipupo gbigba ti igbi M jẹ ga, eyiti o dara julọ ju 10.6 fun liluho tabi awọn ohun elo gige μ M wefulenti yara. mẹsan ojuami mẹrin laser M lesa kii ṣe awọn anfani ti o han gbangba nikan ni liluho ati gige, ṣugbọn tun ni ipa gige gige to dayato. Nitorinaa, lilo lesa wefufu kikuru le mu iṣelọpọ ati didara pọ si.

Ni gbogbogbo, igbọnwọ firi ni irọrun gba nipasẹ awọn aisi -itanna, ṣugbọn yoo ṣe afihan pada nipasẹ idẹ. Nitorinaa, ọpọlọpọ awọn lasers CO2 ni a lo fun sisẹ aisi -itanna, sisọ, gige ati delamination ti sobusitireti dielectric ati laminate. Nitori agbara iṣelọpọ CO2 lesa ga ju ti DPSS lesa, CO2 laser ti lo lati ṣe ilana aisi -itanna ni ọpọlọpọ awọn ọran. Laser CO2 ati laser uv-dpss nigbagbogbo lo papọ. Fun apẹẹrẹ, nigbati o ba n lu micro vias, kọkọ yọ fẹlẹfẹlẹ idẹ kuro pẹlu lesa DPSS, ati lẹhinna yara lu awọn iho ninu fẹlẹfẹlẹ dielectric pẹlu lesa CO2 titi ti fẹlẹfẹlẹ agbada bàbà t’okan yoo han, ati lẹhinna tun ilana naa ṣe.

Nitoripe igbi-ina ti lesa UV funrararẹ kuru pupọ, aaye ina ti o jade nipasẹ laser UV dara julọ ju ti lesa CO2 lọ, ṣugbọn ninu diẹ ninu awọn ohun elo, aaye ina nla ti o tobi pupọ ti a ṣe nipasẹ laser CO2 jẹ iwulo diẹ sii ju laser uv-dpss. Fun apẹẹrẹ, ge awọn ohun elo agbegbe nla bii awọn yara ati awọn ohun amorindun tabi lu awọn iho nla (iwọn ila opin ti o tobi ju 50) μ m) O gba akoko to kere lati ṣe ilana pẹlu laser CO2. Ni gbogbogbo, ipin iho jẹ 50 μ Nigbati m ba tobi, sisẹ laser CO2 jẹ deede diẹ sii, ati pe iho naa kere ju 50 μ M, ipa ti lesa uv-dpss dara julọ.