1. சேர்க்கும் செயல்முறை கூடுதலாக
கூடுதல் எதிர்ப்பு முகவர் உதவியுடன் கடத்தி அல்லாத அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் ரசாயன தாமிர அடுக்குடன் உள்ளூர் கடத்தி வரிகளின் நேரடி வளர்ச்சி செயல்முறையைக் குறிக்கிறது (விவரங்களுக்கு p.62, எண் 47, சர்க்யூட் போர்டு தகவலைப் பார்க்கவும்). சர்க்யூட் போர்டுகளில் பயன்படுத்தப்படும் சேர்த்தல் முறைகளை முழு சேர்த்தல், அரை சேர்த்தல் மற்றும் பகுதி சேர்த்தல் என பிரிக்கலாம்.
2. பின் தட்டுகள்
இது ஒரு வகையான தடிமனான (0.093 “, 0.125” போன்ற) சர்க்யூட் போர்டு ஆகும், இது மற்ற பலகைகளை செருகவும் தொடர்பு கொள்ளவும் பிரத்யேகமாக பயன்படுத்தப்படுகிறது. மல்டி பின் இணைப்பியை முதலில் சாலிடரிங் இல்லாமல் துளை வழியாக அழுத்துவதன் மூலம், பின்னர் பலகையின் வழியாக செல்லும் இணைப்பியின் ஒவ்வொரு வழிகாட்டி முனையிலும் சுற்றும் வழியில் ஒவ்வொன்றாக கம்பி செய்வது முறை. ஒரு பொது சர்க்யூட் போர்டை இணைப்பியில் செருகலாம். ஏனெனில் இந்த சிறப்பு பலகையின் மூலம் துளை வெல்ட் செய்ய முடியாது, ஆனால் துளை சுவர் மற்றும் வழிகாட்டி முள் நேரடியாக பயன்பாட்டிற்கு பிணைக்கப்பட்டுள்ளது, எனவே அதன் தரம் மற்றும் துளை தேவைகள் குறிப்பாக கண்டிப்பானவை, மேலும் அதன் ஆர்டர் அளவு அதிகம் இல்லை. பொது சர்க்யூட் போர்டு உற்பத்தியாளர்கள் இந்த உத்தரவை ஏற்க விரும்பவில்லை மற்றும் கடினமாக உள்ளனர், இது கிட்டத்தட்ட அமெரிக்காவில் உயர் தர சிறப்பு தொழிலாக மாறியுள்ளது.
3. கட்டமைப்பு செயல்முறை
இது ஒரு புதிய துறையில் ஒரு மெல்லிய பல அடுக்கு தட்டு முறை. ஆரம்பகால அறிவொளி ஐபிஎம் இன் எஸ்எல்சி செயல்முறையிலிருந்து தோன்றியது மற்றும் 1989 இல் ஜப்பானில் உள்ள யசு தொழிற்சாலையில் சோதனை உற்பத்தியைத் தொடங்கியது. இந்த முறை பாரம்பரிய இரட்டை பக்க தட்டை அடிப்படையாகக் கொண்டது. இரண்டு வெளிப்புறத் தகடுகளும் ப்ராப்மர் 52 போன்ற திரவ ஒளிச்சேர்க்கை முன்னோடிகளால் முழுமையாக பூசப்பட்டுள்ளன. அரை கடினப்படுத்துதல் மற்றும் ஒளி உணர்திறன் படத் தீர்மானத்திற்குப் பிறகு, அடுத்த கீழ் அடுக்குடன் இணைக்கப்பட்ட மேலோட்டமான “புகைப்படம்” தயாரிக்கப்படுகிறது, இரசாயன தாமிரம் மற்றும் மின்மயமாக்கப்பட்ட தாமிரம் விரிவாக அதிகரிக்கப் பயன்படுகிறது கடத்தி அடுக்கு, மற்றும் வரி இமேஜிங் மற்றும் பொறிப்புக்குப் பிறகு, புதிய கம்பிகள் மற்றும் புதைக்கப்பட்ட துளைகள் அல்லது கீழ் அடுக்குடன் ஒன்றோடொன்று இணைக்கப்பட்ட குருட்டுத் துளைகளைப் பெறலாம். இந்த வழியில், பல அடுக்கு பலகைகளின் தேவையான எண்ணிக்கையிலான அடுக்குகளை மீண்டும் மீண்டும் அடுக்குகளைச் சேர்ப்பதன் மூலம் பெறலாம். இந்த முறையானது விலையுயர்ந்த இயந்திர துளையிடும் செலவை தவிர்ப்பது மட்டுமல்லாமல், துளை விட்டம் 10 மில்லிக்கு குறைவாகவும் குறைக்கலாம். கடந்த ஐந்து முதல் ஆறு ஆண்டுகளில், பாரம்பரியத்தை உடைத்து, அடுக்கு வாரியாக பல்வேறு வகையான பல அடுக்கு தொழில்நுட்பங்கள் அமெரிக்கா, ஜப்பான் மற்றும் ஐரோப்பாவில் உற்பத்தியாளர்களால் தொடர்ந்து ஊக்குவிக்கப்பட்டு, இந்த உருவாக்கும் செயல்முறைகளை பிரபலமாக்குகின்றன, மேலும் பல உள்ளன சந்தையில் பத்து வகையான பொருட்கள். மேலேயுள்ள “ஒளிச்சேர்க்கை துளை உருவாக்கம்” தவிர; ஆல்கலைன் ரசாயன கடித்தல், லேசர் நீக்கம் மற்றும் கரிம தகடுகளுக்கு பிளாஸ்மா பொறித்தல் போன்ற பல்வேறு “துளை உருவாக்கும்” அணுகுமுறைகளும் துளை தளத்தில் செப்பு தோலை நீக்கிய பின் உள்ளன. கூடுதலாக, தொடர்ச்சியான லேமினேஷன் மூலம் மெல்லிய, அடர்த்தியான, சிறிய மற்றும் மெல்லிய மல்டிலேயர் போர்டுகளை உருவாக்க புதிய வகை “பிசின் பூசப்பட்ட செப்பு படலம்” பயன்படுத்தப்பட்டது. எதிர்காலத்தில், பன்முகப்படுத்தப்பட்ட தனிப்பட்ட மின்னணு பொருட்கள் இந்த மெல்லிய, குறுகிய மற்றும் பல அடுக்கு பலகையின் உலகமாக மாறும்.
4. செர்மெட் தாஜின்
பீங்கான் தூள் உலோகப் பொடியுடன் கலக்கப்படுகிறது, பின்னர் பிசின் ஒரு பூச்சுடன் சேர்க்கப்படுகிறது. சர்க்யூட் போர்டு மேற்பரப்பில் (அல்லது உள் அடுக்கு) தடிமனான படம் அல்லது மெல்லிய பட அச்சிடும் வடிவத்தில் “மின்தடையத்தின்” துணி இடமாக இதைப் பயன்படுத்தலாம், அதனால் சட்டசபையின் போது வெளிப்புற மின்தடையத்தை மாற்றலாம்.
5. இணை துப்பாக்கி சூடு
இது செராமிக் ஹைப்ரிட் சர்க்யூட் போர்டின் உற்பத்தி செயல்முறை ஆகும். சிறிய பலகையில் பல்வேறு வகையான விலைமதிப்பற்ற உலோக தடிமனான பட பேஸ்டால் அச்சிடப்பட்ட சுற்றுகள் அதிக வெப்பநிலையில் சுடப்படுகின்றன. தடிமனான பட பேஸ்டில் உள்ள பல்வேறு கரிம கேரியர்கள் எரிக்கப்படுகின்றன, விலைமதிப்பற்ற உலோக கடத்திகளின் கோடுகள் ஒன்றோடொன்று இணைக்கப்பட்ட கம்பிகளாக உள்ளன.
6. கிராஸ்ஓவர் கிராசிங்
பலகை மேற்பரப்பில் இரண்டு செங்குத்து மற்றும் கிடைமட்ட கடத்திகளின் செங்குத்து குறுக்குவெட்டு, மற்றும் குறுக்குவெட்டு துளி காப்பு ஊடகம் நிரப்பப்பட்டிருக்கும். பொதுவாக, ஒற்றை பேனலின் பச்சை வண்ணப்பூச்சு மேற்பரப்பில் கார்பன் ஃபிலிம் ஜம்பர் சேர்க்கப்படுகிறது, அல்லது லேயரைச் சேர்ப்பதற்கு மேலே மற்றும் கீழே உள்ள வயரிங் அத்தகைய “கிராசிங்” ஆகும்.
7. வயரிங் போர்டை உருவாக்கவும்
அதாவது, மல்டி வயரிங் போர்டின் மற்றொரு வெளிப்பாடு பலகையின் மேற்பரப்பில் வட்ட பற்சிப்பி கம்பியை இணைத்து துளைகள் மூலம் சேர்ப்பதன் மூலம் உருவாகிறது. உயர்-அதிர்வெண் பரிமாற்ற வரியில் இந்த வகையான கலப்பு பலகையின் செயல்திறன் பொது பிசிபியை பொறிப்பதன் மூலம் உருவாக்கப்பட்ட தட்டையான சதுர சுற்றுகளை விட சிறந்தது.
8. டைகோஸ்ட்ரேட் பிளாஸ்மா பொறித்தல் துளை அதிகரிக்கும் அடுக்கு முறை
இது சுவிட்சர்லாந்தின் சூரிச்சில் அமைந்துள்ள ஒரு டைகோனெக்ஸ் நிறுவனத்தால் உருவாக்கப்பட்டது. தட்டு மேற்பரப்பில் ஒவ்வொரு துளை நிலையிலும் முதலில் செப்பு படலத்தை பொறித்து, பின்னர் ஒரு மூடிய வெற்றிட சூழலில் வைக்கவும், மேலும் CF4, N2 மற்றும் O2 ஐ நிரப்பி உயர் மின்னழுத்தத்தின் கீழ் அதிக செயல்பாட்டுடன் பிளாஸ்மாவை உருவாக்குவதற்கு இது ஒரு முறையாகும். துளை நிலையில் அடி மூலக்கூறை பொறித்து சிறிய பைலட் துளைகளை உருவாக்கவும் (10 மில்லிக்கு கீழே). அதன் வணிக செயல்முறை டைகோஸ்ட்ரேட் என்று அழைக்கப்படுகிறது.
9. எலக்ட்ரோ டெபாசிட் போட்டோரேசிஸ்ட்
இது “போட்டோரேசிஸ்ட்” இன் புதிய கட்டுமான முறையாகும். சிக்கலான வடிவத்துடன் உலோகப் பொருட்களின் “மின்சார ஓவியம்” செய்ய முதலில் பயன்படுத்தப்பட்டது. இது சமீபத்தில் “போட்டோரேசிஸ்ட்” பயன்பாட்டில் அறிமுகப்படுத்தப்பட்டது. சர்க்யூட் போர்டின் செப்பு மேற்பரப்பில் ஆப்டிகல் சென்சிடிவ் சார்ஜ் செய்யப்பட்ட பிசினின் சார்ஜ் செய்யப்பட்ட கூழ் துகள்களை சமமாக பூசுவதற்கு எலக்ட்ரோபிளேட்டிங் முறையை இந்த அமைப்பு ஏற்றுக்கொள்கிறது. தற்போது, ​​இது உள் தகட்டின் நேரடி செப்பு பொறித்தல் செயல்பாட்டில் வெகுஜன உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த வகையான ED ஃபோட்டோரேசிஸ்ட் ஆனோட் அல்லது கேத்தோடில் வெவ்வேறு செயல்பாட்டு முறைகளின் படி வைக்கப்படலாம், இது “அனோட் வகை மின்சார ஃபோட்டோரேசிஸ்ட்” மற்றும் “கேத்தோடு வகை எலக்ட்ரிக் ஃபோட்டோரேசிஸ்ட்” என்று அழைக்கப்படுகிறது. வெவ்வேறு ஒளிச்சேர்க்கை கொள்கைகளின் படி, இரண்டு வகைகள் உள்ளன: எதிர்மறை வேலை மற்றும் நேர்மறை வேலை. தற்போது, ​​எதிர்மறையாக வேலை செய்யும் ஒளிச்சேர்க்கை வணிகமயமாக்கப்பட்டுள்ளது, ஆனால் இது ஒரு பிளானர் ஒளிச்சேர்க்கையாளராக மட்டுமே பயன்படுத்த முடியும். துளை வழியாக ஒளிச்சேர்க்கை செய்வது கடினம் என்பதால், வெளிப்புற தட்டின் பட பரிமாற்றத்திற்கு இதைப் பயன்படுத்த முடியாது. வெளிப்புறத் தட்டுக்கு ஒளிச்சேர்க்கையாளராகப் பயன்படுத்தக்கூடிய “பாசிட்டிவ் எட்” ஐப் பொறுத்தவரை (இது ஒரு ஃபோட்டோசென்சிடிவ் சிதைவு படமாக இருப்பதால், துளை சுவரில் உள்ள ஃபோட்டோசென்சிட்டிவிட்டி போதுமானதாக இல்லை என்றாலும், அது எந்த தாக்கத்தையும் ஏற்படுத்தாது). தற்போது, ​​ஜப்பானிய தொழில் அதன் முயற்சிகளை முடுக்கிவிட்டு, வணிக ரீதியான வெகுஜன உற்பத்தியை மேற்கொள்ளும், அதனால் மெல்லிய கோடுகள் உற்பத்தியை எளிதாக்கும். இந்த வார்த்தை “எலக்ட்ரோபோரெடிக் ஃபோட்டோரேசிஸ்ட்” என்றும் அழைக்கப்படுகிறது.
10. பறிப்பு கடத்தி உட்பொதிக்கப்பட்ட சுற்று, தட்டையான நடத்துனர்
இது ஒரு சிறப்பு சர்க்யூட் போர்டு ஆகும், அதன் மேற்பரப்பு முற்றிலும் தட்டையானது மற்றும் அனைத்து கடத்தி கோடுகளும் தட்டில் அழுத்தப்படுகின்றன. ஒற்றை பேனல் முறை செம்பு படலத்தின் ஒரு பகுதியை அரை குணப்படுத்தப்பட்ட அடி மூலக்கூறு தட்டில் பட பரிமாற்ற முறை மூலம் சுற்றுவட்டத்தைப் பெறுவது. பலகையின் மேற்பரப்பு சுற்றுவட்டத்தை அதிக வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்தத்தின் வழியில் அரை கடினப்படுத்தப்பட்ட தட்டில் அழுத்தவும், அதே நேரத்தில், தட்டு பிசினின் கடினப்படுத்துதல் செயல்பாட்டை முடிக்க முடியும், அதனால் அனைத்து தட்டையான கோடுகளும் திரும்பப் பெறப்பட்ட ஒரு சர்க்யூட் போர்டாக மாறும். மேற்பரப்பு. வழக்கமாக, ஒரு மெல்லிய செப்பு அடுக்கு பலகை திரும்பப் பெறப்பட்ட சுற்று மேற்பரப்பில் இருந்து சிறிது செதுக்கப்பட வேண்டும், இதனால் மற்றொரு 0.3 மில்லி நிக்கல் லேயர், 20 மைக்ரோ இன்ச் ரோடியம் லேயர் அல்லது 10 மைக்ரோ இன்ச் தங்க அடுக்கு பூசப்படலாம். எதிர்ப்பு குறைவாக இருக்கலாம் மற்றும் நெகிழ் தொடர்பு நிகழும்போது சறுக்குவது எளிது. எவ்வாறாயினும், அழுத்தும் போது துளை நசுக்கப்படுவதைத் தடுக்க இந்த முறையில் PTH ஐப் பயன்படுத்தக்கூடாது, மேலும் இந்த பலகை முற்றிலும் மென்மையான மேற்பரப்பை அடைவது எளிதல்ல, அல்லது கோட்டைத் தடுக்க அதிக வெப்பநிலையில் இதைப் பயன்படுத்த முடியாது பிசின் விரிவாக்கத்திற்குப் பிறகு மேற்பரப்பில் இருந்து வெளியே தள்ளப்படுகிறது. இந்த தொழில்நுட்பம் எட்ச் மற்றும் புஷ் முறை என்றும் அழைக்கப்படுகிறது, மேலும் முடிக்கப்பட்ட பலகை ஃப்ளஷ் பிணைக்கப்பட்ட பலகை என்று அழைக்கப்படுகிறது, இது ரோட்டரி சுவிட்ச் மற்றும் வயரிங் தொடர்புகள் போன்ற சிறப்பு நோக்கங்களுக்காகப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
11. வறுத்த கண்ணாடி வறுவல்
விலைமதிப்பற்ற உலோக இரசாயனங்கள் கூடுதலாக, கண்ணாடி தூள் தடிமனான படம் (PTF) அச்சிடும் பேஸ்டில் சேர்க்கப்பட வேண்டும், அதனால் அதிக வெப்பநிலை எரியூட்டலில் திரட்டுதல் மற்றும் ஒட்டுதல் விளைவை கொடுக்க, அதனால் வெற்று பீங்கான் அடி மூலக்கூறில் அச்சிடும் பேஸ்ட் ஒரு திட விலைமதிப்பற்ற உலோக சுற்று அமைப்பை உருவாக்க முடியும்.
12. முழு சேர்க்கை செயல்முறை
இது முற்றிலும் தனிமைப்படுத்தப்பட்ட தட்டு மேற்பரப்பில் எலக்ட்ரோடெபோசிஷன் உலோக முறையால் (பெரும்பாலான இரசாயன தாமிரம்) தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட சுற்றுகளை வளர்க்கும் ஒரு முறையாகும், இது “முழு கூட்டல் முறை” என்று அழைக்கப்படுகிறது. மற்றொரு தவறான அறிக்கை “முழு எலக்ட்ரோலெஸ்” முறை.
13. கலப்பின ஒருங்கிணைந்த சுற்று
பயன்பாட்டு மாதிரி அச்சிடல் மூலம் ஒரு சிறிய பீங்கான் மெல்லிய அடிப்படைத் தட்டில் விலைமதிப்பற்ற உலோகக் கடத்தும் மையைப் பயன்படுத்துவதற்கான சுற்றுடன் தொடர்புடையது, பின்னர் அதிக வெப்பநிலையில் மை உள்ள கரிமப் பொருளை எரித்து, தட்டு மேற்பரப்பில் ஒரு கடத்தி சுற்று விட்டு, மற்றும் மேற்பரப்பு பிணைப்பு பாகங்கள் மேற்கொள்ளப்படலாம். பயன்பாட்டு மாதிரி ஒரு அச்சிடப்பட்ட சர்க்யூட் போர்டு மற்றும் ஒரு செமிகண்டக்டர் ஒருங்கிணைந்த சர்க்யூட் கருவிக்கு இடையேயான ஒரு சர்க்யூட் கேரியருடன் தொடர்புடையது, இது தடிமனான திரைப்பட தொழில்நுட்பத்திற்கு சொந்தமானது. ஆரம்ப நாட்களில், இது இராணுவ அல்லது உயர் அதிர்வெண் பயன்பாடுகளுக்கு பயன்படுத்தப்பட்டது. சமீபத்திய ஆண்டுகளில், அதிக விலை, குறைந்து வரும் இராணுவம் மற்றும் தானியங்கி உற்பத்தியின் சிரமம், அதிகரித்து வரும் மினியேச்சரைசேஷன் மற்றும் சர்க்யூட் போர்டுகளின் துல்லியம் ஆகியவற்றின் காரணமாக, இந்த கலப்பினத்தின் வளர்ச்சி ஆரம்ப ஆண்டுகளில் இருந்ததை விட மிகவும் குறைவாக உள்ளது.
14. இன்டர்போசர் இன்டர்கனெக்ட் கண்டக்டர்
இன்டர்போசர் என்பது ஒரு இன்சுலேடிங் பொருளால் எடுத்துச் செல்லப்படும் கடத்திகளின் எந்த இரண்டு அடுக்குகளையும் குறிக்கிறது. உதாரணமாக, பல அடுக்கு தகடுகளின் வெற்று துளைகள் வெள்ளி பேஸ்ட் அல்லது செப்பு பேஸ்ட் அல்லது ஆர்த்தடாக்ஸ் செப்பு துளை சுவர் அல்லது செங்குத்து ஒற்றை திசை கடத்தும் பிசின் அடுக்கு போன்ற பொருட்களால் நிரப்பப்பட்டால், அவை அனைத்தும் இந்த வகையான இடைச்செருகலுக்கு சொந்தமானது.