OSP үйл явц ПХБ-ийн ТУЗ-ийн

1. Газрын тосноос гадна

Тос арилгах нөлөө нь хальс үүсгэх чанарт шууд нөлөөлдөг. Тос зайлуулах чадвар муу, хальсны зузаан нь жигд биш байна. Нэг талаас, уусмалыг шинжлэх замаар концентрацийг процессын хүрээнд хянах боломжтой. Нөгөөтэйгүүр, тос арилгасны үр дүн сайн байгаа эсэхийг байнга шалгаж байх хэрэгтэй, хэрэв тос арилгасны үр дүн сайн биш бол тосноос гадна цаг тухайд нь солих хэрэгтэй.

2. Бичил элэгдэл

Микроэтчингийн зорилго нь хальс үүсгэхэд хялбар барзгар зэс гадаргууг үүсгэх явдал юм. Бичил сийлбэрийн зузаан нь хальс үүсгэх хурдад шууд нөлөөлдөг тул тогтвортой хальсны зузааныг бүрдүүлэхийн тулд бичил сийлбэрийн зузааныг тогтвортой байлгах нь маш чухал юм. Ерөнхийдөө бичил сийлбэрийн зузааныг 1.0-1.5 мм-ээр хянах нь тохиромжтой. Шилжилт бүрийн өмнө бичил элэгдлийн хурдыг хэмжиж, бичил элэгдлийн хурдаар бичил элэгдлийн хугацааг тодорхойлж болно.

3. Кинонд тоглох

Кино үүсгэгч шингэнийг бохирдуулахгүйн тулд хальс үүсэхээс өмнө угаахдаа DI усыг ашиглах хэрэгтэй. Мөн хальс үүссэний дараа DI усыг угаах зориулалттай бөгөөд хальсыг бохирдуулах, гэмтээхээс сэргийлэхийн тулд PH -ийн утгыг 4.0-7.0 хооронд хянаж байх ёстой. OSP процессын гол зүйл бол исэлдэлтийн эсрэг хальсны зузааныг хянах явдал юм. Кино нь хэт нимгэн бөгөөд дулааны нөлөөллийн чадвар муутай. Дахин урсгалтай гагнуурын үед хальс нь өндөр температурыг (190-200 ° C) тэсвэрлэх чадваргүй бөгөөд энэ нь эцсийн эцэст гагнуурын гүйцэтгэлд нөлөөлдөг. Электрон угсрах шугамд кино нь урсгалаар сайн уусдаггүй бөгөөд энэ нь гагнуурын гүйцэтгэлд нөлөөлдөг. Ерөнхий хяналтын хальсны зузаан нь 0.2-0.5um хооронд илүү тохиромжтой.